专利名称：用于使荫罩消磁的装置和方法
技术领域：
本发明涉及一种包括荫罩的装置，更具体地，涉及一种用于使荫罩消磁 的装置和方法。
背景技术：
在有机电致发光显示器件或者半导体器件中，通过使用具有预期图案的 荫罩，可以在基板上形成薄膜图案。更具体地，荫罩和基板设置在源之上，以 使荫罩设置在基板和源之间。然后，源蒸发并通过荫罩沉积在基板上。通常，在腔室中荫罩粘接到具有基板的基板支架上。荫罩和基板可以通 过木几械固定法或者磁性固定法固定到基板支架上。在机械固定法中，可以使用 销或者夹子机械地固定基板支架的侧面、荫罩和基板。在磁性固定法中，荫罩 是由磁性物质形成，并且基板和荫罩可以通过永久磁体或者电磁体磁性固定到 基板支架上。在磁性固定法中，荫罩可以被磁化，并且荫罩的相邻图案由于磁化而彼此接触，使得在基板上产生非预期的图案。图1和图2为示出根据现有技术采用磁性荫罩形成薄膜的装置的视图。 如图1所示，荫罩102设置在工艺腔室101中的掩模支架103之上。基板105设置在基板支架104之上，该基板支架104设置在工艺腔室101中的荫罩102之上。荫罩102是由不胀钢形成，该不胀钢是铁磁铁和镍的合金，并具有相对 低的热膨胀系数。与图案对应而向荫罩102打孔。两个交叉图案(未示出)形成在基板105和荫罩102中的每一个上。当 通过电荷耦合装置(CCD)的照相机106监控交叉图案时，根据来自CCD照
相机106的图像，基板105向x、 y、 z或e方向移动。因此，基板105和荫罩102 彼此对准，以使基板105的交叉图案与荫罩102的那些交叉图案交叠。像这样， 为了对准基板105和荫罩102，需要两个照相机106和用于基板105和荫罩102中 的每一个的两个交叉图案。如图2所示，当精确对准基板105和荫罩102时，吸盘107下降并固定基板 105。磁体108设置在吸盘107的底部并防止荫罩102垂下。相应地，包括铁磁材 料的荫罩102容易被吸盘107的磁体108所固定。然后，源(未示出)蒸发并通 过荫罩102沉积在基板105上，以形成薄膜图案。其中，荫罩102依赖磁体108的磁场强度而可被磁化，从而产生问题。艮P，由铁磁性的吸盘107的磁体108固定基板105和荫罩102，然后薄膜图 案形成在基板105上。此时，荫罩102可能被磁化。此后，吸盘107的磁体108 向上移动。然后，荫罩102可以被消磁，并且荫罩102的磁性可以被去除。然而，荫罩102仍然被磁化。图3表示现有技术的磁化荫罩。在图3中，荫罩102可以为栅型。当基板105 通过图2的磁体108固定荫罩102时，荫罩102可以被磁化。在形成薄膜图案并 去除磁体108之后，荫罩102仍然被磁化，从而荫罩102的相邻栅图案可以彼此 接角虫。因此，在下一个工序中由于荫罩102的接触栅图案而导致可能不正确地 形成薄膜图案。在显示器中可能产生缺陷。发明内容因此，本发明涉及提供一种液晶显示器件，其可基本上克服因现有技术 的局限和缺点而带来的一个或多个问题。本发明的附加优点和特征将在后面的 说明书中得以阐明，部分从说明书中会显而易见地得到，或者可通过本发明的 实践得知。本发明的目的和其他优点可通过书面说明书及其权利要求以及附图 中具体指出的结构来实现和得到。一方面， 一种用于使荫罩消磁的装置，包括荫罩储存架；在荫罩储存 架中的基板盒，其中至少一个荫罩设置在基板盒中；以及消磁器，通过交流电 (AC)产生磁场，由此去除至少一个荫罩的磁性。另一方面， 一种使荫罩消磁的方法，包括在其中具有消磁器的荫罩储 存架中设置至少一个荫罩；向消磁器施加交流电(AC)，由此产生磁场；以及 通过该磁场去除所述至少一个荫罩的磁性。应该理解，上面的概括性描述和下面的详细描述都是示意性和解释性的， 意欲对本发明的权利要求提供进一步的解释。
本申请所包括的附图用于提供对本发明的进一步理解，并且包括在该申请中而作为本申请的一部分，示出了本发明的实施方式并且连同说明书一起用 于解释本发明的原理。在图中图1和图2为根据现有技术采用磁性荫罩用于形成薄膜的装置的示意图； 图3表示现有技术的磁化荫罩；图4为表示根据本发明使荫罩消磁的原理的示意图；图5为示出用于根据本发明的消磁装置的螺线管的原理的示意图；图6为示出根据本发明第一个实施方式的使用螺线管的消磁装置的示意图；图7为示出用于根据本发明的消磁装置的亥姆霍兹线圈的原理的视图；以及图8为示出根据本发明第二个实施方式的使用亥姆霍兹线圈的消磁装置 的示意图。
具体实施方式
以下将参照附图中所示的实施例详细描述本发明的优选实施方式。图4为表示根据本发明使荫罩消磁的原理的示意图。图4示出了取决于 施加在荫罩上的磁场的荫罩的磁通密度B与磁场强度H的关系。在图4中，荫罩具有取决于所施加磁场的磁滞性。通过将交流电(AC) 的磁化电流施加给荫罩，荫罩的磁化逐渐减小，直至荫罩的磁力变为零。更具体地，荫罩102由于磁体108的磁场而被磁化，从而电子自旋沿一 定方向排列。如果交流电(AC)的电场以不同方式施加于荫罩102上，则电 子自旋方向对应于周期AC的极性变化而交替改变。此时，如果AC减小，电 子自旋的改变程度也降低，最终，荫罩102的磁化变为零。图5为示出用于根据本发明的消磁装置的螺线管的原理的示意图，图6 为示出根据本发明第一个实施方式的使用螺线管的消磁装置的示意图。在图5中，线圈112缠绕在磁性物113上，并且来自AC电源115的AC 施加于线圈112上。在图6中，螺线圈设置在荫罩储存架110中。多个荫罩102设置在基板盒 lll中，并且线圈112被管状地安装在荫罩102周围，其中荫罩102用作磁性 物。AC电源115与线圈112连接。如果来自AC电源115的逐渐减小的AC施加于线圈112上时，则荫罩102 被消磁。线圈112，较佳地，可以设置在用于运进和运出荫罩102的出入口的 一侧，以便能够毫无障碍地运进和运出荫罩102。图7为示出用于根据本发明的消磁装置的亥姆霍兹线圈的原理的视图， 图8为示出根据本发明第二个实施方式的使用亥姆霍兹线圈的消磁装置的示在图7中，两个平行环形线圈212缠绕在非磁化线圈样板(未示出)上， 以使线圈212的半径"r"等于线圈212之间的距离，从而在中心部分均匀地 感应磁场。当电流"I"以相同方向流经每个线圈212时，在与线圈212的其中之一 的中心相距"x"的点上，磁场表示如下^寻[(i+4)—番+(1+(二)2)一*]其中"N"为一个线圈中线环的数量，"r"为线圈的半径。线环数量相同且电流相同时，与由螺线圈感应的磁场相比，由亥姆霍兹 线圈感应的磁场相对弱但通常在较宽范围内是均匀的。因此，亥姆霍兹线圈用 于在较宽范围内产生均匀磁场的情形。在图8中，亥姆霍兹线圈设置在荫罩储存架110中。两个平行的环形线圈 212设置在基板盒111的相对侧，其中线圈212间隔的距离等于线圈212的半 径。AC电源115与线圈212连接。如果来自AC电源115的逐渐减小的AC施加于线圈212上时，则设置在 线圈212之间的荫罩102被消磁。线圈212设置其上的基板盒111可以是由非 磁化材料形成。
以下将参照附图更详细地描述根据本发明的使荫罩消磁的方法。首先，参照图1和图2，荫罩102和基板105设置在腔室101中，荫罩 102和基板105彼此对准，以使基板105的交叉图案与荫罩102的那些交叉图 案交叠。通过吸盘107固定荫罩102和基板105，吸盘107的底部与磁体108 相结合。然后，通过升华法或者其它沉积法之一，由荫罩102的图案在基板 105上形成薄膜，并且将吸盘107与荫罩102和基板105分离。将荫罩102转 移到荫罩储存架110上。此时，荫罩102由吸盘107的底部上的磁体108磁化。参照图6和图8， 将减小的AC施加于消磁器上，例如图6的线圈112或者图8的线圈212，荫 罩102被消磁。此后，由于荫罩102完全被消磁并且荫罩102的图案彼此不连接，因此 即使在下一个工序中使用该荫罩102，也不存在图案问题。在本发明中，消磁器设置在荫罩储存架中，并且荫罩由消磁器消磁。因 此，可以防止荫罩的图案由于荫罩磁化而连接。这可以减少次品的数量并提高对于本领域技术人员显而易见的是，在不背离本发明精神或范围的条件下 可以做出本发明的液晶显示器件中的各种变型和修改。因此，本发明覆盖落入 所附权利要求书范围内的各种改进和变型及其等同物。
权利要求
1、一种用于使荫罩消磁的装置，包括荫罩储存架；在荫罩储存架中的基板盒，其中至少一个荫罩设置在基板盒中；以及消磁器，通过交流电(AC)产生磁场，由此去除所述至少一个荫罩的磁性。
2、 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述消磁器包括线圈和与 线圈连接的AC电源，其中所述线圈管状地安装在至少一个荫罩周围，并且所 述AC电源向线圈施加AC。
3、 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述消磁器包括两个线圈 和与所述线圈连接的AC电源，其中所述线圈为环形并分别平行地设置在所述 基板盒的相对侧，以使所述至少一个荫罩设置在所述线圈之间，并且所述线圈 之间的距离等于所述线圈的半径。 '
4、 根据权利要求3所述的装置，其特征在于，通过所述线圈的电流沿着 同一方向流动。
5、 根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述基板盒是由非磁化材 料形成。
6、 一种使荫罩消磁的方法，包括 在其中具有消磁器的荫罩储存架中设置至少一个荫罩； 向所述消磁器施加交流电(AC)，由此产生磁场；以及 通过所述磁场去除所述至少一个荫罩的磁性。
7、 根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述消磁器包括螺线圈和 亥姆霍兹线圈的其中之一。
8、 根据权利要求6所述的方法，其特征在于，向所述消磁器施加AC包 括逐渐减小AC。
全文摘要
本发明涉及一种用于使荫罩消磁的装置，该装置包括荫罩储存架；在荫罩储存架中的基板盒，其中至少一个荫罩设置在基板盒中；以及消磁器，通过交流电(AC)产生磁场，由此去除该至少一个荫罩的磁性。
文档编号H01J29/07GK101106052SQ20071011142
公开日2008年1月16日 申请日期2007年6月20日 优先权日2006年6月22日
发明者俞忠根, 李康柱 申请人:Lg.菲利浦Lcd株式会社