专利名称：交流气体放电等离子显示屏的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种交流气体放电等离子显示屏，尤其涉及上基板的放电电极。
背景技术：
目前通用的交流气体放电等离子显示屏均采用表面放电型结构，它包括一个上基 板及与之封接在一起的下基板，上基板上配置有透明电极IT0和汇流电极，透明电极和汇 流电极构成放电电极，放电电极包括维持放电电极X和扫描放电电极Y，在放电电极的表面 覆盖有一层介质层，介质层上覆盖有氧化镁保护层。下基板配置有与放电电极相互垂直的 寻址电极，寻址电极上覆盖一层介质层，介质层上配置有与其寻址电极平行的条状壁障，且 在条状壁障的底部覆盖有荧光粉层，上、下基板用低熔点玻璃粉封接在一起，并且充有放电 气体。 如图l至图3所示，图l示出了现有等离子显示屏的立体结构，图2示出了现有等 离子显示屏的剖视结构，图3示出了现有等离子显示屏的上基板的放电电极。结合参照图1 至图3，三电极表面放电结构的PDP放电单元结构如下形成于上基板10上的扫描电极11 以及维持电极12通常由透明电极11a、12a和金属电极llb、 12b两部分组成。
透明电极11a、12a通常采用氧化铟锡(Indium-Tin-Oxide， IT0)作为材质，形成 于上基板10上。金属电极通常以铬(Cr)、银(Ag)等为主要材料，形成于透明电极lla、12a 上，以减少工作中的透明电极的电压降。扫描电极11和维持电极12平行的形成在上基板 上，并在其上面覆盖一层介质层13。介质层保证扫描电极11与维持电极12之间的电阻率。 同时，在等离子放电时在前介质上能蓄积一定的壁电荷。在介质层13的上表面沉淀一层保 护膜14。保护膜14可以防止等离子放电对前介质产生破坏。而且，还能提高二次放电系 数。保护膜一般使用的材料为氧化镁(Mg0)。 寻址电极(A)21行成于下基板20上。在寻址电极21的上面覆盖一层后介质23， 对寻址电极21间形成绝缘，同时对寻址电极形成保护。在后介质23上制作障壁24。障壁 24—般为条形的或栅格形状。每条或每个栅格形成显示单元。然后，在障壁单元格内注入 对应的荧光体浆料25。 寻址电极21与上基板10上扫描电极11以及维持电极12在空间上垂直对应。同
时，要求各个电极与障壁24的沟槽对应。也就是与放光单元格对应。将上基板10、下基板
20以及障壁24构成密闭的放电空间。向密闭的空间内充入定量的有助于气体放电的惰性
混合气体，工作中，电极间放电产生等离子激活荧光体，从而显示各种图形。 交流等离子显示屏的功耗及图像质量与本身的压降有密切关系。上基板的银电极
随着分辨率的不断提高，间距越来越小，导致制作的银电极越来越细，使得电阻增大，这导
致压降增加，不仅使功耗增大，而且使图像质量变坏。 鉴于放电电极宽度变窄带来的不利影响，有必要采取措施加以消除。
发明内容
本发明的目的在于解决现有技术中存在的问题，提供一种交流气体放电等离子显 示屏，以达到减少功耗、增加亮度、提高图像质量的目的。 为此，本发明提供一种交流气体放电等离子显示屏，包括上基板及与之封接的下 基板，上基板上具有放电电极，其中，放电电极包括第一层金属电极及与之电连接的第二层 金属电极，并且在第一层金属电极和第二层金属电极之间设置绝缘层。
其中，上述第一层金属电极和第二层金属电极都为银电极。
其中，上述绝缘层为氧化镁层。 其中，上述第一层金属电极和第二层金属电极在两端部电连接在一起。 其中，上述放电电极还包括位于上基板和第一层金属电极之间的透明电极IT0。 根据本发明的交流放电等离子显示屏，采用两层金属电极例如银电极的方式，增
加了金属电极的截面积，从而减少了电阻，同时金属电极之间的氧化镁绝缘层不仅没有影
响上基板屏表面的透光率，而且还提高二次电子的发射系数，使显示屏的着火电压进一步降低。 应该指出，以上说明和以下详细说明都是例示性的，旨在对所要求的本发明提供 进一步的说明。 除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本发明还有其它的目的、特征和优点。 下面将参照图，对本发明的其它的目的、特征和效果作进一步详细的说明。
构成本说明书的一部分、用于进一步理解本发明的图示出了优选实施例并与说明
一起用来说明本发明的原理。图中 图1示出了现有等离子显示屏的立体结构； 图2示出了现有等离子显示屏的剖视结构； 图3示出了现有等离子显示屏的上基板的放电电极；以及 图4示出了根据本发明实施例的等离子显示屏上基板的放电电极立体结构示意 图。
具体实施例方式
以下结合附图和实施例对本发明进行描述。 图4示出了根据本发明实施例的等离子显示屏上基板的电极立体结构。如图所 示，上基板的放电电极包括第一层金属电极111U21及与之电连接的第二层金属电极112、 122，并且在第一层金属电极111U21和第二层金属电极112U22之间设置绝缘层14。其 中，金属电极111与金属电极112电连接，金属电极121与金属电极122电连接。
在本实施例中，第一层金属电极111、121及第二层金属电极112、122都为银电极， 并且在两端部电连接在一起，它们之间的绝缘层14为氧化镁层。容易想到，在其它实施例， 第一层金属电极和第二层金属电极可以是其它的金属电极，例如铬电极。另外，第一层金属 电极和第二层金属电极可以由不同的金属材料制成。 当然，上基板上的放电电极还可以包括位于上基板和第一层金属电极111U21之
4间的透明电极IT0 11a、12a。 下面以银电极为例对上基板放电电极的两种制作方法进行描述。 在第一种制作方法中用电子束蒸发的方法在PDP上基板第一层银电极表面上形
成绝缘层。 该制作方法的具体实施步骤为1)用刻蚀方法形成IT0电极；2)在IT0电极图形 上应用光刻法形成第一层银电极；3)用电子束蒸发的方法蒸镀一层氧化镁膜，主要工艺参 数基片温度275°C ，膜厚2000 ±矣，真空度6. 0 X 10—3Pa ;4)在氧化镁膜层上用印刷法形成第 二层银电极，该层银电极在两端与第一层银电极相连；5)在第二层银电极上印刷介质；6) 在14(TC左右的温度下进行干燥；7)在58(TC左右的温度下进行烧结；8)在介质层上使用 电子束蒸镀方法形成厚度7000埃左右的氧化镁膜。 在第二种制作方法中用磁控溅射的方法在PDP上基板第一层银电极表面上形成 绝缘层。 该制作方法的具体实施步骤为1)用刻蚀方法形成ITO电极；2)在ITO电极图 形上应用光刻法形成第一层银电极；3)用磁控溅射的方法蒸镀一层氧化镁膜，主要工艺参 数基片温度35(TC，膜厚1000±矣，真空度9. 0X10—4Pa ;4)在氧化镁膜层上用印刷法形成第 二层银电极，该层银电极在两端与第一层银电极相连；5)在第二层银电极上印刷介质；6) 在15(TC左右的温度下进行干燥；7)在585t:左右的温度下进行烧结；8)在介质层上磁控 溅射方法形成厚度3000埃的氧化镁膜。 根据上述方法制作的交流放电等离子显示屏，采用两层金属电极例如银电极，增 加了金属电极的截面积，从而减少了电阻，同时在透明电极上形成中间有氧化镁绝缘层隔 开的闭环形银电极，如此，既不影响上基板屏表面的透光率，而且在闭环形银电极中间增加 的氧化镁绝缘层(氧化镁膜)，提高二次电子的发射系数，使显示屏的着火电压进一步降 低。 以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技 术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修 改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
一种交流气体放电等离子显示屏，包括上基板及与之封接的下基板，所述上基板上具有放电电极，其特征在于，所述放电电极包括第一层金属电极及与之电连接的第二层金属电极，并且在所述第一层金属电极和所述第二层金属电极之间设置绝缘层。
2. 根据权利要求1所述的交流气体放电等离子显示屏，其特征在于， 所述第一层金属电极和第二层金属电极都为银电极。
3. 根据权利要求1或2所述的交流气体放电等离子显示屏，其特征在于， 所述绝缘层为氧化镁层。
4. 根据权利要求1所述的交流气体放电等离子显示屏，其特征在于， 所述第一层金属电极和所述第二层金属电极在两端部电连接在一起。
5. 根据权利要求1或2或4所述的交流气体放电等离子显示屏，其特征在于， 所述放电电极还包括位于所述上基板和所述第一层金属电极之间的透明电极ITO。
6. 根据权利要求3所述的交流气体放电等离子显示屏，其特征在于， 所述放电电极还包括位于所述上基板和所述第一层金属电极之间的透明电极ITO。
全文摘要
本发明公开了一种交流气体放电等离子显示屏，包括上基板及与之封接的下基板，上基板上具有放电电极，其中，放电电极包括第一层金属电极及与之电连接的第二层金属电极，并且在第一层金属电极和第二层金属电极之间设置绝缘层。根据本发明的等离子显示屏，采用两层金属电极，增加了金属电极的截面积，从而减少了电阻，同时金属电极之间的氧化镁绝缘层不仅没有影响上基板屏表面的透光率，而且还提高二次电子的发射系数，使显示屏的着火电压进一步降低。
文档编号H01J17/49GK101740288SQ20081022576
公开日2010年6月16日 申请日期2008年11月12日 优先权日2008年11月12日
发明者曹瑞林 申请人:四川世纪双虹显示器件有限公司