本揭示涉及一种照明设备，特别是涉及一种用于半导体黄光工艺的照明设备。
背景技术：
在现今的黄光工艺中，主要是采用能发出黄光波段的灯管作为照明设备。所述类型的灯管是通过将一般的白炽灯管外围包覆一层滤光膜而制成。然而，由于所述滤光膜的包覆，导致灯管的整体散热能力下降。因此，在长时间的使用下，持续地通电流而产生的热能会被逐渐累积，进而在灯管的端部产生热点，导致灯管存在容易烧毁的问题。
另一方面，在半导体工艺的无尘室中，灯管通常是装设在盒体内。盒体在面对机台的照射面是设置为密封不可开启的结构，并且在照射面的另一面设置有可开启的门板。设备人员是通过开启门板以进行灯管的更换作业。一般而言，为了保持无尘室的洁净度，盒体会被嵌设在无尘室的天花板上，使得盒体的门板会位在无尘室上方的夹层空间内，进而可避免门板开启时发生粉尘掉落而污染产品的问题。也就是说，在每次的灯管更换作业时，设备人员必须进入所述夹层空间内，导致灯管更换作业存在一定的复杂度。再者，当灯管存在损坏频繁的问题时，意味着设备人员必须频繁地进行灯管更换作业，导致人员工时的耗费。
再者，为了确保产品的品质，灯管必须被滤光膜完全且确实地包覆，以避免泄漏出白光。因此，所述类型的灯管必须采用特殊的加工制成，导致存在造价高昂的问题。
有鉴于此，有必要提供一种用于半导体黄光工艺的照明设备，以解决现有技术所存在的问题。
技术实现要素：
为解决上述技术问题，本揭示的目的在于提供一种用于半导体黄光工艺的照明设备，通过将滤光结构组合在照明设备的盒体上，以提供生产所需的黄光波段的照明光线，藉此，可不须采用外围包覆有滤光膜的灯管，进而可避免灯管容易烧毁、频繁更换灯管导致工时耗费、以及成本高昂等问题。
为达成上述目的，本揭示提供一种用于半导体黄光工艺的照明设备，包含：一盒体，具有一视窗开口；一灯具组，设置在所述盒体内部，用于提供一照明光线；以及一滤光板，装设在所述视窗开口，用于直接承接所述照明光线的照射并吸收通过所述滤光板的所述照明光线中波长小于500纳米以下的光线，以让过滤后的光线用在半导体黄光工艺机台上。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述滤光板为一黄色基板。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述照明设备还包含一玻璃盖板，装设在所述视窗开口且与所述滤光板叠置，其中所述滤光板相较于所述玻璃盖板位在靠近所述灯具组的一侧。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述照明设备还包含一固定件，用于固定所述滤光板的位置。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述固定件为一L型压片，并且所述L型压片的一侧边固定在所述盒体的侧壁，以及所述L型压片的另一侧边与所述滤光板接触，从而使所述滤光板夹设在所述L型压片与所述玻璃盖板之间。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述滤光板包含一透明基板和一滤光膜，所述滤光膜贴附在所述透明基板上，并且所述滤光膜相较于所述透明基板位在靠近所述灯具组的一侧。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述透明基板为一玻璃盖板。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述透明基板为一塑胶基板。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述滤光膜包含一陶瓷研磨层，用于吸收所述照明光线中波长小于380纳米以下的紫外光线。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述陶瓷研磨层的厚度介于5纳米至50纳米之间。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述滤光膜包含一粘贴层和一耐磨层，分别位在所述滤光膜的相对的两侧，其中所述粘贴层用于与所述玻璃盖板接触粘贴，以及所述耐磨层用于避免所述滤光膜刮伤。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述粘贴层的材料包含聚苯乙烯泡沫塑料(PSF)、二甲苯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、和邻苯二甲酸二丁酯。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述滤光膜包含一强化胶膜层，并且所述强化胶膜层的材料包含PET(polyethylene terephthalate)和压敏胶。
在本揭示其中之一优选实施例中，所述盒体包含一可掀开的门板，设置在相对于所述视窗开口的一侧，其中所述视窗开口设置在面对于所述半导体黄光工艺机台的位置。
在本揭示其中之一优选实施例中，其中所述灯具组提供的所述照明光线为白光。
相较于现有技术，本揭示通过采用能发出白光的灯具组，并将所述灯具组设置在组装有滤光膜的盒体上，藉此，白光通过滤光膜后即会变成生产所需的带有黄光波段的光线。因此，在本揭示中不须采用将滤光膜包覆在外围的灯管，进而可避免灯管容易烧毁、频繁更换灯管导致工时耗费、以及成本高昂等问题。
附图说明
图1显示一种根据本揭示第一优选实施例的照明设备的第一视角立体结构示意图；
图2显示图1的照明设备的第二视角立体结构示意图；
图3显示图1的照明设备的结构爆炸示意图；
图4显示一种根据本揭示第二优选实施例的照明设备的结构爆炸示意图；
图5显示根据本揭示第二优选实施例的照明设备的局部结构示意图；
图6显示一种根据本揭示第三优选实施例的照明设备的结构爆炸示意图；
图7显示图6的滤光膜的结构示意图；以及
图8显示一种根据本揭示第四优选实施例的照明设备的结构爆炸示意图。
具体实施方式
为了让本揭示的上述及其他目的、特征、优点能更明显易懂，下文将特举本揭示优选实施例，并配合附图，作详细说明如下。
请参照图1和图2，图1显示一种根据本揭示第一优选实施例的照明设备1的第一视角立体结构示意图，以及图2显示图1的照明设备1的第二视角立体结构示意图。照明设备1包含盒体10，其中照明设备1的各元件皆整合在盒体10内部或盒体10上。盒体10包含相对的第一面11和第二面12，其中第一面11为可透出光线的照射面，以及第二面12为设备维修面。在本揭示中，照明设备1是用于半导体黄光工艺，故照明设备1是被装设在半导体工艺的厂房中。具体来说，盒体10的第一面11是设置在无尘室内部，且面对半导体黄光工艺的机台。优选地，盒体10的第一面11会被设置为一种密封不可开启的结构。盒体10的第二面12包含一对可掀开的门板，以提供设备人员进行各项保养维修作业。一般而言，为了保持无尘室的洁净度，盒体10会被嵌设在无尘室的天花板上，使得盒体10的第二面12会位在无尘室上方的夹层空间内，进而可避免门板开启时发生粉尘掉落而污染产品的问题。
优选地，盒体10的本体是采用厚度大于0.8mm的厚钢板，以及盒体10的门板是采用厚度大于1.0mm的厚钢板构成。并且，盒体10的外表面涂覆有一层白色的厚漆，使得盒体10不易生锈且具有高反射率。又，在盒体10的各接缝部位皆以充填剂填补，以避免发生不预期的光线泄漏的问题。可以理解的是，虽然在本揭示的附图中是以外廓为长矩形的盒体10作为示例，然而，在其他不同的实施例中盒体10的外廓可被设计为正方形、多边形、圆形等，不局限于此。
请参照图3，其显示图1的照明设备1的结构爆炸示意图。照明设备1除了前述的盒体10之外还包含灯具组13和滤光板14。盒体10内部包含一中空的容置空间，以及在盒体10的第一面11形成有一视窗开口110。应当注意的是，视窗开口110设置在面对于半导体黄光工艺机台的位置，以及位在盒体10的第二面12的可掀开的门板是设置在相对于视窗开口110的一侧。灯具组13设置在盒体10内部的容置空间，用于提供照明光线。在本实施例中，灯具组13包含四个互相串或并联在一起的灯管。然而，在其他实施例中亦可采用不同数量的灯管，惟不局限于此。优选地，灯具组13提供的所述照明光线为具有全波段的白光。滤光板14装设在盒体10的视窗开口110。优选地，滤光板14为一黄色基板。举例来说，可采用市售的含有型号为7003A的紫外线吸收剂的塑胶基板作为本揭示的黄色基板，或者是采用日商帝人株式会社所贩售的PC塑胶粒制成的塑胶基板作为本揭示的黄色基板，惟不局限于此。并且优选地，黄色基板的厚度采用2至3毫米，然而在其他实施例中亦可考量实际需求而将黄色基板的厚度作适当地调整。如此，当照明光线通过滤光板14后，波长小于500纳米以下的光线会被滤光板14吸收，进而让过滤后的光线用在半导体黄光工艺机台上。
如图3所示，盒体10的视窗开口110与滤光板14的外廓尺寸相同且互相对应。明确地说，在本实施例中盒体10的视窗开口110与滤光板14的外廓是采用长方形的设计，然而，在其他实施例中可将两者的外廓一同设计为圆形、正方形、或多边形等，不局限于此。藉此特征，当滤光板14组装在盒体10上时，视窗开口110的周围不存在未被滤光板14遮蔽的缝隙，进而可避免不预期的白光光线泄漏出来的问题。
请参照图4，其显示一种根据本揭示第二优选实施例的照明设备2的结构爆炸示意图。照明设备2包含盒体20、灯具组23、滤光板24和玻璃盖板25，其中第二优选实施例的盒体20、灯具组23、和滤光板24的特征与第一优选实施例的盒体10、灯具组13、和滤光板14相似，在此不加以赘述。相较于第一优选实施例的照明设备1，第二优选实施例的照明设备2还包含玻璃盖板25，其装设在盒体20的视窗开口210且与滤光板24重叠设置，其中滤光板24相较于玻璃盖板25位在靠近灯具组23的一侧。
请参照图5，其显示根据本揭示第二优选实施例的照明设备2的局部结构示意图，其中照明设备2的灯具组23以及盒体20的可掀开的门板未显示于图中。照明设备2还包含至少一固定件，用于固定滤光板24的位置。举例来说，在本实施例中，采用L型压片26做为固定件。L型压片26包含大致垂直的两侧边，其中之一侧边固定(例如锁固)在盒体20的侧壁上，以及另一侧边与滤光板24接触。藉此设计，滤光板24会被夹设固定在L型压片26与玻璃盖板2 5之间。可以理解的是，在其他实施例中亦可采用不同的元件做为固定件，不局限于此。
在本揭示中，存在滤光板24在受光吸热后容易软化变形，导致滤光板24脱离与盒体20之间的组装的风险。因此，在本揭示的第二优选实施例中，通过提供玻璃盖板25作为支撑滤光板24的底板，可有效地防止滤光板24变形后脱落的问题。
请参照图6，其显示一种根据本揭示第三优选实施例的照明设备3的结构爆炸示意图。照明设备3包含盒体30、灯具组33、滤光板34，其中第三优选实施例的盒体30和灯具组33的特征与第一优选实施例的盒体10和灯具组13相似，在此不加以赘述。相较于第一优选实施例的照明设备1，第二优选实施例的滤光板34是由一透明基板342和一滤光膜341构成。滤光膜341贴附在透明基板342上。透明基板342的材料包含玻璃、塑胶、压克力等，并且优选地是采用具有耐高温特性的材料。滤光膜341设置在透明基板342上，用于吸收通过滤光膜341的所述照明光线中波长小于500纳米以下的光线，以让过滤后的光线用在半导体黄光工艺机台上。
如图6所示，滤光膜341相较于透明基板342位在靠近灯具组33的一侧。更明确的说，透明基板342包含一内表面和一相对的外表面，其中内表面位在盒体30的内部，以及滤光膜341设置在透明基板342的内表面。应当注意的是，盒体30的视窗开口310、透明基板342和滤光膜341三者的外廓尺寸相同且互相对应叠置。明确地说，在本揭示的附图中盒体30的视窗开口310、透明基板342和滤光膜341三者的外廓是采用长方形的设计，然而，在其他实施例中在可将三者的外廓共同设计为圆形、正方形、多边形等，不局限于此。因此当透明基板342连同滤光膜341一起组装在盒体30上时，视窗开口310的周围不存在未被滤光膜341遮蔽的缝隙，进而可避免不预期的白光照明光线泄漏出来的问题。
请参照图7，其显示图6的滤光膜341的结构示意图。滤光膜341包含依序堆叠的粘贴层3411、陶瓷研磨层3412、强化胶膜层3413、和耐磨层3414，其中粘贴层3411和耐磨层3414分别位在滤光膜341的相对的两侧。粘贴层3411是由黏性材料构成，且黏性材料包含聚苯乙烯泡沫塑料(PSF)、二甲苯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、和邻苯二甲酸二丁酯。具体来说，粘贴层3411是以纸张、薄膜或各种薄型材料为基材，优选地是为涂有硅保护层的底纸，并且在其中一面涂覆黏性材料进而形成一种复合结构。所述粘贴层用于与透明基板342接触粘贴。耐磨层3414是用于提供抗刮能力，避免在施工作业的时候造成滤光膜341的刮伤，而影响滤光膜341的外观与透光度。可以理解的是，在将滤光膜341粘贴在透明基板342之前，为了避免粘贴层3411沾附灰尘，可先将一离型膜覆盖在粘贴层3411上。离型膜为一种透明膜层，用于防止粘贴层3411与其他物质的接触。并且，在使用时能轻易地将此离型膜剥除。
如图7所示，陶瓷研磨层3412位在粘贴层3411之上，作为主要的滤光层，用于吸收波长小于500纳米以下的光线，以让过滤后的光线照射在半导体黄光工艺机台上。在本揭示中，利用纳米技术形成厚度介于5纳米至50纳米之间的陶瓷研磨层3412，以让可见光可顺利通过。陶瓷研磨层3412包含陶瓷纳米材料，藉此，可吸收波长小于380纳米以下紫外波段与波长大于760纳米以上的红外波段的光，进而产生了抗红外线效果，同时可减少对通讯产品的干扰与阻隔。
如图7所示，强化胶膜层3413位在陶瓷研磨层3412之上。强化胶膜层3413的材料包含PET(polyethylene terephthalate)和压敏胶。由于一般现有的贴膜的材质很薄且缺乏韧性，在紫外线照射下，贴膜容易老化而导致脆化。因此，当遇到意外碰撞时，贴膜容易断裂。反观，在本揭示中，由于是采用PET材料作为强化胶膜层3413的基材，使得滤光膜341具有很强的韧性，在配合特殊的压敏胶，使得当透明基板342遇到碰撞时，破裂的透明基板342会被滤光膜341紧紧的粘在一起，不会掉落而造成人员的伤害。
请参照图8，其显示一种根据本揭示第四优选实施例的照明设备4的结构爆炸示意图。照明设备4包含盒体40、灯具组43、滤光板44、和玻璃盖板45，其中第四优选实施例的盒体40、灯具组43和、滤光板44的特征与第三优选实施例的盒体30、灯具组33和、滤光板34相似，在此不加以赘述。相较于第三优选实施例的照明设备3，第四优选实施例的照明设备4还包含玻璃盖板45，其装设在盒体40的视窗开口410且与滤光板44重叠设置，其中滤光板44相较于玻璃盖板45位在靠近灯具组43的一侧。由于，在本揭示中，存在滤光板44在受光吸热后容易软化变形，导致滤光板44脱离与盒体40之间的组装的风险。因此，在本揭示的第四优选实施例中，通过提供玻璃盖板45作为支撑滤光板44的底板，可有效地防止滤光板44变形后脱落的问题。
综上所述，本揭示通过采用能发出白光的灯具组，并将所述灯具组设置在组装有滤光膜的盒体上，藉此，白光通过滤光膜后即会变成生产所需的带有黄光波段的光线。因此，在本揭示中不须采用将滤光膜包覆在外围的灯管，进而可避免灯管容易烧毁、频繁更换灯管导致工时耗费、以及成本高昂等问题。
虽然本揭示已用优选实施例揭露如上，然其并非用以限定本揭示，本揭示所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本揭示的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本揭示的保护范围当视后附的权利要求所界定者为准。