专利名称：切削装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种切削装置，特别是涉及一种具有将切削被加工物时产生的切屑加以处理的切屑处理装置的切削装置。
背景技术：
最近，作为适合使用于移动电话及笔记本型个人用计算机等的小型电子装置的半导体器件，实用地提供了CSP(Chip Size Package)。该CSP通常在由呈格子状地排列于合成树脂基板等的基板上的切割道划分的各个矩形区域中，配设如IC、LSI那样的芯片而形成。一般对在该基板上形成多个CSP的基板称为CSP基板。该CSP基板沿切割道(切削ストリ一ト)进行切削，分割成各CSP。
作为沿切割道切削CSP基板等的被加工物的切削装置，如专利文献1记载的那样，一般为具备保持被加工物的夹紧台，和切削被加工物的切削机构的装置。在该切削装置中，夹紧台设置为在切削方向上可往复运动，切削机构具有由金刚石磨粒等构成的大致环状的切刀。另外，在切削机构上附设有喷射纯水等的切削液的切削液喷射机构，在切削时，通过切削液的喷射，冷却切刀及被加工物。在该种切削装置中，保持作为被加工物的CSP基板的夹紧台在切削方向往复运动，高速旋转的切刀沿该CSP基板的切割道作用，进行切削加工。
在该切削加工中，因切刀的旋转方向，被切削的CSP基板的切屑(边材等)及切削液会向切削区域周边飞溅。例如，在加工点上，切刀向夹紧台的往复运动方向旋转时(向下切割)，切屑及切削液向夹紧台的往复运动方向飞溅。另外，切削液的一部分为雾，也会向与夹紧台的往复运动相反的方向飞溅。
在上述专利文献1记载的切削装置中，设有将因这种切削加工而飞溅的切屑及切削液进行排出处理的切屑处理装置。在该切屑处理装置中，因上述切削加工而飞溅的切屑及切削液，由设在往复运动的夹紧台的两侧的沟槽状接收输送部件(水箱)接住并输送，并从该接收输送部件的端部下落到环形带上。在该环形带上贯通形成有多个孔，可使切削液流下，并堆积切屑。因而，下落到该环形带上的切屑，在除水状态下通过环形带自动地输送，并在环形带的方向变化部位，落在切屑收集容器内而被回收。
专利文献1日本特开2002-239888号公报发明内容但是，在上述以往的切屑处理装置中，环形带为了保持被拉伸的拉伸状态，若在该环形带上设置多个孔，则强度将变弱。从而，不能为了使切削液流下而在环形带上设置充足数量的孔，其结果，不能用环形带将切削液充分地除水，出现切削液传给环形带而注入切屑收集容器内的问题。
另外，因在环形带中使用驱动机构，所以切屑也会进入环形带的驱动机构，出现切屑堵塞驱动机构，使环形带的驱动机构停止的问题。所以，考虑到其安全性，在使切削装置停止并中断切削加工后，使切屑处理装置动作以进行切屑的排出处理，但若这样做，则会有生产效率降低的问题。
再有，根据使用者的使用状况，也会有切屑处理装置的使用频率极少的情况，在这种情况下也在切屑处理装置上设置有驱动机构，存在随着装置的构造复杂，价格会不合适的问题。
为此，本发明就是鉴于上述的问题而提出的，其目的是提供一种具有切屑处理装置的切削装置，该切屑处理装置可从切屑中很好地分离切削液，可不停止切削装置地排出处理切屑，并且结构简单且价格低廉。
为了解决上述的问题，根据本发明的观点，提供了一种具有保持被加工物的夹紧台，通过切刀切削被加工物的切削机构，和切屑处理装置的切削装置。该切削装置中，其特征在于，切屑处理装置具有接收输送部件，该接收输送部件与所述夹紧台邻接设置，接住因所述被加工物的切削而飞溅的切屑及用于切削的切削液，并将所述切屑及所述切削液移动到端部；接收除水部件，该接收除水部件接住从所述接收输送部件的所述端部落下的所述切屑，使所述切削液流下；切削液回收容器，该切削液回收容器回收从所述接收除水部件流下的所述切削液；扒出部件，该扒出部件将残留在所述接收除水部件上的所述切屑通过手动扒出到所述接收除水部件的排出端部侧；切屑回收容器，该切屑回收容器将由所述扒出部件扒出并从所述接收除水部件的所述排出端部落下的所述切屑加以回收。
采用如此结构，因切削而飞溅的切屑及切削液，在由接收输送部件接住后，从接收输送部件的端部落到接收除水部件上。在该接收除水部件中，切削液流下并由切削液回收容器回收，而切屑则残留并堆积在接收除水部件上。另外，残存在接收除水部件上的切屑由操作员使用扒出部件手动扒出，并使其从接收除水部件的排出端部落下，回收到切屑回收容器内。
这样，在上述切屑处理装置中，由于使切削液流下并对切屑除水，因此不使用以前的环形带，而使用接收除水部件。该接收除水部件，因可用比环形带更硬质的材料形成，所以可设置足够的大小和多个液体流通间隙(例如贯通孔)。所以，可充分地排出切削液并除水，且切削液不会流入切屑回收容器内。
另外，因为是将堆积到接收除水部件上的切屑用扒出部件靠手动扒出并向切屑回收容器排出的结构，所以不用在切屑处理装置的切屑输送机构中设置驱动机构。所以，由于切屑不会堵塞驱动机构，因此不用停止切削装置，在切削加工中使用切屑处理装置就可排出切屑。因此，通过切屑的排出处理，不会降低生产效率，另外，可在操作员所希望的任意时刻实施切屑排出处理。此外，因为无需上述驱动机构，所以也可使切屑处理装置的构造简单且成本低廉。
此外，上述扒出部件的特征为，具有在所述切屑扒出时与所述接收除水部件的底部接触的弹性部件；支承所述弹性部件的支承部件；一端与所述支承部件连接，另一端形成有把手的臂部件。
根据该结构，操作员通过把持臂部件的把手并操作扒出部件，可容易地扒出接收除水部件上的切屑。另外，通过在扒出部件与接收除水部件的底部接触的部分上设置具有柔软性的弹性部件，在扒出时，具有接收除水部件底部上的扒出部件的滑动良好，噪音降低的优点。此外，通过弹性部件，还可以以低冲击取出挟在接收除水部件的流通液体用间隙(例如贯通孔)中的切屑，可防止扒出部件及接收除水部件的破损。再有，通过该弹性部件，也可将残留在接收除水部件底部的切削液，引导到流通液体用间隙中。
此外，上述接收除水部件的底部可以以排出端部侧处于上方的方式倾斜。据此，因切削液在接收除水部件的底部上流动，且容易流到流通液体用间隙中，所以可使切削液很好地流下并排出。另外，因接收除水部件的底部朝向切屑回收容器方向向上倾斜，所以能够可靠地防止切削液流入到切屑回收容器中。
再有，在接收除水部件的底部可形成使切削液流下的多个贯通孔。据此，接收除水部件的底部能流通液体，可使切削液很好地流下并排出。此外，接收除水部件，因与上述环形带不同，可用硬质的材料形成，因此可形成多个足够大的贯通孔。
发明的效果如上所述，根据本发明，由于使用接收除水部件代替环形带，所以可使切削液很好地流下并排出，切削液不会流入到切屑回收容器内。
此外，由于是将堆积在接收除水部件上的切屑用扒出部件靠手动向切屑回收容器排出的结构，所以作为切屑处理装置的切屑输送机构，不用设置驱动机构也可完成。为此，由于切屑不会塞堵驱动机构，所以可不停止切削装置地使用切屑处理装置排出切屑。另外，也可使切屑处理装置的构造简单且低成本。
图1为示出本发明的第1实施例的切削装置的概略透视图。
图2为示出同实施例的CSP基板与切削装置的安装夹具的说明图。
图3为示出同实施例的切削装置的切屑处理装置的整体透视图。
图4为示出同实施例的切屑处理装置的接收除水部件、切削液回收容器、切屑回收容器、和扒出部件的透视图。
图5为示出同实施例的切屑处理装置的接收除水部件，及扒出部件的俯视图。
图6为示出在同实施例的切屑处理装置中，在接收除水部件上堆积切屑、切削液流下的状态的剖面图。
图7为示出在同实施例的切屑处理装置中，用扒出部件扒出切屑的状态的剖面图。
具体实施例方式
下面参照附图，对本发明的最佳实施例进行详细地说明。另外，在本说明书及附图中，对于实质上具有同一功能结构的构件，用同一符号表示，省略对其重复说明。
本发明涉及一种设置于切削装置上，用于排出及回收因切削加工而产生的切屑(边材等)的切屑处理装置，所述切削装置切削加工CSP基板等的被加工物并分割成各个芯片(CSP(Chip Size Package)等)。
首先，根据图1，对本发明的第1实施例的切削装置10及其切削动作的概要进行说明。图1是示出本实施例的切削装置10的概要的透视图。
如图1所示，切削装置10，在壳体2上具有夹紧区4、调整区5和切削区6。再有，在壳体2的侧方还具有作为本实施例的特征的切屑处理区8。该切削装置10具有切削机构20和夹紧台40，可将CSP基板等的被加工物切削加工为格子状，分割成多个CSP。
在此，根据图2，用作为切削装置10的切削对象的被加工物的一例的CSP基板50进行简单地说明。如图2所示，例如，CSP基板50为在矩形形状的合成树脂基板上形成有多个CSP的基板。在CSP基板50上，切割道51排列成格子状，用该切割道51划分出多个矩形区域52。在该每个矩形区域52上形成CSP，在CSP基板50的端部存在有未形成CSP的周缘部53。
CSP基板50，在载置于用于安装到夹紧台40上的安装夹具60上的状态下搬入切削装置10。安装夹具60例如由金属板构成，为比CSP基板50大一些的矩形状。在安装夹具60上面的中央部，格子状地排列有沟槽61，通过沟槽61划分多个矩形区域62。矩形区域62设置成分别与CSP基板50的矩形区域52相对应，矩形区域62的平面尺寸，与矩形区域52的平面尺寸大致相同。
另外，在各矩形区域62上，贯通形成有吸引孔63，在安装夹具60的背面形成有连接所有的吸引孔63的吸引槽(未图示)。CSP基板50，以将矩形区域52整合成矩形区域62的方式载置于安装夹具60上，如此载置CSP基板50的安装夹具60，被搬入切削装置10。
搬入的安装夹具60，如图1所示，载置在设置于夹紧区4的夹紧台40上。夹紧台40具有比安装夹具60大的矩形吸盘41，通过从吸盘41的中央部形成的吸管的开口42真空吸引，载置CSP基板50的安装夹具60被真空吸附在夹紧台40上。
在安装夹具60如此地被真空吸附在夹紧台40上时，夹紧台40在X轴方向进给移动，载置CSP基板50的安装夹具60被配置在调整区5上。在调整区5中，设有摄影机构55，通过该摄影机构55对CSP基板50的表面进行拍照。进而，通过解析该摄影图像，确认CSP基板50的配置状态和切割道51的位置，另外，识别夹紧台40的X轴方向或Y轴方向的位置和倾斜。由摄影机构55生成的摄影图像显示在监视器56上，通过操作员确认上述CSP基板50的配置状态等。
接下来，夹紧台40向切削区6移动，通过切削机构20切削CSP基板50。切削机构20具有安装在主轴前端的切刀(旋转切断刀)。该切刀可以使用含金刚石磨粒等的薄壁环状的切断刀。另外，切削机构20，例如具有用于喷射纯水等的切削液(例如切削水)的切削液喷射机构。在切削加工时，通过该切削液喷射机构向CSP基板50及切刀喷射切削液，冷却加工点及切刀。
由本实施例的切削装置10进行的切削加工，例如，一边在Y轴方向每间隔一个切割道51地送出切削机构20，一边在作为切削方向的X轴方向往复移动夹紧台40地进行。据此，高速旋转的切刀沿CSP基板50的各切割道51作用并进行切削加工，最终，CSP基板50被切断成格子状，并被分割成各个CSP。
在如此地将CSP基板50分割为各个CSP时，上述的CSP基板50的周缘部53(参照图2)等成为边材，从而产生切屑。该切屑及上述切削液，由于通过切削加工而向切削区6及其周边飞溅，因此为了回收并排出处理这些切屑及切削液设有切屑处理区8。本实施例的切削装置10，在设置于切屑处理区8的切屑处理装置80方面具有特征，后面将对该切屑处理装置80进行详述。
如此，若将CSP基板50切削成格子状并分割为各个CSP芯片，则夹紧台40返回夹紧区4(参照图1)。之后，被分割的各CSP从夹紧台40上的安装夹具60被收纳并输送到收纳盒中，结束一系列的切削工序。
接下来，根据图3，详细地说明切削装置10中的夹紧台40周边的结构。如图3所示，夹紧台40安装成可在一端位置(夹紧台40处于比调整区5还朝X轴正方向的位置)和另一端位置(夹紧台40处于比切削机构20还朝X轴反方向的位置)之间自由往复移动。而且，在夹紧台40上，配设有使其往复移动用的往复移动机构(未图示)。该往复移动机构，为了防护在切削区6种产生的切屑P及在切削区6中喷射的切削液，用折皱保护部件66覆盖。
为进一步保护该折皱保护部件66，在折皱保护部件66的多个突出部上，分别安装有多个板部件67(参照日本特开2004～186361号公报)。该板部件67，具有折皱保护部件66的宽度(垂直于折皱保护部件66的伸缩方向的宽度)以上的长度，和比折皱保护部件66伸长的状态下邻接的突出部和突出部的间隔大的宽度，其一侧安装在突出部上，另一侧与邻接的板部件67的表面可滑动地重合。通过如此地由板部件67覆盖折皱保护部件66，可防止折皱保护部件66因切屑P等而破损。
下面，根据图3～图7，详细地说明作为本实施例的特征的切屑处理装置80。
如图3～图5所示，本实施例的切屑处理装置80，例如，具有邻接于夹紧台40的两侧设置、接住因切削CSP基板50而飞溅的切屑及切削液且将接住的切屑及切削液移动到其端部68a的接收输送部件68；接住从该接收输送部件68的端部68a落下的切屑及切削水、使其中的切削液流下而使切屑堆积的接收除水部件70；回收从接收除水部件70流下的切削液的切削液回收容器81；用手动将残存在接收除水部件70上的切屑向接收除水部件70的排出端部70a侧扒出的扒出部件90；将由该扒出部件90扒出并从接收除水部件70的排出端部70a落下的切屑回收的切屑回收容器82。下面，对构成这种切屑处理装置80的各部进行详述。
首先，对接收输送部件68进行说明。接收输送部件68如图3所示，为将因切削加工而飞溅的切屑及切削液接收的水箱(ウオ一タ一ケ一ス)。该接收输送部件68以包围夹紧台40及其往复移动机构的周边的方式进行设置。具体地说，该接收输送部件68，在用于移动上述夹紧台40的折皱保护部件66及往复移动机构的Y轴方向两侧，即，夹紧台40往复移动的轨迹的两侧，向X轴方向延伸设置。该接收输送部件68例如具有从折皱保护部件66及往复移动机构的底部侧方大致朝水平方向伸出的底板681，和从该底板681的两侧缘向上方延伸的2个侧壁682。通过设置该接收输送部件68，在折皱保护部件66及往复移动机构66的两侧可形成沟槽。
如此接收输送部件68，以覆盖往复移动的夹紧台40的两侧的方式设置，可接住因切削加工而飞溅的切削液及切屑，或者从折皱保护部件66流下的切屑及切削液。该接收输送部件68因使接住的切削液及切屑向接收除水部件70侧的端部68a流动，所以朝向接收除水部件70侧(X轴的负方向)稍微向下方倾斜为好。
再有，为使该切削液及切屑的流动可靠，在接收输送部件68内，可设置在夹紧台40的往复移动方向看，产生指向下游侧的液体流的液体喷射机构(未图示)。据此，液体喷射机构喷射的液体(例如水)，由于在接收输送部件68内向接收除水部件70侧(X轴的负方向)流动，所以可将堆积在接收输送部件68内的切屑等强制地清洗流动。
接下来，对接收除水部件70进行说明。接收除水部件70如图3～图5所示，例如为上面开放的水槽形状的容器，在其里侧(Y轴的负方向侧)的端部上设有侧壁并封闭，在前侧(Y轴的正方向侧)的排出端部70a上不设置侧壁而开启。该接收除水部件70，以相对于夹紧台40的往复移动方向垂直的方向(Y轴方向)作为纵向地设置在接收输送部件68的2个端部68a的正下方。为此，在上述接收输送部件68内输送的切屑及切削液，从2个端部68a落到接收除水部件70内。接收除水部件70，接住如此地从接收输送部件68的端部68a落下的切屑并堆积，而使从接收输送部件68的端部68a落下的切削液流到切削液回收容器81中。
为了这样地一边接住从接收输送部件68落下的切屑，一边仅流下切削液，接收除水部件70的底部可流通液体地构成。具体的说，在接收除水部件70的底部，例如，以规定的间隔有规则地形成多个贯通孔74。该贯通孔74的大小为切屑不向下方落下程度的大小。以前的环形带因由柔软的材料形成，且在拉伸状态下使用，所以在考虑环形带的寿命时，不可设置多个贯通孔。对此，本实施例的接收除水部件70，例如可由不锈钢等金属类、合成树脂等的硬质材质形成，并且，由于在其底部设有比环形带数目多的充分大小的贯通孔74，所以切削液可从该贯通孔74充分地流下并排出。
另外，接收除水部件70如图6和图7所示，以其前侧(切屑回收容器82侧，即，Y轴正方向侧)处于上方地倾斜设置。其结果，因接收除水部件70的底面倾斜，所以存在于该底面上的切削液向倾斜方向流动，容易到达任意一个贯通孔74中。因此，通过该倾斜配置，可使切削液从贯通孔74更进一步地流下，能够很好地排出。
根据如上构成的接收除水部件70，切屑因不能通过贯通孔74，所以被接住并堆积、残存在接收除水部件70内，而切削液从贯通孔74流下，由配置在接收除水部件70下方的切削液回收容器81回收。该切削液回收容器81例如与排水泵(未图示)等连接，以将回收的切削液通过配液管81a排到外部。
下面，对作为本实施例的特征的扒出部件90进行说明。扒出部件90，为通过手动将残存在接收除水部件70上的切屑向接收除水部件70的排出端部70a侧扒出、使其落到切屑回收容器82中的例如锄式的部件。
该扒出部件90如图3～图5所示，由设于扒出部件90的前端部且在切屑扒出时与接收除水部件70的底部接触的弹性部件92，支承该弹性部件92的支承部件94，和一端与支承部件94连接、另一端形成把手98的臂部件96构成。
弹性部件92例如为由橡胶等的弹性材料形成的具有弹性的大致矩形平板状的部件。该弹性部件92的下边(与接收除水部件70的底部接触的边)，具有沿接收除水部件70的底部形状的形状。例如，在本实施例中，因接收除水部件70的底部是平坦的，故与此相应地，弹性部件92的下边也是直线状的。另外，为使切屑不能从弹性部件92的两侧逃逸，弹性部件92的X轴方向的宽度为与接收除水部件70的X轴方向的内宽大致相同或稍小的程度。
支承部件94为由比弹性部件92还硬质的材质形成的大致矩形平板状的部件。该支承部件94，在其下端侧固定有(例如螺钉固定)弹性部件92，在其上端侧固定有(例如螺钉固定)臂部件96的前端部分。该支承部件94，具有将弹性部件92与臂部件96稳定地连接的功能。
臂部件96为例如将金属材质的管等整体弯曲成大致コ字型而形成的纵长状部件。该臂部件96具有对应于接收除水部件70的长度及宽度。具体的说，该臂部件96的Y轴方向的长度，比上述接收除水部件70的Y轴方向的长度长，另外，臂部件96的X轴方向的宽度，比上述接收除水部件70的X轴方向的宽度还宽一些。该臂部件96，在里侧的一端部上，安装有上述支承部件94及弹性部件92，而在前侧的两端部上分别形成把手98。
使用如此结构的扒出部件90，如图6～图7所示，操作员通过手动，可将残存在接收除水部件70上的切屑P扒出，并使其从接收除水部件70的排出端部70a落到切屑回收容器82内。
具体的说，排出切屑P时，操作员站立在切屑处理装置80的Y轴方向的前侧，用两手把持扒出部件90的臂部件96的2个把手98，并将扒出部件90拉到前侧。此时，使扒出部件90的弹性部件92与接收除水部件70的底部持续接触地拉近扒出部件90。据此，残存在接收除水部件70底部上的切屑P，通过弹性部件92及支承部件94推压，收拢于排出端部70a侧。
此时，由橡胶等形成的有弹性的弹性部件92，因与由不锈钢等形成的硬质的接收除水部件70的底部接触，所以在接收除水部件70上的扒出部件90的滑动性较好，具有不产生噪音的优点。此外，收拢的切屑P，即使在挂在接收除水部件70的底部的贯通孔74上的情况下，由于通过有弹性的弹性部件92，可使该挂住的切屑P圆滑地脱离贯通孔74，所以贯通孔74周边和扒出部件90自身不会破损。此外，因弹性部件92与接收除水部件70的底部紧密接触，所以可将残留在该底部的切削液W通过弹性部件92向贯通孔74引导、流下，可提高除水效果。
如此，对收拢于接收除水部件70的排出端部70a侧的切屑P，通过操作员进一步地拉近扒出部件90，可如图7所示地，从该排出端部70a落下并回收到切屑回收容器82内。
此时，因在接收除水部件70的排出端部70a上，设置覆盖排出端部70a的两侧面及上面的防止飞散罩72，所以可防止从排出端部70a扒出的切屑P向周边飞散，可较好地回收到切屑回收容器82内。
另外，由于接收除水部件70的开放端部70a的底部，为朝向切屑回收容器82侧(Y轴的正方向)向下的倾斜面，所以切屑P在该倾斜面上滑动并很好地朝向切屑回收容器82落下。
如上所述，在完全拉出扒出部件90(参照图7)，切屑P回收到切屑回收容器82内之后，操作员将扒出部件90返回到扒出前的原位置(参照图6)。此时，操作员利用在接收除水部件70的两侧壁的排出端部70a侧上部突出设置的扒出部件支承部76，可将扒出部件90容易地返回原位置。具体的说，操作员将扒出部件90的臂部件96载置在扒出部件支承部76上，以该扒出部件支承部76作为支点，将扒出部件90的弹性部件92等以离开接收除水部件70底部的状态举起，然后通过滑动臂部件96，将扒出部件90返回到原位置。通过如此将扒出部件90返回到原位置，在切屑残留在接收除水部件70的底部的情况下，可防止将切屑塞入接收除水部件70的里侧从而很难排除切屑的现象。
另外，该扒出部件支承部76，在不进行切屑的排出处理时，也可支承载置于接收除水部件70上的扒出部件90的臂部件96。
以上，对本实施例的切屑处理装置80进行了说明。在该切屑处理装置80中，因使用了接收除水部件70来代替以往的环形带，所以为了排出切削液，可形成多个较大的贯通孔74。因此，切削液可很好地流下并将切屑充分地除水，切削液也不会流入切屑回收容器82内。
此外，在本实施例的切屑处理装置80中，因具有将堆积在接收除水部件70上的切屑用扒出部件90通过手动扒出而排出的结构，所以没有必要设置以往那样的自动输送并排出切屑的驱动机构。为此，可解决因切屑堵塞在驱动机构上，切屑处理装置停止的问题。所以，由于不会因切屑处理装置80的故障而停止切削装置10，因而即使在切削加工中，也可在操作员所希望的任意时刻，用切屑处理装置80排出切屑。
如此，除了切屑的排出时刻操作员可自由地选择外，残留在接收除水部件70上的切屑的允许容量和切屑回收容器82内的切屑的储存量，操作员可也自由地决定。另外，接收除水部件70因排出端部70a侧处于上方地倾斜配置，所以切屑很难从接收除水部件70的排出端部70a洒落。为此，在排出端部70a的下方，没必要经常配置切屑回收容器82。
再有，因没有设置上述驱动机构，所以简化了切屑处理装置80的构造，而且也可低成本地制造切屑处理装置80。如此对于因被加工物的种类和切削加工状态等切屑处理装置80的使用频率少的用户是有益的。
以上，参照附图对本发明的最佳实施例进行了说明，但本发明并不限于此例。对于本领域普通技术人员而言，很显然在权利要求范围记载的范畴内，可以想到各种变更例或修正例，当然这些也属于本发明的技术范围之内。
例如，在上述实施例中，作为被加工物例举了CSP基板50进行了说明，但本发明并不限于此例。被加工物，如果是通过切削加工而生成边材等的比较大的切屑的物质，例如也可以是硅片等的各种半导体单晶片、GPS基板、BGA基板等的封装基板，蓝宝石基板，玻璃材料，陶瓷材料，金属材料，塑料等的合成树脂材料等。另外，被加工物的形状可以为大致矩形板状、大致圆盘形状等任意形状。此外，也可与被加工物的形状相配合地改变夹紧台40等的形状。
另外，在上述实施例中，是使夹紧台40在X轴方向往复移动，将切削机构20固定在X轴方向来完成切削加工的，但并不限于此例，也可将夹紧台40固定，在X轴方向往复移动切削机构20地进行切削加工。此时，因夹紧台40不移动，所以也可将接住切屑等的接收输送部件68以包围被固定的夹紧台40的整个圆周的方式设置。
此外，接收除水部件70的底部并不限于形成上述实施例那样的多个贯通孔74的例子。接收除水部件70的底部，如果是可不使切屑落下而只使切削液流下的结构，则也可以是例如将网状部件或多个板状部件排列成箅子状等的结构。
另外，在上述实施例中，操作员将扒出部件90拉近，将堆积在接收除水部件70上的切屑向排出端部70a侧扒出，但本发明并不限于此例。例如，操作者也可以推出扒出部件90，将堆积在接收除水部件70上的切屑向排出端部70a侧扒出。
另外，扒出部件90的结构并不限于上述实施例，如果是可将残存在接收除水部件70上的切屑通过操作者手动扒出的结构，则可以是任何的结构。例如，扒出部件90可不必具有支承部件94，可以是将弹性部件92直接安装到臂部件96上的结构。
产业上的可利用性本发明可适用于切削装置，特别是可适用于具有切屑处理装置的切削装置，该切屑处理装置将在切削CSP基板等的被加工物时生成的切屑加以处理。
权利要求
1.一种切削装置，具有保持被加工物的夹紧台，通过切刀切削所述被加工物的切削机构，和切屑处理装置，其特征在于，所述切屑处理装置具有接收输送部件，该接收输送部件与所述夹紧台邻接设置，接住因所述被加工物的切削而飞溅的切屑及用于切削的切削液，并将所述切屑及所述切削液移动到端部；接收除水部件，该接收除水部件接住从所述接收输送部件的所述端部落下的所述切屑，并使所述切削液流下；切削液回收容器，该切削液回收容器回收从所述接收除水部件流下的所述切削液；扒出部件，该扒出部件将残留在所述接收除水部件上的所述切屑通过手动扒出到所述接收除水部件的排出端部侧；切屑回收容器，该切屑回收容器将由所述扒出部件扒出并从所述接收除水部件的所述排出端部落下的所述切屑加以回收。
2.如权利要求1所述的切削装置，其特征在于，所述扒出部件具有在所述切屑扒出时与所述接收除水部件的底部接触的弹性部件；支承所述弹性部件的支承部件；一端与所述支承部件连接，另一端形成有把手的臂部件。
3.如权利要求1或2所述的切削装置，其特征在于，所述接收除水部件的底部以所述排出端部侧处于上方的方式倾斜。
4.如权利要求1、2或3中的任一项所述的切削装置，其特征在于，在所述接收除水部件的底部形成使所述切削液流下的多个贯通孔。
全文摘要
本发明提供一种具有切屑处理装置的切削装置，该切屑处理装置可将切削液从切屑中很好地分离，能不停止切削装置地排出处理切屑，并且结构简单、价格低廉。切削装置的切屑处理装置具有与夹紧台(40)邻接设置，接住因被加工物的切削而飞溅的切屑及用于切削的切削液，并将切屑及切削液移动到端部的接收输送部件(68)；接住从接收输送部件(68)的端部(68a)落下的切屑，并使切削液流下的接收除水部件(70)；回收从接收除水部件(70)流下的切削液的切削液回收容器(81)；将残留在接收除水部件(70)上的切屑通过手动扒出到接收除水部件(70)的排出端部(70a)侧的扒出部件(90)；和将由扒出部件(90)扒出并从接收除水部件(70)的排出端部(70a)落下的切屑加以回收的切屑回收容器(82)。
文档编号B23Q11/08GK1781657SQ200510127038
公开日2006年6月7日 申请日期2005年11月29日 优先权日2004年11月29日
发明者马上宗二郎, 富樫谦 申请人:株式会社迪思科