激光蚀刻机抽烟装置制造方法

文档序号:3099000阅读:204来源:国知局
激光蚀刻机抽烟装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及蚀刻机【技术领域】,尤指一种激光蚀刻机抽烟装置,包括抽烟罩,抽烟罩的侧面安装有风扇,抽烟罩内部设有抽风通道,抽烟罩的两侧分别连通有抽风管,抽风管设有抽风口,抽风管的抽风口连通抽烟罩的抽风通道,所述抽烟罩的下端还安装有用于向抽风通道吹送带电离子的静电棒;本实用新型提供了一种激光蚀刻机抽烟装置,其可以高效的去除激光加工过程产生的粉尘和有毒烟气,抽烟效果好。
【专利说明】 激光蚀刻机抽烟装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及蚀刻机【技术领域】,尤指一种激光蚀刻机抽烟装置。
【背景技术】
[0002]激光蚀刻机采用激光加工原理,利用高能量密度激光束对工件表面进行局部照射,使表层材料迅速气化或发生颜色变化,从而露出深层物质,或者导致表层物质的化学物理变化而刻出痕迹,或者是通过光能烧掉部分物质,显出所需刻蚀的图案、文字或进行精密的钻孔、切割和刻线加工。
[0003]激光蚀刻机在加工工件的过程中会产生大量的有毒烟气,既污染环境又腐蚀机器,并对工件的加工造成不良影响。在现有技术中,激光蚀刻机的抽烟系统一般只有一个抽风口,抽烟除尘不彻底,效果较差。

【发明内容】

[0004]针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种激光蚀刻机抽烟装置,其可以高效的去除激光加工过程产生的粉尘和有毒烟气,抽烟效果好。
[0005]为达到以上目的,本实用新型激光蚀刻机抽烟装置主要采用以下技术方案:
[0006]一种激光蚀刻机抽烟装置,包括抽烟罩,抽烟罩的侧面安装有风扇,抽烟罩内部设有抽风通道,抽烟罩的两侧分别连通有抽风管,抽风管设有抽风口,抽风管的抽风口连通抽烟罩的抽风通道,所述抽烟罩的下端还安装有用于向抽风通道吹送带电离子的静电棒。
[0007]优选地,所述抽风管对称设置于抽烟罩的两侧。
[0008]优选地,所述抽风管相对于水平面倾斜设置。
[0009]进一步地,所述抽风管与水平面的夹角为15度?45度。
[0010]优选地,所述抽风管的数量为多个,多个抽风管的抽风口的中心轴线形成一交汇点,所述交汇点设于激光蚀刻机的蚀刻中心处。
[0011 ] 优选地,所述抽烟罩的抽风通道安装有滤网。
[0012]优选地,所述抽烟罩中间偏下的位置设有台阶。
[0013]本实用新型激光蚀刻机抽烟装置的有益效果为:
[0014](I)通过在抽烟罩的两侧分别设置抽风管,抽烟罩安装有风扇,风扇启动时可以在抽风通道内形成螺旋式的气流并通过抽风口带走激光蚀刻产生的激光加工过程产生的粉尘,同时能够有效地防止激光加工过程产生的粉尘污染光学镜头;
[0015](2)通过在抽烟罩的下端安装用于向抽风通道吹送带电离子的静电棒,可中和蚀刻产生的带电小颗粒,有效避免带电激光加工过程产生的粉尘附着在ITO薄膜或其它工件上,提高了激光蚀刻的效果。
【专利附图】

【附图说明】
[0016]图1是本实用新型激光蚀刻机抽烟装置的结构示意图。[0017]图2是本实用新型激光蚀刻机抽烟装置另一角度的结构示意图。
[0018]图3是图2中沿A-A线的剖面视图。
[0019]附图标记说明:1、抽烟罩,11、抽风通道,12、台阶,2、风扇,3、抽风管,31、抽风口,
4、静电棒,5、滤网。
【具体实施方式】
[0020]如图f图3所示,一种激光蚀刻机抽烟装置,包括抽烟罩1,抽烟罩I的侧面安装有风扇2,抽烟罩I内部设有抽风通道11,抽烟罩I的两侧分别连通有抽风管3,抽风管3设有抽风口 31,抽风管3的抽风口 31连通抽烟罩I的抽风通道11,所述抽烟罩I的下端还安装有用于向抽风通道11吹送带电离子的静电棒4。具体地,风扇2启动时可以在抽风通道11内形成螺旋式的气流并通过抽风口 31带走激光蚀刻产生的激光加工过程产生的粉尘,同时能够有效地防止激光加工过程产生的粉尘污染激光蚀刻机的镜头;通过在抽烟罩I的下端安装用于向抽风通道11吹送带电离子的静电棒4,可中和蚀刻产生的带电小颗粒,有效避免带电激光加工过程产生的粉尘附着在ITO薄膜或其它工件上,提高了激光蚀刻的效果O
[0021]所述抽风管3对称设置于抽烟罩I的两侧。通过该种设置,启动风扇2时,抽烟罩I两侧抽风管3内的风形成对流,抽吸的风力更加的强劲,可以高效的去除激光加工过程产生的粉尘和有毒烟气。
[0022]所述抽风管3相对于水平面倾斜设置。具体地,将抽风口 31倾斜设置并正对激光蚀刻机的蚀刻工作平台,抽风口 31正对有毒烟气的源头,从而可以高效地去除烟气。优选地,可以根据实际需要,选取抽风口 31与水平面的夹角α为15度、30度、45度或15度?45度之间其它的数值。
[0023]所述抽风管3的数量为多个,多个抽风管3的抽风口 31的中心轴线形成一交汇点,多个抽风口 31抽吸的风力在交汇点处达到最大,所述交汇点设于激光蚀刻机的蚀刻中心处,激光蚀刻机工作时在蚀刻中心处产生有毒烟气,多个抽风口 31汇集而成的强劲的风力可以高效地去除有毒烟气,防止激光加工过程产生的粉尘污染激光蚀刻机的镜头。
[0024]所述抽烟罩I的抽风通道11安装有滤网5。具体地,滤网5安装于抽风管3与抽烟罩I的连接位置处,能够有效地防止异物从抽风口 31处吸入,提高了本实用新型的安全使用性能。
[0025]所述抽烟罩I中间偏下的位置设有台阶12。通过设置的台阶12,能够有效地缓解风力,使风扇2吹出的风能够顺利的将激光加工过程产生的粉尘或有毒烟雾从抽风管3送出。
[0026]以上所述实施方式,只是本实用新型的较佳实施方式,并非来限制本实用新型实施范围,故凡依本实用新型申请专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰,均应包括在本实用新型专利申请范围内。
【权利要求】
1.一种激光蚀刻机抽烟装置,其特征在于,包括抽烟罩,抽烟罩的侧面安装有风扇,抽烟罩内部设有抽风通道,抽烟罩的两侧分别连通有抽风管,抽风管设有抽风口,抽风管的抽风口连通抽烟罩的抽风通道,所述抽烟罩的下端还安装有用于向抽风通道吹送带电离子的静电棒。
2.如权利要求1所述的激光蚀刻机抽烟装置,其特征在于,所述抽风管对称设置于抽烟罩的两侧。
3.如权利要求1所述的激光蚀刻机抽烟装置,其特征在于,所述抽风管相对于水平面倾斜设置。
4.如权利要求3所述的激光蚀刻机抽烟装置,其特征在于,所述抽风管与水平面的夹角为15度?45度。
5.如权利要求1所述的激光蚀刻机抽烟装置,其特征在于,所述抽风管的数量为多个,多个抽风管的抽风口的中心轴线形成一交汇点,所述交汇点设于激光蚀刻机的蚀刻中心处。
6.如权利要求1所述的激光蚀刻机抽烟装置,其特征在于,所述抽烟罩的抽风通道安装有滤网。
7.如权利要求1所述的激光蚀刻机抽烟装置,其特征在于,所述抽烟罩中间偏下的位置设有台阶。
【文档编号】B23K26/16GK203509344SQ201320601052
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年9月27日 优先权日:2013年9月27日
【发明者】陶雄兵 申请人:东莞市盛雄激光设备有限公司
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