一种提高材料激光标刻品质和效率的装置及标刻方法与流程

文档序号:12149745阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种提高材料激光标刻品质和效率的装置,其特征在于,包括:

激光器,用于发射激光;

位于所述激光器后方的扩束镜,用于对所述激光器发射的激光光束进行扩束准直;

位于所述扩束镜后方的可调分束装置,所述可调分束装置用于对激光光束进行分束;

位于所述可调分束装置后方的高速扫描振镜,用于改变激光光束的方向;

位于所述高速扫描振镜后方的远心平场镜,用于对激光光束进行聚焦;

位于远心平场镜后方的加工平台,所述加工平台用于放置并移动待加工工件;

以及计算机,所述计算机控制激光器、高速扫描振镜和加工平台对待加工件进行标刻。

2.如权利要求1所述的提高材料激光标刻品质和效率的装置,其特征在于,所述的激光器为固定激光器。

3.如权利要求1所述的提高材料激光标刻品质和效率的装置,其特征在于,所述的可调分束装置为衍射光栅分束镜。

4.如权利要求1所述的提高材料激光标刻品质和效率的装置,其特征在于,所述的可调分束装置包括:旋转中空马达,所述旋转中空马达驱动一衍射光栅分束镜,所述衍射光栅分束镜后方设有一凸透镜,所述凸透镜后方设有一镜片距离调节座,所述镜片距离调节座上设有孔径光阑。

5.采用如权利要求1至4任意一项所述的提高材料激光标刻品质和效率的装置的标刻方法,其特征在于,包括以下步骤:

第一步,将经过扩束镜扩束准直后的激光光束进行分束使其分成多束存在一定角度传播的激光;

第二步,通过调节凸透镜,改变多光束之间的夹角,从而改变聚焦光点之间的间距;

第三步,通过可调光束装置改变分束后激光束排列方向,并使排列方向保持和标刻方向相互垂直,对工件进行标刻。

6.如权利要求5所述的标刻方法,其特征在于,所述第三步之后还包括:通过孔径光阑改变光束的数量的步骤。

7.如权利要求6所述的标刻方法,其特征在于,采用固体激光器。

8.如权利要求7所述的标刻方法,其特征在于,所述的可调光束装置为衍射光栅分束镜。

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