一种提高材料激光标刻品质和效率的装置及标刻方法与流程

文档序号:12149745阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了提高材料激光标刻品质和效率的装置,其包括:激光器,用于发射激光;位于所述激光器后方的扩束镜;位于所述扩束镜后方的可调分束装置,所述可调分束装置用于对激光光束进行分束;位于所述可调分束装置后方的高速扫描振镜;位于所述高速扫描振镜后方的远心平场镜;位于远心平场镜后方的加工平台;以及计算机,所述计算机控制激光器、高速扫描振镜和加工平台对待加工件进行标刻。本发明采用固体激光器作为光源,提高材料标刻品质和精度,在光路中加入可调分束装置,将激光束分成若干束可调光斑大小和间距的光点,利用中空马达实时调节来保持分出的多光束与标刻方向相互垂直,同时标刻,提高了材料标刻的品质和效率。

技术研发人员:韩世华;沈丹鸿;周蕊
受保护的技术使用者:常州英诺激光科技有限公司
文档号码:201611117304
技术研发日:2016.12.07
技术公布日:2017.03.08

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