一种激光修复系统的制作方法

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种激光修复系统。

背景技术：

目前，在显示基板的制造过程中，可能会由于工艺的原因出现一些不良，例如在形成源极或漏极时，常会出现刻蚀不完全的问题，这时就需要对显示基板进行修复以将多余的部分去除掉。

现有技术中常利用如图1所示的激光发射器10对显示基板(待修复基板)20进行修复，激光发射器10包括激光发射头101，然而由于显示基板20中大多数膜层都是金属材料，金属材料在激光发射头101发出的激光的热效应下容易溅射，而溅射的碎屑201会污染显示基板20，从而又会引起二次不良。

技术实现要素：

本实用新型的实施例提供一种激光修复系统，可在修复待修复基板的过程中，避免污染待修复基板。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

本实用新型实施例提供一种激光修复系统，包括：激光发射器，所述激光发射器上设置有激光发射头；吹气装置，所述吹气装置具有吹气口，用于朝向所述激光发射头的照射位置进行吹气；吸气装置，所述吸气装置具有吸气腔室，所述吸气腔室具有吸气口，所述吸气口用于朝向所述激光发射头的照射位置进行吸气；其中，所述吹气口与所述吸气腔室互不连通。

优选的，所述吸气装置和所述吹气装置封装在一壳体内，所述吹气装置的吹气口和所述吸气装置的吸气口露出于所述壳体。

优选的，所述激光修复系统还包括：通道集成装置；所述通道集成装置包括光通道、吸气通道和吹气通道；所述光通道用于使所述激光发射头发射的光通过，所述吹气通道与所述吹气口通过管道相连通，所述吸气通道与所述吸气口通过管道相连通；其中，所述光通道的光出口和所述吹气通道的出气口位于所述通道集成装置的同一个端面上。

优选的，所述吸气通道的入气口、所述光通道的光出口和所述吹气通道的出气口位于所述通道集成装置的同一个端面上。

进一步优选的，所述吹气通道的出气口相对所述吸气通道的入气口靠近所述光通道的光出口。

优选的，所述吹气通道分为入气段和出气段，所述吹气通道的出气段向靠近所述光通道的光出口处倾斜。

优选的，所述通道集成装置还包括用于密封所述光通道的光入口和光出口的透明遮挡件。

优选的，所述通道集成装置包括多个吹气通道和多个吸气通道，所述多个吹气通道围绕所述光通道设置，所述多个吸气通道围绕多个吹气通道设置。

优选的，所述吹气装置包括第一气压调节阀，用于调节所述吹气口的吹气压力；和/或所述吸气装置包括第二气压调节阀，用于调节所述吸气口的吸气压力。

优选的，所述激光发射器具有一个激光出射口，所述激光发射器包括多个激光发射头，所述多个激发光射头均可移动至所述激光出射口；其中，所述激光出射口正对所述通道集成装置中的光通道。

本实用新型实施例提供一种激光修复系统，由于激光修复系统除包括激光发射器外，还包括吹气装置和吸气装置，当激光发射器的激光发射头对待修复基板中的待修复位置进行修复时，吹气装置对激光照射位置进行吹气，从而可以使溅射的碎屑处于悬浮状态，这样碎屑就不会粘结在待修复基板上，吸气装置对激光照射位置进行吸气时，可以吸附悬浮的碎屑，这样便避免了碎屑落在待修复基板上，减少了修复过程对待修复基板的污染，从而减小了二次不良的产生。此外，吸附装置还可以对空气中的颗粒进行吸附，防止空气中的颗粒落在待修复基板上，以进一步减小对待修复基板的污染，保证了待修复基板的洁净度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术提供的一种激光发射器的结构示意图；

图2(a)为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图一；

图2(b)为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图二；

图3(a)为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图三；

图3(b)为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图四；

图3(c)为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图五；

图4为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图六；

图5为本实用新型实施例提供的一种通道集成装置的俯视示意图；

图6为本实用新型实施例提供的一种吸气通道或吹气通道的结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图七。

附图标记：

10-激光发射器；101-激光发射头；102-激光出射口；20-待修复基板(显示基板)；201-碎屑；30-吹气装置；40-吸气装置；50-壳体；60-通道集成装置；601-光通道；602-吹气通道；6021-入气段；6022-出气段；603-吸气通道；70-管道；80-透明遮挡件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供一种激光修复系统，如图2-图4以及图7所示，包括：激光发射器10，激光发射器10上设置有激光发射头101；吹气装置30，吹气装置30具有吹气口，用于朝向激光发射头101的照射位置进行吹气；吸气装置40，吸气装置40具有吸气腔室，吸气腔室具有吸气口，吸气口用于朝向激光发射头101的照射位置进行吸气；其中，吹气口与吸气腔室互不连通。

需要说明的是，第一，本实用新型实施例中激光发射头101的照射位置并不限于激光发射头101在待修复基板20上的照射点，可以包括照射点以及照射点周围一定范围的区域。

第二，本领域技术人员应该明白，为了确保激光发射头101发出的激光可以对待修复基板20进行修复，吹气装置30和吸气装置40的设置位置以不影响激光发射头101发出的激光照射到待修复基板20上的待修复位置为准。此处，激光发射头101的照射位置即指待修复基板20的待修复位置。

第三，吹气装置30和吸气装置40可以如图2(a)所示设置在不同位置，也可以如图2(b)所示吹气装置30和吸气装置40封装在同一壳体50内。

其中，对于吹气装置30的类型和吹气原理不进行限定，只要有气流从吹气口吹出即可。对于吸气装置40的类型和吸气原理不进行限定，只要气流能通过吸气口从吸气腔室外流向吸气腔室内即可。

第四，激光修复系统在使用时，可以在激光发射头101照射的同时，利用吹气装置30和吸气装置40分别进行吹气和吸气；也可以在激光发射头101照射的同时，利用吹气装置30进行吹气，在激光发射头101照射停止后，吹气装置30可以停止吹气，并利用吸气装置40进行吸气。

第五，对于吹气装置30的吹气时间以及吹气压力、吸气装置40的吸气时间以及吸气压力不进行限定，可以根据待修复基板20需要去除的膜层多余部分的量和材料进行合理设置，以确保设置的吹气压力既可以使碎屑201处于悬浮状态，即碎屑201不落在待修复基板20上，又不会将碎屑201吹散而污染到其它区域，设置的吸气压力能将碎屑201吸附至吸气腔室内，通常吸气压力在1～2个大气压值范围内。

本实用新型实施例提供一种激光修复系统，由于激光修复系统除包括激光发射器10外，还包括吹气装置30和吸气装置40，当激光发射器10的激光发射头101对待修复基板20中的待修复位置进行修复时，吹气装置30对激光照射位置进行吹气，从而可以使溅射的碎屑201处于悬浮状态，这样碎屑201就不会粘结在待修复基板20上，吸气装置40对激光照射位置进行吸气时，可以吸附悬浮的碎屑201，这样便避免了碎屑201落在待修复基板20上，减少了修复过程对待修复基板20的污染，从而减小了二次不良的产生。此外，吸附装置40还可以对空气中的颗粒进行吸附，防止空气中的颗粒落在待修复基板20上，以进一步减小对待修复基板20的污染，保证了待修复基板20的洁净度。

优选的，如图2(b)所示，吸气装置40和吹气装置30封装在一壳体50内，吹气装置30的吹气口和吸气装置40的吸气口露出于壳体50。

吸气装置40在吸气时，由于外界气压高于吸气腔室内气压，因而气流从吸气腔室外向吸气腔室内流动；而吹气装置30在吹气时，由于外界气压低于吹气装置30内气压，因而气流由吹气装置30内向吹气装置30外流动。基于此，本实用新型实施例将吸气装置40和吹气装置30封装在同一壳体50内，一方面，吸气装置40内的气流和吹气装置30内的气流可以进行交换，以提高吸气装置40的吸气效率和吹气装置30的吹气效率(此时吸气腔室内吸附的碎屑201和空气中的颗粒等不能进入吹气装置30)；另一方面，当激光发射器10移动时，吸气装置40和吹气装置30可以随着激光发射器10同时进行移动。

本实用新型实施例，当激光发射头101发射激光时，碎屑201主要集中该激光发射头101的正下方，由于若吸气装置40和吹气装置30距离待修复位置较远，则吹气口和吸气口离待修复位置较远，从而会使得吸附效果不佳或吹气口吹出的气不能使碎屑201处于悬浮状态；若吸气装置40和吹气装置30距离待修复位置较近，则吹气装置30和吸气装置40可能会影响激光发射头101发出的激光射向待修复位置。

基于此，本实用新型优选的，如图3、图4以及图7所示，激光修复系统还包括：通道集成装置60；通道集成装置60包括光通道601、吸气通道603和吹气通道602；光通道601用于使激光发射头101发射的光通过，吹气通道602与吹气口通过管道70相连通，吸气通道603与吸气口通过管道70相连通；其中，光通道601的光出口和吹气通道602的出气口位于通道集成装置60的同一个端面上。

其中，光通道601即指激光发射头101发出的光可以通过该通道射向待修复基板20的待修复位置，激光入射向光通道601的口称为光入口，激光从光通道601出射的口称为光出口。此处，激光发射头101可以正对光通道601，以使激光发射头101发出的激光射向光通道601，也可以将激光发射头101和光通道601之间通过光纤连接，以使激光发射头101发出的激光射向光通道601。

吹气通道602中气流进入吹气通道602的口称为入气口，气流从吹气通道602流向空气的口称为出气口。同理，吸气通道603中气流进入吸气通道603的口称为入气口，气流从吸气通道603流向管道70的口称为出气口。

本领域技术人员应该明白，连接吸气通道603和吸气口的管道70以及连接吹气通道602和吹气口的管道70应具有良好的密封性，不能漏气。管道70的材料例如可以为不锈钢。进一步地，管道70的两端可以具有外螺纹，吸气通道603的出气口和吸气装置40的吸气口具有与管道70外螺纹匹配的内螺纹，以使管道70与吸气通道603以及吸气口连接的更紧密，避免漏气。同理，吹气通道602的入气口和吹气装置30的吹气口也可以具有与管道70外螺纹匹配的内螺纹，以使管道70与吹气通道602以及吹气口连接的更紧密。

需要说明的是，如图3、图4以及图7所示，光通道601的光出口和吹气通道602的出气口位于通道集成装置60的同一端面上，这样便可以在激光发射头101对待修复位置进行修复的同时，利用吹气装置30对待修复位置进行吹气。此处，可以是如图3(a)、图3(c)、图4以及图7所示，光通道601的光出口、吹气通道602的出气口以及吸气通道603的入气口均位于通道集成装置60的同一端面上，也可以是如图3(b)所示，吸气通道603的入气口与光通道601的光出口、吹气通道602的出气口位于通道集成装置60的不同端面上，此时，激光发射头101对待修复位置修复完成后，则需要旋转通道集成装置60，以使吸气通道603的入气口朝向待修复基板20。

此外，对于通道集成装置60中吸气通道603的个数和吹气通道602的个数不进行限定，可以分别设置一个，也可以均设置多个，当然也可以是吸气通道603和吹气通道602中的任一个设置一个，另一个设置多个(图3、图4以及图7中均以吸气通道603和吹气通道602分别设置一个为例进行示意)。

此处，优选的通道集成装置60与待修复基板20之间的距离满足d：1.5mm≤d≤2mm。

在此基础上，激光修复系统还包括自动聚焦装置，在修复过程中，自动聚焦装置会控制激光发射器10移动，以将当前用于发射激光的激光发射头101移动至与待修复基板20的待修复位置正对的位置，从而使激光发射头101发出的激光射向待修复位置。本实用新型实施例，由于激光发射头101发出的激光从通道集成装置60的光通道601出射，因而激光发射器10应与通道集成装置60同步进行移动，以确保光通道601的光出口正对待修复位置。激光发射器10与通道集成装置60可以水平移动，也可以竖直移动，竖直移动时便可以调整通道集成装置60与待修复基板20之间的距离。

本实用新型实施例，由于通道集成装置60包括吸气通道603和吹气通道602，因而可以使吸气通道603的入气口和吹气通道602的出气口离待修复位置更近，从而可以更有效地对待修复位置进行吸气和吹气，且激光发射头101发出的激光可以通过光通道601照射向待修复基板20的待修复位置，吸气通道603和吹气通道602的设置不会干涉激光发射头101发出的激光射向待修复位置。

优选的，如图3(a)、图3(c)、图4以及图7所示，吸气通道603的入气口、光通道601的光出口和吹气通道602的出气口位于通道集成装置60的同一个端面上。

本实用新型实施例，由于吸气通道603的入气口、光通道601的光出口和吹气通道602的出气口位于通道集成装置60的同一个端面上，因而可以在激光发射头101在对待修复位置进行修复时，同时进行吹气和吸气；或者，在激光发射头101对待修复位置修复完成后，无需旋转通道集成装置60，便可以直接进行吸气，从而节省了时间，防止碎屑201落在待修复基板上。

进一步优选的，如图3(a)、图3(c)、图4以及图7所示，吹气通道602的出气口相对吸气通道603的入气口靠近光通道601的光出口。

由于光通道601的光出口正对的位置溅射的碎屑201最多，且从吹气通道602吹出的气会将碎屑201吹向远离光通道601的光出口的方向，因此本实用新型实施例优选，吹气通道602的出气口相对吸气通道603的入气口靠近光通道601的光出口，这样便可以使得修复过程对待修复基板20的污染最少。

优选的，如图3(c)、图4以及图7所示，吹气通道602分为入气段6021和出气段6022，吹气通道602的出气段6022向靠近光通道601的光出口处倾斜。

其中，对于吹气通道602的出气段6022向靠近光通道601的光出口处倾斜的角度不进行限定，优选的，出气段6022向靠近光通道601的光出口处倾斜的角度能够使从吹气通道602的出气口吹出的气刚好吹向待修复基板20的待修复位置。

本实用新型实施例，吹气通道602的出气段6022向靠近光通道601的光出口处倾斜可以使从吹气通道602吹出的气更靠近待修复基板20的待修复位置，以进一步确保激光发射头101照射后溅射的碎屑201尽可能多地处于悬浮状态。

优选的，如图4所示，通道集成装置60还包括用于密封光通道601的光入口和光出口的透明遮挡件80。

其中，对于透明遮挡件80的材料不进行限定，例如可以为透明玻璃。在此基础上，对于透明遮挡件80的形状不进行限定，只要能密封光通道601的光入口和光出口即可。

本实用新型实施例，在光通道601的光入口和光出口处设置用于密封光入口和光出口的透明遮挡件80，从而可以防止修复过程中溅射的碎屑201进入光通道601或吹气时悬浮的碎屑201进入光通道601，污染光通道601，影响激光发射头101发射的激光射向待修复基板20的待修复位置。

优选的，如图5所示，通道集成装置60包括多个吹气通道602和多个吸气通道603，多个吹气通道602围绕光通道601设置，多个吸气通道603围绕多个吹气通道602设置。

其中，通道集成装置60包括多个吹气通道602时，此时激光修复系统可以包括多个吹气装置30，多个吹气装置30分别通过多个管道70与多个吹气通道602相连通，也可以只包括一个吹气装置30，一个吹气装置30分别通过多个管道70与多个吹气通道602相连通，用于向多个吹气通道602吹气。同理，通道集成装置60包括多个吸气通道603，此时激光修复系统可以包括多个吸气装置40，多个吸气装置40分别通过多个管道70与多个吸气通道603相连通，也可以只包括一个吸气装置40，一个吸气装置40分别通过多个管道70与多个吸气通道603相连通，用于向多个吸气通道603吸气。

本实用新型实施例，激光发射头101发射的激光射向待修复基板20的待修复位置时，碎屑201会向待修复位置的四周都溅射，因而在光通道601周围设置有多个吹气通道602，可以充分对溅射的碎屑201吹气，使待修复位置四周的碎屑201尽可能多地都处于悬浮状态，在此基础上，多个吸气通道603围绕多个吹气通道602设置，这样可以更充分地吸附碎屑201，使落在待修复基板20上碎屑201的量最少，进而保证吸附的彻底性。

由于对待修复基板20上不同膜层进行修复，或对不同待修复基板20上膜层进行修复时，材料的不同会导致使碎屑201处于悬浮状态的吹气压力不同，材料的不同以及处于悬浮状态的碎屑201量的不同会导致吸附碎屑201的吸气压力不同，因而本实用新型优选的，吹气装置30包括第一气压调节阀，用于调节吹气口的吹气压力；和/或吸气装置40包括第二气压调节阀，用于调节吸气口的吸气压力，这样便可以根据具体需要去除部分的材料或含量调试出一个合适的吸气压力和吹气压力，以确保激光修复系统可以使溅射的碎屑201处于悬浮状态，且具有更好的吸附效果。此外，激光修复系统在实际使用过程中，还可以根据吹气装置30的吹气效果和吸附装置40的吸附效果，利用第一气压调节阀对吹气装置30的吹气压力进行调试，以使设置的吹气压力既可以使溅射的碎屑201处于悬浮状态，且不会将碎屑201吹散而污染到别的区域；利用第二气压调节阀对吸气装置40的吸气压力进行调试，以尽可能地将悬浮的碎屑201都能够吸附至吸附腔室内。

优选的，如图6所示，通道集成装置60包括可拆卸的多个部件，吹气通道602和吸气通道603分别由多个部件中的至少两个部件围成。

本实用新型说明书附图6中以一个吹气通道602或一个吸气通道603为例进行示意，且一个吹气通道602或一个吸气通道603由两个部件围成。

其中，多个部件可以通过连接件例如螺钉等连接以围成吹气通道602和吸气通道603。

由于激光修复系统长时间使用后，吸气通道603或吹气通道602中会残留碎屑201或其它杂质，从而影响通道集成装置60的使用寿命，因而本实用新型实施例中，吹气通道602和吸气通道603分别由可拆卸的多个部件中的至少两个部件围成，这样便可以对吹气通道602和吸气通道603进行拆卸，以方便清理吹气通道602和吸气通道603，延长通道集成装置60的使用寿命。

优选的，如图7所示，激光发射器10具有一个激光出射口102，激光发射器10包括多个激光发射头101，多个激发光射头101均可移动至激光出射口102；其中，激光出射口102正对通道集成装置60中的光通道601。

此处，激光发射器10具有一个激光出射口102，只有移动至该位置的激光发射头101才能发射激光。由于激光出射口102正对通道集成装置60中的光通道601，因而当激光发射头101移动至激光出射口102时，激光发射头101发出的激光便可以射向光通道601。可以根据需要修复的膜层的需求移动切换相应的激光发射头101，并使激光发射头101移动至激光出射口102处，以正对光通道601。

在此基础上，需要说明的是，当激光发射器10只有一个激光发射头101时，激光发射头101正对通道集成装置60中的光通道601，当激光发射器10有多个激光发射头101时，激光出射口102一直正对通道集成装置60中的光通道601，若需要对待修复基板20上的不同位置进行修复时，在激光发射器10移动时，通道集成装置60同时进行移动，且移动时激光出射口102一直正对通道集成装置60中的光通道601。

由于本实用新型实施例的激光发射器10包括多个激光发射头101，因此可以根据待修复膜层的材料和厚度等选用相应的激光发射头101，且当一个激光发射头101损坏时，可使用其他激光发射头101，从而扩大了激光修复系统的使用范围。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。