一种热场拆装车的制作方法

文档序号:18968757发布日期:2019-10-28 23:43阅读:514来源:国知局
一种热场拆装车的制作方法

本实用新型涉及单晶硅制造领域,特别是涉及一种热场拆装车。



背景技术:

为提升单晶炉产能,须加大单晶炉的投料量,投料量的增加使得热场的尺寸也越来越大,且单晶炉的炉底加深。具有拆装灵活特点的人力拆装将不再适用于尺寸增大且炉底加深的热场,具体地,人工拆装的劳动强度越来越大,由于人工拆装变得越来越吃力,在拆装过程中容易对单晶炉中的热场组成件造成损坏,不仅会提高生产成本,而且会加大生产风险。



技术实现要素:

针对上述问题,本实用新型的目的是提供一种热场拆装车。

为了实现上述目的,本实用新型采取以下技术方案:热场拆装车包括起吊装置和拆装装置,拆装装置连接在起吊装置上;拆装装置包括:吊架组件、导轨、夹具和调节组件;吊架组件的一端连接在起吊装置上,另一端连接导轨,导轨与水平面平行;夹具至少为一个,夹具设置在导轨上,夹具能够沿导轨滑动,夹具用于夹取热场;调节组件分别与导轨和夹具连接,调节组件用于调节所述夹具的滑动位置,并实现对夹具的固定;吊架组件能够实现360度的旋转,以带动导轨、夹具和调节组件实现360度的旋转。

采用了上述技术方案,起吊装置带动拆装装置上升或下降,以适应热场拆装过程中实际工况的变化,为机械化拆装热场提供基础保障;可360度转动的拆装装置上设置导轨,夹具沿导轨滑动,并通过调节组件调节夹具在导轨上的位置并实现固定,以满足不同工况的需求,不仅实现机械拆装替代人工拆装热场,而且还具有人工拆装热场所具备的灵活性。

优选地,调节组件包括导向杆、第一球面滑动轴承、装配件、调节杆和第二球面滑动轴承;

导向杆的一端紧固连接导轨的一侧,另一端悬空,导向杆相对于导轨构成悬臂梁结构;第一球面滑动轴承可滑动地设置在导向杆上;装配件分别与第一球面滑动轴承和导向杆连接,装配件用于调节第一球面滑动轴承与导向杆的装配关系,装配关系包括间隙配合和过盈配合;

调节杆一端紧固连接在第一球面滑动轴承的内圈,另一端连接第二球面滑动轴承的内圈,第二球面滑动轴承的外圈与夹具连接。

采用了上述技术方案,调节组件的设置便于引导人工调节夹具在导轨上的位置;即当夹具的位置根据实际需要吊装的工件的位置确定后,在导向杆上处于间隙配合状态的第一球面滑动轴承通过人工进行滑动,第一球面轴承的滑动带动与其连接的调节杆滑动,调节杆推动与其连接的夹具在导轨上滑动并到达预设的位置,当夹具到达预设的位置后,通过装配件固定第一球面滑动轴承在导向杆的位置,即将第一球面滑动轴承与导向杆的装配关系由间隙配合调整为过盈配合,进而将夹具定位至预设位置;通过导向杆、第一球面滑动轴承、调节杆和第二球面滑动轴承即可实现夹具位置的调整,结构简单,另外,如同人关节的第一球面滑动轴承和第二球面滑动轴承的使用,使得调节更加方便灵活,以减少作业辅助时间,提高拆装效率。

优选地,调节杆的数量、第一球面滑动轴承的数量和第二球面滑动轴承的数量适配夹具的数量。

采用了上述技术方案,设置在导向杆上的第一球面滑动轴承的数量、调节杆的数量和第二球面滑动轴承的数量可以根据夹具的数量进行合理设置,扩大适用范围。

优选地,夹具的数量为两个;第一球面滑动轴承的内圈紧固连接两调节杆;其中一调节杆的末端通过一第二球面滑动轴承连接其中一夹具,另一调节杆的末端通过另一第二球面滑动轴承连接另一夹具。

采用了上述技术方案,导轨上设置两个夹具可以从两侧夹紧待拆装的工件,避免单侧夹取工件时,因工件受力不均而造成的损坏;通过第一球面滑动轴承连接两调节杆一同调整两个夹具在导轨上的位置,即滑动一个第一球面滑动轴承即可通过连接其上的两个调节杆来调节两个夹具的位置,简化结构的同时,使得操作更加简单,最终能够减少作业辅助时间,提高拆装效率。

优选地,夹具为自锁夹具。

采用了上述技术方案,自锁夹具可以对待拆装的工件实现自动夹紧,无需人工调整夹具的夹紧力,省时省力。

优选地,夹具的数量为四个;其中,两个为自锁夹具,另外两个为坩埚夹具;两自锁夹具通过设置在一第一球面滑动轴承的内圈的两调节杆控制;两坩埚夹具通过设置在另一第一球面滑动轴承的内圈的两调节杆控制。

采用了上述技术方案,导轨上设置两种类型的夹具,能够满足不同规格、不同类型的待拆装工件对夹具的要求,最终扩大该热场拆装车的适用范围;而且,增加的夹具的位置调节,仅需要在导向杆上增设第一球面滑动轴承、相应的调节杆和第二球面滑动轴承即可实现,即适用范围的扩大,并不会造成成本的过度增加、以及整体结构的过度复杂。

优选地,吊架组件包括:挂件、旋转件和吊架本体;挂件滑动设置在起吊装置上;旋转件的一端与挂件连接,另一端连接吊架本体,旋转件能够带动吊架本体360度旋转;吊架本体包括主臂、辅助臂和承载梁,主臂一端与旋转件连接,另一端悬空,主臂与水平面垂直;辅助臂的数量为两个,两辅助臂的一端紧固连接于主臂的两侧,两辅助臂的另一端悬空;主臂、两辅助臂的悬空端位于同一水平面上;承载梁连接于两辅助臂的悬空端,导轨连接于承载梁。

采用了上述技术方案,挂件能够沿起吊装置滑动,增加了拆装装置灵活性和适用性,同时方便拆装装置对准并工件;主臂和辅助臂为导轨和夹具提供支撑力,增加拆装装置整体的稳定性;旋转件使得拆装装置更具旋转的灵活性,便于进行拆装装置的角度调整,从而能够完成多角度的夹取任务。

优选地,导轨的两端分别紧固连接一固定块,导轨通过固定块与承载梁紧固连接。

采用了上述技术方案,使得拆装装置更加稳定,同时也使得导轨能够随吊架组件旋转,方便夹具夹取工件。

优选地,起吊装置包括车体、基架、挂架和吊臂组件,基架紧固连接于车体的竖直方向;挂架可滑动地设置在基架的一侧;吊臂组件与挂架连接,且与基架垂直;吊臂组件的末端可滑动地连接吊架组件。

采用了上述技术方案,车体提高了热场拆装车的灵活性。

优选地,吊臂组件包括大臂和小臂,大臂一端与挂架连接,另一端悬空;以大臂的悬空端的端面为起始面开设一凹槽;小臂的一端设置于凹槽内,并通过同时贯穿凹槽的槽面和小臂的转轴与大臂转动连接,小臂的转动面是水平面;小臂的另一端悬空,小臂的悬空端连接吊架组件。

采用了上述技术方案,使得拆装装置可随吊臂组件升降和转动,使热场拆装车更加灵活和适用多种工况。

综上所述,由于本实用新型在起吊装置上设置拆装装置,能够替代人工对热场的拆装作业,而且拆装装置可360度旋转,拆装装置的夹具位置可调,确保在拆装作业过程中的灵活性。

附图说明

图1为本实用新型的一个实施例的热场拆装车整体结构示意图;

图2为本实用新型的一个实施例的热场拆装车俯视示意图;

图3为本实用新型的一个实施例的拆装装置的整体结构示意图;

图4为本实用新型的一个实施例的拆装装置俯视示意图;

图5为本实用新型的一个实施例的拆装装置中调节组件的整体结构示意图;

图6为本实用新型的一个实施例的拆装装置中吊架组件正视示意图;

图7为本实用新型的一个实施例的拆装装置中导轨和夹具正视示意图;

图8为本实用新型的一个实施例的拆装装置中导轨和夹具俯视示意图。

其中,1为起吊装置,10为车体,11为基架,12为挂架,13为吊臂组件,130为大臂,131为小臂;2为拆装装置,20为吊架组件,200为挂件,201为旋转件,202为吊架本体,2020为主臂,2021为辅助臂,2022为承载梁;21为导轨,22为夹具,220为自锁夹具,221为坩埚夹具;23为调节组件,230为导向杆,231为第一球面滑动轴承,232为调节杆,233为第二球面滑动轴承,234为安装板;3为固定块。

具体实施方式

下面结合附图说明根据本实用新型的具体实施方式。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型,但是,本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施,因此,本实用新型并不限于下面公开的具体实施例的限制。

为了解决人力拆装不适用于尺寸增大且炉底加深的热场,即人力拆装存在的劳动强度大、拆装过程容易损坏待拆装工件等技术问题,本实用新型提供了一种热场拆装车。

如图1至图3所示,本实用新型的一个实施例提供的热场拆装车,包括起吊装置1和拆装装置2,拆装装置2连接在起吊装置1上;拆装装置2包括吊架组件20、导轨21、夹具22和调节组件23;吊架组件20的一端连接在起吊装置1上,另一端连接导轨21;导轨21与水平面平行;夹具22至少为一个,夹具22设置在导轨21上,夹具22能够沿导轨21滑动,夹具22用于夹取热场;调节组件23分别与导轨21和夹具22连接,调节组件23用于调节夹具22的滑动位置,并实现对所述夹具21的固定;吊架组件20能够实现360度旋转,以带动导轨21、夹具22和调节组件23实现360度的旋转。

采用上述技术方案,起吊装置带动拆装装置上升或下降,以适应热场拆装过程中实际工况的变化,为机械化拆装热场提供基础保障;可360度转动的拆装装置上设置导轨,夹具沿导轨滑动,并通过调节组件调节夹具在导轨上的位置并实现固定,以满足不同工况的需求,不仅实现机械拆装替代人工拆装热场,而且还具有人工拆装热场所具备的灵活性。

在上述实施例的基础上,进一步的(如图4、图5所示),调节组件23包括导向杆230、第一球面滑动轴承231、装配件(图中未示出)、调节杆232和第二球面滑动轴承233;导向杆230的一端紧固连接导轨21的一侧,导向杆230的另一端悬空,导向杆230相对于导轨21构成悬臂梁结构;在本实施例中,导向杆230的一端与其垂直紧固连接一安装板234,安装板234上开设有安装孔(图中未示出),采用螺栓、螺钉等现有紧固件贯穿安装孔和导轨21的侧板,将导向杆230与导轨21紧固连接;当然,导向杆230与导轨21的紧固连接还可以采用焊接或粘结等现有紧固方式中的一种;在本实施例中,导向杆230的设置的位置影响调节组件23的设置位置,因为,调节组件23的其他组成部分是以导向杆230为基础设置,导向杆230的设置位置不限定为某一具体位置,只要方便操作者操作即可;第一球面滑动轴承231可滑动地设置在导向杆230上,第一球面滑动轴承231的可滑动设置的目的是调节与其连接的调节杆232的位置,调节杆232的位置变化将会推动或者拉动设置在导轨21上的夹具22移动,以使夹具22的位置能够根据实际需要拆装的工件位置变化而变化;当然,为了实现夹具22的拆装功能,当第一球面滑动轴承231调整到预设位置后,需要将其紧固在导向杆230上,以使夹具22的位置固定在导轨21的某一点上,因此,设置装配件,并分别与第一球面滑动轴承231和导向杆230连接,装配件设置的目的在于调节第一球面滑动轴承231与导向杆230的装配关系,即当第一球面滑动轴承231滑动至预设位置后,调节装配件235将其固定,装配件235只要能够实现紧固第一球面滑动轴承231即可,不限定其具体形状或制备材料,但是,其数量需要适配设置在导向杆230上的第一球面滑动轴承231;调节杆232的一端与第一球面滑动轴承231的内圈相连,第一球面滑动轴承231的内圈带动调节杆232转动,调节杆232的另一端与第二球面滑动轴承233的内圈相连,第二球面滑动轴承233的外圈连接夹具22,以带动夹具22在导轨21上滑动。

采用上述技术方案,通过导向杆、第一球面滑动轴承、调节杆和第二球面滑动轴承即可实现夹具位置的调整,结构简单,另外,如同人关节的第一球面滑动轴承和第二球面滑动轴承的使用,使得调节更加方便灵活,以减少作业辅助时间,提高拆装效率。

在上述实施例的基础上,进一步的,调节杆232的数量、第一球面滑动轴承231的数量和第二球面滑动轴承233的数量适配夹具22的数量,即调节杆232、第二球面滑动轴承233的数量与夹具22的数量相当,即一个调节杆232通过一个第二球面滑动轴承233控制一个夹具22;而第一球面滑动轴承231的数量可以小于或等于夹具22的数量,即一个第一球面滑动轴承231的内圈上可以设置至少一个调节杆232。

采用上述技术方案,设置在导向杆上的第一球面滑动轴承的数量、调节杆的数量和第二球面滑动轴承的数量可以根据夹具的数量进行合理设置,使本实用新型的适用范围大大增加。

在上述实施例的基础上,进一步的,夹具22的数量为2个,第一球面滑动轴承231的内圈紧固连接两调节杆232,调节杆232以导向杆230为对称线对称设置,为夹具22提供均匀的拉力或推力;当然,两调节杆232也可以分别设置在不同的第一球面滑动轴承231上,推动不同的第一球面滑动轴承231以实现夹具22的位置变化;另外,数量为2的夹具22可以是结构及规格相同的夹具22,如两个夹具22均为自锁夹具220,而自锁夹具220的规格可以相同,也可以不同;或者其中一个夹具22为自锁夹具220,而另一个夹具22为坩埚夹具221或者其他类型的夹具22,在此不做限定。

采用了上述技术方案,导轨上设置两个规格相同的自锁夹具可以从两侧夹紧待拆装的工件,能够避免单侧夹取工作时,因工件受力不均匀而造成的损坏;另外,通过一个第一球面滑动轴承连接两个相互对称的调节杆一同调节两个夹具在导轨上的位置,能够为夹具提供均匀的拉力或者是推力,而且结构简化,操作简单,最终能够减少作业辅助时间,提高拆装效率;另外,自锁夹具可以对待拆装的工件时间自动夹紧,无需人工调整夹具的夹紧力,省时省力。

在上述实施例的基础上,进一步的(如图7所示),夹具22的数量为4个,其中,两个为自锁夹具220,另外两个为坩埚夹具221;如图4所示,两自锁夹具220通过设置在导向杆230上的一第一球面滑动轴承231的内圈上的两调节杆232控制;两坩埚夹具221通过设置在导向杆230上的另一第一球面滑动轴承231的内圈上的两调节杆232控制;当自锁夹具220和坩埚夹具221抓取工件后,利用装配件与第一球面滑动轴承231将二者在导轨21上的位置固定。

采用了上述技术方案,导轨上设置两种类型的夹具,能够满足不同规格、不同类型的待拆装工件对夹具的要求,最终扩大该热场拆装车的适用范围;而且,增加的夹具的位置调节,仅需要在导向杆上增设第一球面滑动轴承、相应的调节杆和第二球面滑动轴承即可实现,即适用范围的扩大,并不会造成成本的过度增加、以及整体结构的过度复杂。

在上述实施例的基础上,进一步的(如图3和图6所示),吊架组成20包括挂件200、旋转件201和吊架本体202;挂件200的一端滑动设置在起吊装置1上,起吊装置1与挂件200接触部分为槽钢或者滑轨结构,挂件200能够沿上述槽钢或者滑轨结构滑动,旋转件201一端与挂件200连接,另一端连接吊架本体202,旋转件201能够带动吊架本体360度旋转;具体的,旋转件201可以为关节轴承;吊架本体202包括主臂2020、辅助臂2021和承载梁2022,其中,主臂2020的一端与旋转件201连接,另一端悬空,正常状态下,主臂2020与水平面垂直,主臂2020为导轨21和夹具22提供主要支撑力,其形状不受限制,由具备一定刚性的材料制成;主臂2020的两侧,以主臂2020的中心轴线为对称线对称设置两辅助臂2021,即两辅助臂2021的一端均与主臂2020紧固连接,另一端悬空,对称设置的两辅助臂2021与主臂2020构成为导轨21和夹具22提供支撑力的骨架;主臂2020、两辅助臂2021的悬空端位于同一水平面上;主臂2020、两辅助臂2021的悬空端紧固连接承载梁2022,正常状态下,承载梁2022与主臂2020垂直,即与水平面平行,承载梁2022上紧固连接导轨21;导轨21与承载梁2022之间的紧固,可以通过焊接、铆接、或固定块3等紧固方式中的一种来实现。

采用了上述技术方案,吊架组成为导轨和夹具提供稳定的支撑力,且吊架组成中的旋转件能够带动吊架本体实现360度的旋转,以提升本实用新型的拆装灵敏性。

在上述实施例的基础上,进一步的(如图8所示),导轨21通过固定块3与承载梁2022紧固连接。

在上述实施例的基础上,进一步的(如图1所示),起吊装置1包括车体10、基架11、挂架12和吊臂组件13,基架11紧固连接与车体10的竖直方向,挂架12可滑动地设置在基架11的一侧,吊臂组件13与挂架12连接,且与基架11垂直,吊臂组件13的末端可滑动的吊装吊架组成20。

采用了上述技术方案,车体10提高了本实用新型的灵活性。

在上述实施例的基础上,进一步的,起吊装置1的规格可以依据实际工作中热场的规模以及工件的重量设置;车体10的驱动或挂架12的升降驱动可为电力驱动、液压驱动、气缸驱动等方式。

在上述实施例的基础上,进一步的,基架11可通过焊接、铆接、螺栓等方式中的一种紧固连接于车体10的竖直方向。

在上述实施例的基础上,进一步的,挂架12可通过链条等方式可滑动地设置在基架11的一侧,相应地,基架11可为滑道导轨,引导挂架12升降的同时可保证挂架12不会偏移,提高稳定性。

在上述实施例的基础上,进一步的,吊臂组件13包括大臂130和小臂131,大臂130的一端与挂架12紧固连接,另一端悬空;以大臂130的悬空端的端面为起始面开设一个凹槽;小臂131的一端设置于此凹槽内,并通过同时贯穿凹槽的槽面和小臂131的转轴与大臂130转动连接,小臂131的转动面为平面;小臂131的另一端悬空,并通过悬空端连接吊架组件20。

采用上述技术方案,使得拆装装置可随吊臂组件升降和转动,使热场拆装车 更加灵活和适用多种工况。

在上述实施例的基础上,进一步的,小臂131可为工字钢或其他高硬度、耐磨材质。

在上述实施例的基础上,进一步的,大臂130和小臂131的规格根据实际工作情况设置。

在上述实施例的基础上,进一步的,大臂130远离凹槽的一端与挂架12远离车体10一侧通过焊接等现有方式紧固连接。

在上述实施例的基础上,进一步的,大臂130的悬空端开设的凹槽,其规格结合小臂131的规格设置。

在上述实施例的基础上,进一步的,小臂131的可转动角度根据实际工作情况设置。

综上所述,本实用新型采用既能升降又能旋转的起吊装置,便于拆装作业的热场拆装车对准工件,增加了热场拆装车整体的灵活性;同时采用既能旋转又能调节的拆装装置,便于夹取和固定多种结构的工件,降低人工拆装工件的劳动强度,避免人为失误造成工件损坏。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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