平面靶材压制装置、方法及计算机可读存储介质与流程

1.本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种平面靶材压制装置，利用该平面靶材压制装置实现的平面靶材压制方法以及计算机可读存储介质。


背景技术：

2.近年来，采用溅射法制备的薄膜材料因其高致密度、优良附着性等优点，受到平面显示器、电子处理器、玻璃镀膜、光学薄膜等行业的青睐。随着上述领域的高速发展，溅射靶材的需求量急剧增加。根据溅射面的形状，靶材通常可分为平面靶材，旋转靶材和异型靶材。平面靶材溅射使用可达到30％～40％，尺寸可根据需要裁定，且方便使用，因此在小型磁控溅射需求领域使用频繁。
3.在平面靶材的制备工艺中，对靶材进行烧结前需要进行压制，使得靶材原材料的粉体压实成型。但现有的压制工艺在压制完成后容易出现靶材开裂等问题。


技术实现要素：

4.本发明要解决的技术问题是：提供一种平面靶材压制装置以及通过该装置实现的平面靶材压制方法，其能减少靶材开裂风险。
5.提供一种平面靶材压制装置，包括用于放置平面靶材的板坯的承托板、加压装置和用于带动加压装置靠近或远离承托板的移位装置，包括抽气装置和与所述抽气装置连接的导气板，所述导气板具有用于接触平面靶材板面的接触面，该抽气装置抽气则所述导气板接触面处的气体经导气板进入抽气装置。
6.优选地，所述导气板安装在加压装置的下表面。
7.优选地，所述导气板安装在承托板的上表面。
8.优选地，所述导气板为微孔陶瓷板。
9.优选地，所述导气板为熔喷式纤维板。
10.优选地，所述熔喷式纤维板分为多层，各层的孔隙递增。
11.优选地，所述导气板的孔隙小于等于20微米。
12.优选地，所述加压装置包括加热板。
13.还提供一种平面靶材压制方法，其通过上述压制装置对平面靶材板坯进行压制前，先对平面靶材板坯的外表面进行加热和抽气处理。
14.还提供一种计算机可读存储介质，该存储介质存储有可执行计算机程序，计算机程序被平面靶材压制装置的处理器执行时能够实现上述平面靶材压制方法。
15.有益效果：该平面靶材压制装置设有抽气装置，在对平面靶材进行压制时，先通过抽气装置对平面靶材的板坯进行抽气处理，使得平面靶材的板坯在进行压制时先抽取其中夹杂的空气，避免在压制后时压缩的空气在压制完成后膨胀而挤压板坯的粉体，减少靶材开裂的几率。
附图说明
16.图1是本发明的平面靶材压制装置的结构示意图。
17.图2是本发明的平面靶材压制装置的多层熔喷式纤维板的结构示意图。
具体实施方式
18.以下结合具体实施方式对本发明创造作进一步详细说明。
19.实施例一
20.本实施例的平面靶材压制装置如图1所示，包括图1下方的用于放置平面靶材的板坯的承托板1，承托板1的上表面安装有导气板2，以及位于图1上方的加压装置1和安装在加压装置1下表面的导气板2，还包括用于带动加压装置靠近或远离承托板的移位装置(图中未示出)，以及用于固定安装承托板的支撑装置。导气板2通过导气管13向下穿过承托板1后连接到承托板1底部的出气管11，出气管11外接抽气装置(图中未示出)，以使导气板2与抽气装置连接在一起形成气体流动通道，导气板2具有用于接触平面靶材板面的接触面(外表面)，抽气装置抽气则导气板2的接触面处的气体进入导气板2后通过上述气体流动通道进入抽气装置。
21.该平面靶材压制装置设有抽气装置，在对平面靶材进行压制时，通过预设的平面靶材压制方法，先通过抽气装置对平面靶材的板坯进行抽气处理，使得平面靶材的板坯在进行压制时先抽取其中夹杂的空气，避免在压制后时压缩的空气在压制完成后膨胀而挤压板坯的粉体，减少靶材开裂的几率。
22.其中，用于制成平面靶材的板坯的粉体的粒径约为20～80微米，因此，为避免散落的粉体进入导气板2堵塞其空隙，本实施例采用孔隙小于等于20微米的微孔陶瓷板或者熔喷式纤维板。微孔陶瓷板的孔隙范围为3～15微米；见图2，熔喷式纤维板分为多(四)层，各层的孔隙由下(x)往上(c)递增，接触面处的空隙最小，以便于通气。
23.其中，加压装置1包括加热板12，在通过上述压制装置对平面靶材的板坯进行压制前，先对平面靶材板坯的外表面进行短时间(如5分钟)的低温加热处理，加热温度为20℃到80℃，使得平面靶材的板坯内的空气略微膨胀以便于后续抽气处理排出空气。
24.如上所述仅为本发明创造的实施方式，不以此限定专利保护范围。本领域技术人员在本发明创造的基础上作出非实质性的变化或替换，仍落入专利保护范围。


技术特征：
1.平面靶材压制装置，包括用于放置平面靶材的板坯的承托板、加压装置和用于带动加压装置靠近或远离承托板的移位装置，其特征在于，包括抽气装置和与所述抽气装置连接的导气板，所述导气板具有用于接触平面靶材板面的接触面，该抽气装置抽气则所述导气板接触面处的气体经导气板进入抽气装置。2.根据权利要求1所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述导气板安装在加压装置的下表面。3.根据权利要求1或2所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述导气板安装在承托板的上表面。4.根据权利要求1所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述导气板为微孔陶瓷板。5.根据权利要求1所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述导气板为熔喷式纤维板。6.根据权利要求5所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述熔喷式纤维板分为多层，各层的孔隙递增。7.根据权利要求1所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述导气板的孔隙小于等于20微米。8.根据权利要求1所述的平面靶材压制装置，其特征是，所述加压装置包括加热板。9.平面靶材压制方法，其特征是，压制装置如权利要求1～8中任一项所述，通过上述压制装置对平面靶材板坯进行压制前，先对平面靶材板坯的外表面进行加热和抽气处理。10.计算机可读存储介质，其存储有计算机程序，其特征是，平面靶材压制装置包括处理器，所述计算机程序被处理器执行时能够实现权利要求9所述的平面靶材压制方法。

技术总结
本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种平面靶材压制装置、方法及计算机可读存储介质。提供一种平面靶材压制装置，包括用于放置平面靶材的板坯的承托板、加压装置和用于带动加压装置靠近或远离承托板的移位装置，包括抽气装置和与所述抽气装置连接的导气板，所述导气板具有用于接触平面靶材板面的接触面，该抽气装置抽气则所述导气板接触面处的气体经导气板进入抽气装置，在对平面靶材进行压制时，先通过抽气装置对平面靶材的板坯进行抽气处理，使得平面靶材的板坯在进行压制时先抽取其中夹杂的空气，避免在压制后时压缩的空气在压制完成后膨胀而挤压板坯的粉体，减少靶材开裂的几率。材开裂的几率。材开裂的几率。


技术研发人员：雷雨 周志宏 肖世洪 周昭宇 汪政军
受保护的技术使用者：广州市尤特新材料有限公司
技术研发日：2021.06.30
技术公布日：2021/9/7