一种热等静压靶材装粉工装的制作方法

1.本实用新型涉及热等静压靶材生产领域，具体涉及一种热等静压靶材装粉工装。


背景技术：

2.镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。
3.热等静压工艺是将制品放置到密闭的容器中，向制品施加各向同等的压力，同时施以高温，在高温高压的作用下，制品得以烧结和致密化。
4.靶材一般是通过热等静压方式进行成型生产，先将靶材的原材料通过漏斗导入至包套管中进行装粉，然后再将包套管内部脱气形成真空，最后通过热等静压高温真空烧结成型，目前包套管在装粉时，进料管在装完抽离后，容易带出内部粉造成外露，大都进料管将粉输送至包套管内时，粉容易堆积，粉与粉之间空隙较大，不能达到紧密均匀贴合，因此有必要设计一种热等静压靶材装粉工装。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种热等静压靶材装粉工装。
6.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
7.提供一种热等静压靶材装粉工装，包括底座和控制器，所述控制器固定设置于底座顶部一侧，还包括放料机构和装粉机构，所述放料机构包括升降组件和旋转组件，所述升降组件固定设置于底座上，所述旋转组件固定设置于升降组件的顶部一侧，所述装粉机构包括包套管和摆动组件，所述摆动组件固定设置于底座上并位于控制器旁侧，所述包套管固定设置于摆动组件上，且包套管与旋转组件插接设置。
8.优选的，所述升降组件包括载座、第一电机、螺杆、滑座、限位杆和两个支撑柱，所述载座固定设置于底座上并位于控制器旁侧，两个所述支撑柱对称并固定设置于载座顶部一侧，两个所述支撑柱的相对两侧均设有限位滑槽，且两个支撑柱顶部固定设有顶杆，所述限位杆呈水平状态固定设置于两个限位滑槽底部。
9.优选的，所述第一电机呈水平状态固定设置于载座上，且第一电机位于两个支撑柱之间，所述第一电机的输出轴通过联轴器与螺杆的一端固定连接，所述螺杆的另一端穿过限位杆并与顶杆转动连接，所述滑座的一端两侧限位滑动设置于两个限位滑槽内，且滑座与螺杆螺纹连接。
10.优选的，所述旋转组件包括安装座、第二电机、储料筒、漏斗和进料管，所述安装座固定设置于滑座的顶部，所述第二电机呈倒立状固定设置于安装座上，且第二电机的输出轴穿过滑座与储料筒固定连接，所述漏斗固定连通设置于储料筒的底部，所述储料筒的一侧设有进气孔，所述进料管呈弯曲状设置，且进料管的一端固定插设于漏斗底部。
11.优选的，所述摆动组件包括台座、机座、第三电机、轴座、抵柱、第一偏接板、第二偏接板、两个转盘和四个抵杆，两个所述转盘呈竖直状态对称设置并与底座限位转动设置，四个所述抵杆两两对称并固定设置于两个转盘之间。
12.优选的，所述机座固定设置于底座上并位于转盘旁侧，所述第三电机呈水平状态固定设置于机座上，且第三电机的输出轴与第一偏接板一端固定连接，所述第一偏接板的另一端与抵柱一端固定连接，所述抵柱的另一端穿过四个抵杆之间并与第二偏接板一端固定连接，所述第二偏接板的另一端与轴座限位转动连接，所述台座固定设置于底座上，且台座与轴座固定连接。
13.优选的，所述包套管固定设置于位于抵杆顶部的转盘上，且包管套顶部限位滑动设有密封盖，所述密封盖中心位置一侧设有通孔，所述通孔内固定设有刮粉环，所述进料管的另一端穿过通孔延伸至包套管内部底端，所述密封盖的内部固定设有载块，所述载块的一侧固定设有复位弹簧，所述复位弹簧的一端焊接有抵块，所述抵块与进料管抵触设置，所述载块的两侧对称设有两个限位板，所述复位弹簧位于两个限位板之间。
14.本实用新型的有益效果：
15.1、首先打开储料筒一侧的进气孔后，储料筒内的粉末顺着漏斗进入至进料管，通过进料管进入至包套管的底部，第一电机启动后，第一电机的输出轴带动螺杆转动，螺杆带动滑座向上移动，随着包套管内部的粉末渐渐上升，滑座也带动进料管上升，进料管与粉末量同时上升，使得在装粉时可均匀的释放，避免粉末在包套管内飞扬落点不一。
16.2、当进料管在下料的同时，第二电机启动，第二电机的输出轴带动储料筒转动，储料筒和漏斗带动进料管转动，从而进料管带动密封盖在包套管限位滑动，进而进料管内的粉末可均匀的呈环形释放至包套管内，使得粉末在包套管内均匀释放，避免由中心一点堆积，不利于粉末件的紧密贴合。
17.3、当包套管装粉完成后，进料管就会从密封盖的一侧的通孔抽出，在抽出时，通孔内的刮粉环将残留至进料管外壁的粉末颗粒刮下，避免将粉末带出储料筒外，
18.4、当进料管抽离时，密封盖底部的复位弹簧立即复位将通孔封住，避免粉末外扬和空气进入。
19.5、第三电机启动后，第三电机的输出轴带动第一偏接板转动，第一偏接板配合轴座和第二偏接板的转动配合带动抵柱两端呈锥形摆动，抵柱抵触四个抵杆并带动两个转盘往复摆动，从而转盘带动其顶部的包套管往复摆动，减少包套管内壁上的粉末，同时使得包套管内的粉末之间减小空隙更加紧密。
20.本实用新型通过进料管与靶材粉末同时上升，且通过对包套管进行往复式摇摆，即可实现靶材装粉，方便快捷，安全高效，极大提高了靶材装粉效率。
附图说明
21.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面对本发明实施例中的附图作简单地介绍。
22.图1为本实用新型的立体结构示意图；
23.图2为本实用新型的放料机构立体结构示意图；
24.图3为本实用新型的升降组件立体结构示意图；
25.图4为本实用新型的旋转组件拆分示意图；
26.图5为本实用新型的装粉机构立体结构示意图；
27.图6为本实用新型的摆动组件立体结构示意图；
28.图7为本实用新型的的包套管拆分示意图；
29.图8为图7中a处的放大示意图；
30.图中：
31.底座1；
32.控制器2；
33.放料机构3；
34.升降组件30、载座300、第一电机301、螺杆302、滑座303、限位杆304、支撑柱305、限位滑槽3050、顶杆3051；
35.旋转组件31、安装座310、第二电机311、储料筒312、进气孔3120、漏斗313、进料管314；
36.装粉机构4；
37.包套管40、密封盖400、通孔401、刮粉环402、载块403、复位弹簧404、抵块405、限位板406；
38.摆动组件41、台座410、机座411、第三电机412、轴座413、抵柱414、第一偏接板415、第二偏接板416、转盘417、抵杆418。
具体实施方式
39.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
40.其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本发明的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸。
41.参照图1所示的一种热等静压靶材装粉工装，包括底座1和控制器2，控制器2固定设置于底座1顶部一侧，还包括放料机构3和装粉机构4，放料机构3包括升降组件30和旋转组件31，升降组件30固定设置于底座1上，旋转组件31固定设置于升降组件30的顶部一侧，装粉机构4包括包套管40和摆动组件41，摆动组件41固定设置于底座1上并位于控制器2旁侧，包套管40固定设置于摆动组件41上，且包套管40与旋转组件31插接设置。
42.参照图2至图3所示的升降组件30包括载座300、第一电机301、螺杆302、滑座303、限位杆304和两个支撑柱305，载座300是为第一电机301和两个支撑柱305提供固定安装载体，限位杆304对滑座303起到限位的目的，载座300固定设置于底座1上并位于控制器2旁侧，两个支撑柱305对称并固定设置于载座300顶部一侧，两个支撑柱305的相对两侧均设有限位滑槽3050，限位滑槽3050为滑座303提供了限位滑动空间，且两个支撑柱305顶部固定设有顶杆3051，顶杆3051是为螺杆302提供限位转动载体，限位杆304呈水平状态固定设置于两个限位滑槽3050底部，第一电机301呈水平状态固定设置于载座300上，且第一电机301位于两个支撑柱305之间，第一电机301的输出轴通过联轴器与螺杆302的一端固定连接，螺杆302的另一端穿过限位杆304并与顶杆3051转动连接，滑座303的一端两侧限位滑动设置于两个限位滑槽3050内，且滑座303与螺杆302螺纹连接，当第一电机301启动后，第一电机
301的输出轴带动螺杆302转动，螺杆302配合两支撑柱305之间的限位滑槽3050带动滑座303向上移动，进而滑座303可带动旋转组件31向上移动。
43.参照图2和图4所示的旋转组件31包括安装座310、第二电机311、储料筒312、漏斗313和进料管314，安装座310是为第二电机311提供固定安装载体，安装座310固定设置于滑座303的顶部，第二电机311呈倒立状固定设置于安装座310上，且第二电机311的输出轴穿过滑座303与储料筒312固定连接，漏斗313固定连通设置于储料筒312的底部，储料筒312的一侧设有进气孔3120，进气孔3120通了之后，保证储料筒312内的靶材粉末受重力影响能下落至漏斗313和进料管314内，进料管314呈弯曲状设置，且进料管314的一端固定插设于漏斗313底部，当第二电机311启动后，第二电机311的输出轴带动储料筒312转动，储料筒312通过漏斗313带动进料管314转动，从而进料管314带动密封盖400在包套管40限位滑动，进而进料管314内的粉末可均匀的呈环形释放至包套管40内。
44.参照图5至图6所示的摆动组件41包括台座410、机座411、第三电机412、轴座413、抵柱414、第一偏接板415、第二偏接板416、两个转盘417和四个抵杆418，台座410是为轴座413提供固定安装载体，机座411是为第三电机412提供固定安装载体，两个转盘417呈竖直状态对称设置并与底座1限位转动设置，四个抵杆418两两对称并固定设置于两个转盘417之间，机座411固定设置于底座1上并位于转盘417旁侧，第三电机412呈水平状态固定设置于机座411上，且第三电机412的输出轴与第一偏接板415一端固定连接，第一偏接板415的另一端与抵柱414一端固定连接，抵柱414的另一端穿过四个抵杆418之间并与第二偏接板416一端固定连接，第二偏接板416的另一端与轴座413限位转动连接，台座410固定设置于底座1上，且台座410与轴座413固定连接，当第三电机412启动后，第三电机412的输出轴带动第一偏接板415转动，第一偏接板415配合轴座413和第二偏接板416的转动配合带动抵柱414两端呈锥形摆动，抵柱414抵触四个抵杆418并带动两个转盘417往复摆动，从而转盘417带动其顶部的包套管40往复摆动，减少包套管40内壁上的粉末，同时使得包套管40内的粉末之间减小空隙更加紧密。
45.参照图7至图8所示的包套管40固定设置于位于抵杆418顶部的转盘417上，且包管套顶部限位滑动设有密封盖400，密封盖400保证了对包套管40的密封作用，还是配合进料管314一起转动，密封盖400中心位置一侧设有通孔401，通孔401是为进料管314提供插设通道，同时液位刮粉环402提供安装空间，通孔401内固定设有刮粉环402，进料管314的另一端穿过通孔401延伸至包套管40内部底端，密封盖400的内部固定设有载块403，载块403的一侧固定设有复位弹簧404，复位弹簧404的一端焊接有抵块405，抵块405是对通孔401起到启闭的作用，抵块405与进料管314抵触设置，载块403的两侧对称设有两个限位板406，限位板406保证复位弹簧404被压缩时不会弯曲，复位弹簧404位于两个限位板406之间，当包套管40装粉完成后，进料管314就会从密封盖400的一侧的通孔401抽出，在抽出时，通孔401内的刮粉环402将残留至进料管314外壁的粉末颗粒刮下，避免将粉末带出储料筒312外，当进料管314抽离时，密封盖400底部的复位弹簧404立即复位将通孔401封住，避免粉末外扬和大量空气进入。
46.工作原理：
47.打开储料筒312一侧的进气孔3120后，储料筒312内的粉末顺着漏斗313进入至进料管314，通过进料管314进入至包套管40的底部，此时控制器2打开第一电机301开关，第一
电机301的输出轴带动螺杆302转动，螺杆302配合两支撑柱305之间的限位滑槽3050带动滑座303向上移动，随着包套管40内部的粉末渐渐上升，滑座303也带动进料管314上升，与此同时，控制器2打开第二电机311开关，第二电机311的输出轴带动储料筒312转动，储料筒312通过漏斗313带动进料管314转动，从而进料管314带动密封盖400在包套管40限位滑动，进而进料管314内的粉末可均匀的呈环形释放至包套管40内，包套管40装粉完成后，进料管314就会从密封盖400的一侧的通孔401抽出，在抽出时，通孔401内的刮粉环402将残留至进料管314外壁的粉末颗粒刮下，避免将粉末带出储料筒312外，当进料管314抽离时，密封盖400底部的复位弹簧404立即复位将通孔401封住，避免粉末外扬和大量空气进入，此时控制器2打开第三电机412，第三电机412的输出轴带动第一偏接板415转动，第一偏接板415配合轴座413和第二偏接板416的转动配合带动抵柱414两端呈锥形摆动，抵柱414抵触四个抵杆418并带动两个转盘417往复摆动，从而转盘417带动其顶部的包套管40往复摆动，减少包套管40内壁上的粉末，同时使得包套管40内的粉末之间减小空隙更加紧密。