力觉传感器的制造方法与流程

本公开涉及力觉传感器的制造方法。

背景技术：

1、专利文献1公开一种具有能够通过外力使金属阵列与金属薄膜的间隙变化的空气间隙构造的位移传感器的制造方法。该制造方法包括：在第一基板形成金属阵列的工序、在第二基板形成金属薄膜和间隔构件的工序、以及使第一基板和第二基板重叠并利用聚酰亚胺带将第一基板与第二基板固定的工序。

2、专利文件1：日本特开2020-94973号公报

技术实现思路

1、能够考虑从多个方向对力觉传感器施加载荷。专利文献1记载的制造方法那样的利用聚酰亚胺带的固定是试制中使用的简单的方法，因此存在固定不充分的担忧。因此，存在初始状态下的无载荷的状态下的第一基板与第二基板的间隔随着使用而变化的情况。本公开提供一种能够以无载荷的状态下的第一基板与第二基板的间隔成为恒定的方式保持第一基板与第二基板之间的位置关系的力觉传感器的制造方法。

2、本公开的一方面所涉及的力觉传感器的制造方法具备以下的(1)～(5)的工序。

3、(1)准备第一基板和第二基板的工序，其中，第一基板由供电磁波透过的材料构成，该第一基板在表面具有以周期性的图案排列的金属阵列，第二基板在表面具有反射电磁波的金属层。

4、(2)在第一基板的表面且在金属阵列的周围形成间隔构件的工序。

5、(3)在第一基板的表面且在间隔构件的周围形成比间隔构件薄的第一金属层的工序。

6、(4)在第二基板且在与第一金属层对应的区域形成比间隔构件薄的第二金属层的工序。

7、(5)通过将第一金属层与第二金属层熔接，而在使形成于第一基板的表面的间隔构件与第二基板的表面抵接的状态下将第一基板与第二基板固定的工序。

8、在该力觉传感器的制造方法中，通过将第一基板的第一金属层与第二基板的第二金属层熔接，而在第一基板的间隔构件与第二基板的表面抵接的状态下将第一基板与第二基板固定。通过将第一金属层与第二金属层熔接，第一基板与第二基板相比利用聚酰亚胺带的固定而被更可靠地固定。通过使第一基板的间隔构件与第二基板的表面抵接，即便在第一金属层与第二金属层的厚度因熔接而变动的情况下，也能够将第一基板与第二基板的间隔保持为恒定。因此，该力觉传感器的制造方法能够以无载荷时的第一基板与第二基板的间隔成为恒定的方式保持第一基板与第二基板之间的位置关系。

9、本公开的其他方面所涉及的力觉传感器的制造方法具备以下的(1)～(5)的工序。

10、(1)准备第一基板和第二基板的工序，其中，第一基板由供电磁波透过的材料构成，该第一基板在表面具有以周期性的图案排列的金属阵列，第二基板在表面具有反射电磁波的金属层。

11、(2)在第二基板的表面且在金属层的周围形成间隔构件的工序。

12、(3)在第二基板的表面且在间隔构件的周围形成比间隔构件薄的第一金属层的工序。

13、(4)在第一基板且在与第一金属层对应的区域形成比间隔构件薄的第二金属层的工序。

14、(5)通过将第一金属层与第二金属层熔接，而在使形成于第二基板的表面的间隔构件与第一基板的表面抵接的状态下进行固定。

15、在该力觉传感器的制造方法中，通过将第一基板的第一金属层与第二基板的第二金属层熔接，而在第二基板的间隔构件与第一基板的表面抵接的状态下将第一基板与第二基板固定。通过将第一金属层与第二金属层熔接，第一基板与第二基板相比利用聚酰亚胺带的固定而被更可靠地固定。通过使第二基板的间隔构件与第一基板的表面抵接，即便在第一金属层与第二金属层的厚度因熔接而变动的情况下，也能够将第一基板与第二基板的间隔保持为恒定。因此，该力觉传感器的制造方法能够以无载荷时的第一基板与第二基板的间隔成为恒定的方式保持第一基板与第二基板之间的位置关系。

16、本公开的又一其他方面所涉及的力觉传感器的制造方法具备以下的(1)～(5)的工序。

17、(1)准备第一基板和第二基板的工序，其中，第一基板由供电磁波透过的材料构成，该第一基板在表面具有以周期性的图案排列的金属阵列，第二基板在表面具有反射电磁波的金属层。

18、(2)在第一基板的表面且在金属阵列的周围形成第一间隔构件的工序。

19、(3)在第一基板的表面且在第一间隔构件的周围形成第一金属层的工序。

20、(4)在第二基板的表面且在金属层的周围并且与第一间隔构件对应的区域形成第二间隔构件的工序。

21、(5)在第二基板的表面且在第二间隔构件的周围并且与第一金属层对应的区域形成第二金属层的工序。

22、(6)通过将第一金属层与第二金属层熔接，而在使形成于第一基板的表面的第一间隔构件与形成于第二基板的表面的第二间隔构件抵接的状态下将第一基板与第二基板固定。

23、在该力觉传感器的制造方法中，通过将第一基板的第一金属层与第二基板的第二金属层熔接，而在第一基板的第一间隔构件与第二基板的第二间隔构件抵接的状态下将第一基板与第二基板固定。通过将第一金属层与第二金属层熔接，第一基板与第二基板相比利用聚酰亚胺带的固定而被更可靠地固定。通过使第一基板的第一间隔构件与第二基板的第二间隔构件抵接，即便在第一金属层与第二金属层的厚度因熔接而变动的情况下，也能够将第一基板与第二基板的间隔保持为恒定。因此，该力觉传感器的制造方法能够以无载荷时的第一基板与第二基板的间隔成为恒定的方式保持第一基板与第二基板之间的位置关系。

24、在一个实施方式中，第一金属层与第二金属层也可以由相同材料构成。在这种情况下，第一金属层与第二金属层由相同材料构成，因此第一金属层与第二金属层被稳固地熔接。因此，该力觉传感器的制造方法能够将第一基板与第二基板更可靠地固定。

25、根据本公开，能够制造能够以无载荷的状态下的第一基板与第二基板的间隔成为恒定的方式保持第一基板与第二基板之间的位置关系的力觉传感器。

技术特征：

1.一种力觉传感器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：

2.一种力觉传感器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：

3.一种力觉传感器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：

4.根据权利要求1～3中任一项所述的力觉传感器的制造方法，其特征在于，

技术总结
本发明提供一种力觉传感器的制造方法，包括如下工序：准备第一基板和第二基板的工序，其中，第一基板由供电磁波透过的材料构成，该第一基板在表面具有以周期性的图案排列的金属阵列，第二基板在表面具有反射电磁波的金属层；在第一基板的表面且在金属阵列的周围形成间隔构件的工序；在第一基板的表面且在间隔构件的周围形成比间隔构件薄的第一金属层的工序；在第二基板且在与第一金属层对应的区域形成比间隔构件薄的第二金属层的工序；以及通过将第一金属层与第二金属层熔接，而在使形成于第一基板的表面的间隔构件与第二基板的表面抵接的状态下将第一基板与第二基板固定的工序。

技术研发人员：田名网克周,林美由希,金森义明,冈谷泰佑
受保护的技术使用者：新东工业株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14