一种气体分配盘的模板结构的制作方法

本技术属于卧式加工中心通用模板结构，涉及一种气体分配盘的模板结构，尤其涉及一种半导体机台气体分配盘的加工通用型的快换模板结构。

背景技术：

1、在半导体制造中常用到化学气相沉积技术，含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜。其原理是通过化学反应的方式，利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源，在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。在使用化学气相沉积进行镀膜的过程中，晶圆在气体分配盘下方。在化学气相沉积过程中，气体分配盘需保证良好的稳定性，从而保证沉积过程的稳定性。

2、现有技术公开了一种气体分配盘钻孔加工模板，所述气体分配盘钻孔加工模板包括第一钻模板，所述第一钻模板内设置有第一通孔，所述第一通孔内设置有第一环形台阶，气体分配盘固定于所述第一环形台阶的环形台阶面上；所述第一钻模板的一侧表面设置有与第一环形台阶连接的第二钻模板，所述第二钻模板内设置有第二通孔，所述第二通孔内设置有第二环形台阶。

3、现有技术还公开了一种气体分配盘部件的加工夹具，所述的气体分配盘部件侧孔加工夹具包括本体与至少两个定位组件，所述的至少两个定位组件对称分布于所述本体的表面，所述本体的表面开设有限位槽，所述的限位槽内设置有至少两个定位柱，所述的定位组件包括压板，将气体分配盘部件置于所述本体的表面，所述压板的一端可拆卸连接所述的本体，另一端下压气体分配盘部件进行固定。

4、现有技术还公开了一种通用夹具，所述通用夹具包括夹具主体；所述夹具主体的顶面设置有凹槽，所述凹槽用于容纳待焊件，所述夹具主体沿所述凹槽的边缘设置有压板，所述压板的部分底面与所述待焊件的顶面相接；所述夹具主体的侧壁开设有螺纹通孔，所述螺纹通孔中穿设有定位螺丝，所述定位螺丝的定位端与所述待焊件的外侧壁相接。

5、目前，现有技术还存在气体分配盘尺寸变化后，需频繁更换模板尺寸以适配，更换频率较高，且结构复杂，操作繁冗等问题。因此，亟需设计开发一种气体分配盘的模板结构，克服现有技术缺陷，以满足实际应用需求。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种气体分配盘的模板结构，在本实用新型中，通过对板材本体以及螺纹孔的具体设置，使得模板结构可以适应不同产品的尺寸需求，无需频繁更换模板，结构简单，可操作性行强，进一步提高了生产效率，节约了生产成本，适合推广使用。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、本实用新型提供了一种气体分配盘的模板结构，所述模板结构包括板材本体，所述板材本体的一侧表面设置有若干个螺纹孔，所述若干个螺纹孔用于固定气体分配盘，在所述板材本体的长度方向，相邻所述螺纹孔的中心之间的距离为39.9～40.1mm；在所述板材本体的宽度方向，相邻所述螺纹孔的中心之间的距离为39.9～40.1mm。

4、在本实用新型中，通过对板材本体以及螺纹孔的具体设置，使得模板结构可以适应不同产品的尺寸需求，无需频繁更换模板，结构简单，可操作性行强，进一步提高了生产效率，节约了生产成本，适合推广使用。

5、本实用新型中不管横向还是竖向来看，相邻螺纹孔的中心之间的距离为39.9～40.1mm，是因为在此尺寸范围内使得适应不同直径的气体分配盘，若不在此范围内，会导致无法通用，这是由于间隙的变化，会导致压板位置不同，会使得产品安装后压板距离产品过远或过近，太远产品会无法安装或受力点不够，太近会与压板产生干涉，无法使用。

6、需要说明的是，本实用新型中通过设置若干螺纹孔，使得气体分配盘可以通过定位销与立柱、螺纹孔的定位匹配，再通过螺栓固定实现快换，可以适应不同尺寸的盘体需求，无需频繁更换模板。

7、需要说明的是，本实用新型中的“若干个”的具体数量不做特殊限定，可以是一个、两个、五十个、一百个等等，在此不做穷举，本领域技术人员可以根据实际情况进行数量上的调整。其中，螺纹孔上下左右距离另一个螺纹孔是等距的。

8、需要说明的是，本实用新型中位于靠近通孔安装处的螺纹孔和该螺纹孔周向的另一螺纹孔之间的横向距离可以在29～30mm范围之内，且该螺纹孔处于周向螺纹孔之间的范围，此分布可以使得螺纹孔布满整个板材本体的可用面。本领域技术人员可以适应性调整。

9、作为本实用新型一种优选的技术方案，所述板材本体为p20钢板。

10、需要说明的是，本实用新型中板材本体选用p20钢板，是因为该材质和尺寸使得板材整体的稳定性好，硬度高，磨损小，且使用寿命长。

11、作为本实用新型一种优选的技术方案，所述板材本体的长度为440～450mm，例如可以是440mm、441mm、442mm、443mm、444mm、445mm、446mm、447mm、448mm、449mm、450mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

12、优选地，所述板材本体的宽度为440～450mm，例如可以是440mm、441mm、442mm、443mm、444mm、445mm、446mm、447mm、448mm、449mm、450mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

13、优选地，所述板材本体的厚度为27.98～28.02mm，例如可以是27.98mm、27.99mm、28mm、28.01mm、28.02mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

14、本实用新型中板材本体的长度为440～450mm，宽度为440～450mm，厚度为27.98～28.02mm，是因为在此尺寸范围内使得设备与工作台发生干涉，若不在此范围内，会导致无法使用较大的气体分配盘。

15、作为本实用新型一种优选的技术方案，每个所述螺纹孔的孔壁光洁度小于等于ra0.02，例如可以是0.02、0.015、0.01、0.008、0.006等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

16、进一步地，需要说明的是，本实用新型中每个螺纹孔的孔壁光洁度小于等于ra0.02，可以使得定位更加精准，保证重复定位，以及快速切换时夹具产品不发生误差。

17、作为本实用新型一种优选的技术方案，每个所述螺纹孔的深度为19.9～20.1mm，例如可以是19.9mm、20mm、20.1mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

18、本实用新型中每个螺纹孔的深度为19.9～20.1mm，是因为在此尺寸范围内使得螺牙刚性更强，若不在此范围内，会导致使用过程中螺牙不吃力，发生滑牙现象，进一步地，本实用新型中采用打孔加工的方式，对快换定位销孔进行镗孔加工，且板材本体的一面经过磨床加工，进一步保证了孔壁光洁度ra0.02以内，孔径偏差不大于0.01mm。

19、作为本实用新型一种优选的技术方案，所述板材本体表面的平行度小于等于0.01mm，例如可以是0.01mm、0.009mm、0.008mm、0.007mm、0.006mm、0.005mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

20、本实用新型中板材本体表面的平行度小于等于0.01mm，是因为在此尺寸范围内使得板材本体的平面度更好，便于气体分配盘的安装。进一步地，本实用新型中的板材本体先进行磨削加工保证平面度，使得平行度在0.02mm以内，待螺纹孔等加工完成后，再此进行磨削加工保证板材本体的平面度平行度在0.01mm内。

21、作为本实用新型一种优选的技术方案，所述板材本体靠近边缘处可拆卸连接有固定件，所述固定件用于将板材本体固定在机床上。

22、作为本实用新型一种优选的技术方案，所述固定件为紧固螺栓，所述板材本体靠近边缘处设置有通孔，所述紧固螺栓可拆卸连接在所述通孔内。

23、需要说明的是，本实用新型中的通孔是通过机械打孔加工得到的，可以采用定位销匹配紧固螺栓进行定位。本实用新型对紧固螺栓的具体尺寸、材质等不做特殊限定，本领域技术人员可以根据实际情况进行适应性调整。

24、作为本实用新型一种优选的技术方案，所述通孔的孔径为19.9～20.1mm，例如可以是19.9mm、20mm、20.1mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

25、本实用新型中通孔的孔径为19.9～20.1mm，是是因为在此尺寸范围内使得螺牙刚性更强，若不在此范围内，会导致使用过程中螺牙不吃力，发生滑牙现象，优选地，所述通孔的中心距离所述板材本体边缘的最小线性距离为62.4～62.6mm，例如可以是62.4mm、62.5mm、62.6mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

26、本实用新型中通孔的中心距离板材本体边缘的最小线性距离为62.4～62.6mm，是因为在此尺寸范围内使得此夹具有更强的刚性，若不在此范围内，会导致变形，这是由于材料本身在加工中就有应力变形，再加上长时间的使用受力，容易发生变形，导致加工异常。

27、作为本实用新型一种优选的技术方案，所述板材本体的顶部设置有吊装孔，所述吊装孔用于通过辅助设备对所述板材本体和气体分配盘进行起吊安装。

28、需要说明的是，本实用新型对吊装孔的具体尺寸、数量和材质等不做特殊限定，其目的是可以通过横车等辅助设备进行安装，减少人员的劳动强度，本领域技术人员可以根据实际情况进行适应性调整。其中，吊装孔可以安装在板材本体的任意位置，不影响气体分配盘的安装即可。

29、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

30、在本实用新型中，通过对板材本体以及螺纹孔的具体设置，使得模板结构可以适应不同产品的尺寸需求，无需频繁更换模板，结构简单，可操作性行强，进一步提高了生产效率，节约了生产成本，适合推广使用。