一种激光刻蚀设备及刻蚀方法与流程

本发明涉及激光刻蚀，特别是一种激光刻蚀设备及刻蚀方法。

背景技术：

1、激光蚀刻机是利用高能激光束对材料表面进行蚀刻、切割、雕刻、打标等加工的设备。它主要由激光器、光束控制系统、工作台以及其他辅助系统组成。激光蚀刻机是一种高精度的加工设备，可以对各种材料进行精密加工处理。

2、目前，激光加工设备在诸多领域中发挥了重要的作用，激光刻蚀设备作为各行业的重要装备，应用日益广泛；随着市场需求不断增大基板幅面不断增大，对激光刻蚀设备的自动化程度和加工精度要求越来越高；现有技术中激光刻蚀平台的自动化程度比较低，生产成本比较高；同时，激光设备支撑、运动和定位精度比较低，影响基板刻蚀的精度。

技术实现思路

1、本发明提供一种激光刻蚀设备及刻蚀方法，用以解决激光刻蚀设备自动化程度较低、生产效率较低，激光刻蚀设备定位精度不足，支撑精度不足和运动精度不足的问题。

2、为解决上述技术问题，本发明的技术方案如下：

3、一种激光刻蚀设备，包括：

4、第一工作台；

5、所述第一工作台与第一支架和第二支架连接；

6、所述第一支架一端安装有传送进料装置；

7、所述第二支架一端安装有传送出料装置；

8、支撑架与所述第一工作台固定连接；

9、所述支撑架设置有激光装置；

10、所述第一工作台与第二工作台连接；

11、所述第二工作台与第三工作台连接；

12、所述第三工作台侧面设置有视觉相机；

13、所述第三工作台侧面设置有基板导正装置；

14、所述第一工作台一侧设置有第一驱动装置；

15、所述第一工作台一侧设置有导轨，通过所述第一驱动装置驱动所述第二工作台在所述导轨上运动。

16、可选的，弧形导轨，所述弧形导轨安装在所述第二工作台一侧端部；

17、所述第二工作台通过所述弧形导轨与所述第三工作台连接。

18、可选的，第二驱动装置，所述第二驱动装置通过所述弧形导轨驱动所述第三工作台旋转。

19、可选的，所述第一支架连接有第一顶升机构；

20、所述第一顶升机构用于对所述传送进料装置高度进行调整。

21、可选的，所述第二支架连接有第二顶升机构；

22、所述第二顶升机构用于对所述传送出料装置高度进行调整。

23、可选的，所述传送进料装置包括第一传送轮以及设置在所述第一传送轮上的第一传送带；

24、所述第三工作台一侧设置横向槽，所述传送进料装置运行中，通过所述第一传送带落入所述横向槽，带动基板落在所述第三工作台上。

25、可选的，所述传送出料装置包括第二传送轮以及设置在所述第二传送轮上的第二传送带；

26、所述第三工作台上激光刻蚀完成的所述基板，通过所述第二工作台带动所述第三工作台移动至传送出料装置区域，所述第二传送带落入所述横向槽中，带动所述基板输送至后端工序。

27、本发明还提供一种激光刻蚀方法，所述方法包括：

28、提供前端工序加工好的基板；

29、所述基板通过传送进料装置传送至第三工作台表面，通过基板导正装置导正基板，此时所述基板上的基准点进入视觉相机视野范围，第二工作台和所述第三工作台的第一驱动装置及第二驱动装置根据视觉相机识别位置，对所述基板进行精确导正；

30、所述第一驱动装置驱动所述第二工作台在所述导轨上运动，带动所述第三工作台上所述基板通过激光刻蚀区进行刻蚀；

31、刻蚀完成后的所述基板通过传送出料装置输送至后端工序。

32、可选的，激光刻蚀阶段，所述视觉相机将所述基板上基准点反馈到激光装置，调整所述基板刻蚀起始位置。

33、本发明的上述方案至少包括以下有益效果：

34、本发明的上述方案，包括：第一工作台；所述第一工作台与第一支架和第二支架连接；所述第一支架一端安装有传送进料装置；所述第二支架一端安装有传送出料装置；支撑架与所述第一工作台固定连接；所述支撑架设置有激光装置；所述第一工作台与第二工作台连接；所述第二工作台与第三工作台连接；所述第三工作台侧面设置有视觉相机；所述第三工作台侧面设置有基板导正装置；所述第一工作台一侧设置有第一驱动装置；所述第一工作台一侧设置有导轨，通过所述第一驱动装置驱动所述第二工作台在所述导轨上运动。本发明的技术方案，提高了激光刻蚀设备的自动化程度、生产效率，通过采用多层工作台进行支撑，在激光刻蚀过程中，激光刻蚀平台形变较小；通过对基板采用多次精准定位调整，提高了基板刻蚀精度。

技术特征：

1.一种激光刻蚀设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的激光刻蚀设备，其特征在于，弧形导轨(14)，所述弧形导轨(14)安装在所述第二工作台(8)一侧端部；

3.根据权利要求2所述的激光刻蚀设备，其特征在于，第二驱动装置(15)，所述第二驱动装置(15)通过所述弧形导轨(14)驱动所述第三工作台(9)旋转。

4.根据权利要求1所述的激光刻蚀设备，其特征在于，所述第一支架(2)连接有第一顶升机构(16)；

5.根据权利要求1所述的激光刻蚀设备，其特征在于，所述第二支架(3)连接有第二顶升机构(17)；

6.根据权利要求1所述的激光刻蚀设备，其特征在于，所述传送进料装置(4)包括第一传送轮(18)以及设置在所述第一传送轮(18)上的第一传送带(19)；

7.根据权利要求6所述的激光刻蚀设备，其特征在于，所述传送出料装置(5)包括第二传送轮(22)以及设置在所述第二传送轮(22)上的第二传送带(23)；

8.一种激光刻蚀方法，其特征在于，应用于如权利要求1至7任一项所述的激光刻蚀设备，所述方法包括：

9.根据权利要求8所述的激光刻蚀方法，其特征在于，激光刻蚀阶段，所述视觉相机(10)将所述基板(21)上基准点反馈到激光装置(7)，调整所述基板(21)刻蚀起始位置。

技术总结
本发明提供一种激光刻蚀设备及刻蚀方法，包括：第一工作台；所述第一工作台与第一支架和第二支架连接；所述第一支架一端安装有传送进料装置；所述第二支架一端安装有传送出料装置；支撑架与所述第一工作台固定连接；所述支撑架设置有激光装置；所述第一工作台与第二工作台连接；所述第二工作台与第三工作台连接；所述第三工作台侧面设置视觉相机；所述第三工作台侧面设置有基板导正装置；所述第一工作台一侧设置有第一驱动装置；所述第一工作台一侧设置有导轨；所述第二工作台一侧设置有弧形导轨；本发明提高了激光刻蚀设备的自动化程度、生产效率，通过多层工作台支撑和动作调整，能够提高基板在平台上的定位精度，从而提高基板刻蚀精度。

技术研发人员：赵均强,盛余松,蒋友宇,陈夏岩
受保护的技术使用者：武汉万度光能研究院有限责任公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/27