本发明涉及晶舟制造加工,具体为一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备。
背景技术:
1、碳化硅陶瓷晶舟又称碳化硅晶舟(碳化硅舟),因其具有耐磨损、耐腐蚀、耐高温冲击、耐电浆轰击、高导热、高散热以及长期使用不易弯曲等特点,所以被广泛用于光伏电池片和半导体圆片的生产工艺中。
2、现有技术中,碳化硅陶瓷晶舟由其专用的夹具夹持并固定于激光切割机下方,由激光切割机在其表面均匀地开设有若干个用于盛放半导体圆片的齿槽。
3、但目前,晶舟的夹具过于专一,自身尺寸不便调节,难以适用不同尺寸大小的晶舟,并且夹具在进行夹持后,夹具自身的部分位置凸出至晶舟的上侧,容易对激光切割机的移动路径造成阻碍、甚至与之发生碰撞,具有一定的安全隐患。为此,本发明提出一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备用于解决上述问题。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,以解决上述背景技术中提出的晶舟夹具尺寸不便调节、且容易与激光切割机发生碰撞的问题。
2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,包括:
3、激光切割头,所述激光切割头的下方设置有晶舟本体,所述晶舟本体的两侧均设置有侧安装板;
4、所述侧安装板的两端均滑动安装有安装滑座、且安装滑座的中部转动安装有转动盘,正对应的两个转动盘之间设置有相互平行的驱动杆和调节杆,所述驱动杆和调节杆之间设置有连接件,连接件的两侧均设置有夹持块,夹持块表面的上端固定连接有限位卡块,所述夹持块共计四个且分别抵在晶舟本体内侧的四角处,所述夹持块通过限位卡块对晶舟本体扣紧定位,所述夹持块的一侧面固定连接有支撑板、且支撑板对晶舟本体的下表面支撑;
5、所述调节杆的外侧套设有与之滑动连接的调节套筒,所述调节套筒的两端均开设有螺纹,所述调节套筒旋转并驱动其两端的夹持块同步反向移动,所述驱动杆的中部开设有螺纹,所述驱动杆旋转并驱动连接件和调节套筒沿调节杆长度方向移动。
6、优选的,所述夹持块的下端固定连接有凸块、且凸块活动套设于驱动杆的外侧,所述连接件包括套筒一和套筒二、且两者之间通过连接块固定连接,所述套筒一与驱动杆之间螺纹套接,所述调节套筒表面中部开设有环形槽,所述套筒二活动套设于调节套筒的外侧并与环形槽相适配。
7、优选的,所述支撑板设置成与调节套筒同心的弧形结构、并朝向调节套筒的端部,所述夹持块的另一侧面安装有防护波纹管、且防护波纹管活动套设于调节套筒的外侧。
8、优选的,所述套筒二的表面开设有连接槽,所述防护波纹管的端部设置有与连接槽相适配的连接凸板,所述防护波纹管的两端通过螺钉分别与夹持块和套筒二保持固定连接。
9、优选的,所述晶舟本体整体呈弧形结构,所述晶舟本体的内凹面固定设置有置料座、且置料座表面由激光切割头加工出多个呈等间距分布的齿槽,所述晶舟本体的外凸面固定设置有底座,所述晶舟本体的表面开设有减重槽,且减重槽的两侧内壁均固定连接有横板,所述夹持块贴合横板的侧边缘、且限位卡块和支撑板分别贴合横板的上下两表面,所述限位卡块的边缘处设置有导向倒角。
10、优选的,所述侧安装板的底部设置有轨道梁,所述侧安装板的两端均开设有滑动槽,所述安装滑座的上下两表面均开设有滑动凹槽、且安装滑座通过滑动凹槽滑动安装于滑动槽内腔,所述侧安装板的表面固定安装有驱动气缸、且驱动气缸驱动安装滑座滑动。
11、优选的,所述安装滑座的中部贯穿开设有与转动盘相适配的通孔,所述转动盘的表面固定连接有限位缘、且限位缘贴合安装滑座表面,所述驱动杆的端部和调节杆的端部均与转动盘转动连接。
12、优选的,所述驱动杆和调节杆的一端均设置有驱动其旋转的调节电机、且调节电机固定安装于一个限位缘表面,所述驱动杆的另一端外侧设置有蜗轮、且蜗轮与另一个限位缘表面固定连接,所述蜗轮的外侧设置有与之啮合传动的蜗杆、且蜗杆通过支撑座转动安装于安装滑座表面。
13、优选的,所述晶舟本体的上方设置有导向横梁,且导向横梁的两端均通过支架固定于工作台表面,所述导向横梁的外侧滑动套设有滑动座,所述滑动座的下表面固定连接有伸缩件,且伸缩件的下端与激光切割头之间通过铰支座保持转动连接,所述激光切割头的外侧设置有与其朝向一致的气管。
14、优选的,所述调节杆的截面呈多边形结构,所述调节套筒的内部中空并与调节杆相适配,所述调节套筒两端的螺纹旋向相反、且两个夹持块呈对称分布。
15、与现有技术相比,本发明的有益效果是:
16、本发明通过在晶舟本体下方的两侧均设置有驱动杆和调节杆、且两者之间设置有连接件,连接件的两侧均设置有夹持块,夹持块的表面上端固定有限位卡块,四个夹持块分别位于晶舟本体内侧的四角处、并借助限位卡块来对晶舟本体进行扣紧,夹持块的位置可调,能够适应不同尺寸的晶舟本体,且夹持块自身能够旋转,避免限位卡块凸出晶舟本体的上方,从而防止对激光切割头的移动造成阻碍,避免激光切割头受到碰撞、损坏。
1.一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,其特征在于:包括:
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,其特征在于:所述夹持块(9)的下端固定连接有凸块(91)、且凸块(91)活动套设于驱动杆(6)的外侧,所述连接件(8)包括套筒一(81)和套筒二(82)、且两者之间通过连接块(83)固定连接,所述套筒一(81)与驱动杆(6)之间螺纹套接,所述调节套筒(71)表面中部开设有环形槽(72),所述套筒二(82)活动套设于调节套筒(71)的外侧并与环形槽(72)相适配。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,其特征在于:所述支撑板(92)设置成与调节套筒(71)同心的弧形结构、并朝向调节套筒(71)的端部,所述夹持块(9)的另一侧面安装有防护波纹管(12)、且防护波纹管(12)活动套设于调节套筒(71)的外侧。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,其特征在于:所述套筒二(82)的表面开设有连接槽(84),所述防护波纹管(12)的端部设置有与连接槽(84)相适配的连接凸板(121),所述防护波纹管(12)的两端通过螺钉分别与夹持块(9)和套筒二(82)保持固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,其特征在于:所述晶舟本体(2)整体呈弧形结构,所述晶舟本体(2)的内凹面固定设置有置料座(23)、且置料座(23)表面由激光切割头(1)加工出多个呈等间距分布的齿槽,所述晶舟本体(2)的外凸面固定设置有底座(24),所述晶舟本体(2)的表面开设有减重槽(21),且减重槽(21)的两侧内壁均固定连接有横板(22),所述夹持块(9)贴合横板(22)的侧边缘、且限位卡块(10)和支撑板(92)分别贴合横板(22)的上下两表面,所述限位卡块(10)的边缘处设置有导向倒角(11)。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,其特征在于:所述侧安装板(3)的底部设置有轨道梁(32),所述侧安装板(3)的两端均开设有滑动槽(31),所述安装滑座(4)的上下两表面均开设有滑动凹槽(42)、且安装滑座(4)通过滑动凹槽(42)滑动安装于滑动槽(31)内腔,所述侧安装板(3)的表面固定安装有驱动气缸(43)、且驱动气缸(43)驱动安装滑座(4)滑动。
7.根据权利要求6所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,其特征在于:所述安装滑座(4)的中部贯穿开设有与转动盘(5)相适配的通孔(41),所述转动盘(5)的表面固定连接有限位缘(51)、且限位缘(51)贴合安装滑座(4)表面,所述驱动杆(6)的端部和调节杆(7)的端部均与转动盘(5)转动连接。
8.根据权利要求7所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,其特征在于:所述驱动杆(6)和调节杆(7)的一端均设置有驱动其旋转的调节电机(52)、且调节电机(52)固定安装于一个限位缘(51)表面,所述驱动杆(6)的另一端外侧设置有蜗轮(53)、且蜗轮(53)与另一个限位缘(51)表面固定连接,所述蜗轮(53)的外侧设置有与之啮合传动的蜗杆(54)、且蜗杆(54)通过支撑座(55)转动安装于安装滑座(4)表面。
9.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,其特征在于:所述晶舟本体(2)的上方设置有导向横梁(13),且导向横梁(13)的两端均通过支架固定于工作台表面,所述导向横梁(13)的外侧滑动套设有滑动座(131),所述滑动座(131)的下表面固定连接有伸缩件(101),且伸缩件(101)的下端与激光切割头(1)之间通过铰支座(102)保持转动连接,所述激光切割头(1)的外侧设置有与其朝向一致的气管(103)。
10.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备,其特征在于:所述调节杆(7)的截面呈多边形结构,所述调节套筒(71)的内部中空并与调节杆(7)相适配,所述调节套筒(71)两端的螺纹旋向相反、且两个夹持块(9)呈对称分布。