一种阵列维修设备机台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种阵列维修设备机台。
【背景技术】
[0002]目前，阵列维修设备是TFT-LCD面板领域在阵列段主要维修的机构，其可对阵列基板的点不良&线不良进行查看、判级和维修。该设备的原理是通过激光的热效应，光效应和化学效应，对基板上导电薄膜的金属残留物或尘埃颗粒进行切割，对导电薄膜的短路和短路进彳丁维修，以提尚广品的良率。
[0003]如图1所示，原有维修机台由大理石的防震台1、玻璃材质机台2、校正玻璃的限位器8、玻璃探测器、升降支撑杆3以及一系列供气气管4和供气阀构成。当玻璃基板送入设备时，升降支撑杆3在机台上方支撑玻璃基板17，随着升降支撑杆3下降，玻璃基板17放置在机台上，然后吹气，待玻璃基板17浮动后限位器8校正玻璃基板17位置并真空；当玻璃基板17送出设备时，机台吹气待玻璃基板17完全浮动，限位器8第二次校正玻璃基板17位置之后升降支撑杆3升起，随后机械手取出玻璃基板17。在以上运行过程中，玻璃基板17完全放置在机台上真空后，由于玻璃基板17与玻璃材质机台2的材质一样，很容易贴合过紧，在吹气的状态下也有可能无法正常浮动，因此存在以下风险:
[0004]—、结合图3所示，设备在沉积架桥过程中，钨粉容易结晶(参看图3中出现的结晶的钨粉15)，导致无法正常维修，需要等待升华或是启动加热，将整个机台加热，但加热中，玻璃基板与玻璃机台之间容易形成静电不良；
[0005]二、结合图2所示，在玻璃基板送入/送出过程中，玻璃基板和机台之间有大面积接触，玻璃基板在机台表面会有一定的摩擦运动;从而使得机台表面的静电平衡被打破，局部产生大量静电积累(参看图2中出现的基板静电吸附区13)，导致玻璃基板紧贴在机台上，吹气也无法使其浮动，这种情况下限位器校正玻璃基板会导致基板被夹碎(参看图2中出现的基板破碎区14);
[0006]三、在玻璃基板送出时，由于维修玻璃基板时间过长导致其因真空时间过长，玻璃基板与机台接触面积大而紧紧的贴合在机台上，在有限的吹气时间内无法使玻璃基板达到浮动状态，此时限位器校正玻璃基板位置会导致基板被限位器夹碎；
[0007]鉴于以上三点的隐患，通过改进机台的整体设计，消除在玻璃基板送入/送出过程中因静电吸附和真空时间过长无法浮动导致玻璃基板的破损，提高产品的品质。
【实用新型内容】
[0008](一)要解决的技术问题
[0009]本实用新型要解决的技术问题是提供了一种阵列维修设备机台，解决了老式机台因基板与机台接触面积大吹气不均导致的基板无法漂浮；以及维修中无法加热或是加热不充分导致的钨粉结晶；另外也避免了基板和机台的大面积接触和脱离导致的ESD等不良问题。
[0010](二)技术方案
[0011]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了阵列维修设备机台，其包括防震台、支撑杆件、吸附部件、热源部件及光源部件;所述防震台上设有多个支撑杆件，所述支撑杆件内设有中空气道，所述吸附部件设置于支撑杆件的上端，且与所述中空气道连接，所述热源部件设置于所述吸附部件内，所述光源部件设置于所述支撑杆件外。
[0012]其中，所述阵列维修设备机台还包括激光单元，所述激光单元在移动单元的带动下于所述防震台的上方移动。
[0013]其中，所述移动单元包括运动支架和马达，所述激光单元设置于所述运动支架上，所述马达用于驱动所述运动支架在所述防震台的上方移动。
[0014]其中，多个所述支撑杆件在所述防震台上呈阵列均匀分布，且各个所述支撑杆件的高度相同。
[0015]其中，所述防震台的底部穿设有与各个所述支撑杆件一一对应连通的气路，所述气路的输入端连接有吹气装置和气源装置。
[0016]其中，所述吸附部件为与支撑杆件可拆卸连接的吸盘结构，在所述吸盘结构的中部开设有吸附孔。
[0017]其中，所述吸附部件为由树脂材质制成的透明磨砂结构。
[0018]其中，所述热源部件为设置于吸附部件内部的加热电阻丝。
[0019]其中，所述光源部件为设置于所述支撑杆件外的LED背光线圈。
[0020]其中，所述阵列维修设备机台还包括控制单元，所述控制单元包括感应器和控制开关，所述感应器用于检测所述激光单元的所在位置，所述控制开关根据所述激光单元的位置以控制所述热源部件及光源部件的启闭。
[0021](三)有益效果
[0022]本实用新型的上述技术方案具有以下有益效果:相比于现有技术而言，本实用新型阵列维修设备机台解决了老式机台因玻璃基板与机台接触面积大吹气不均导致的基板无法漂浮；以及维修中无法加热或是加热不充分导致的钨粉结晶；另外也避免了基板和机台的大面积接触和脱离导致的ESD等不良问题，从而提高设备的嫁动和产品良率。
【附图说明】
[0023]图1为现有维修机台的结构示意图；
[0024]图2为现有玻璃基板出现静电不良及局部破裂的示意图；
[0025]图3为现有玻璃基板出现钨粉结晶时的示意图；
[0026]图4为本实用新型实施例阵列维修设备机台的结构示意图；
[0027]图5为本实用新型实施例阵列维修设备机台的侧视图；
[0028]图6为本实用新型实施例阵列维修设备机台在吹气时的示意图；
[0029]图7为本实用新型实施例阵列维修设备机台在吸气时的示意图。
[0030]其中，1:防震台；2:玻璃材质机台；3:升降支撑杆;4:供气气管;5:马达;6:激光单元;7:运动支架;8:限位器;9:吸附孔;10:支撑杆件；11:光源部件；12:吸附部件；13:基板静电吸附区；14:基板破碎区；15:结晶的钨粉;16:气路;17:玻璃基板;18:热源部件。
【具体实施方式】
[0031]下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
[0032]在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0033]在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0034]如图4-7所示，本实施例所述的阵列维修设备机台包括防震台1、支撑杆件10、吸附部件12、热源部件18及光源部件11;在防震台I上直接设有多个高度一致的支撑杆件1，每个支撑杆件10内设有中空气道，用于支撑玻璃基板17。而且，设置于支撑杆件10上端的吸附部件12与其所对应的中空气道连接，吸附部件12可进行吸气和吹气。同时热源部件18设置于吸附部件12内，起到加热的作用;光源部件11设置于支撑杆件10外，用于提供背光。可见，相比于现有技术而言，经过上述改进后机台解决了老式机台因玻璃基板与机台接触面积大吹气不均导致的基板无法