专利名称：一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种平面研磨机，特别是涉及一种带有研磨盘冷却机构的平面研 磨机。
背景技术：
在研磨晶片等薄脆零件过程中，研磨盘和工件的局部接触区域往往会出现高 温，有时甚至可达几百度。局部的高温不但会烧伤零件的表面，形成加工变质 层，而且会引起零件的局部变形，进而影响其面形精度。为消除研磨过程产生的热量所带来的负面影响，比较精密的高速固着磨料研 磨机都使用冷却系统来对研磨盘进行冷却，比较具有代表性的研磨机型有西安秦川(集团)发展总公司生产的PJM320B平面精磨机和南京仪机股份有限公司 生产的PLM-400精磨抛光机。PJM320B平面精磨机的冷却液由冷却泵从冷却液 箱中吸出，经塑料管送到机床前面冷却液控制旋钮，被分为两路， 一路由塑料 管从床身内腔进入摆轴中心孔穿轴而出，接在气缸压头的管接头上，通过压头 球头内孔喷出，为上内喷；另一路由塑料管穿过上、下床身，进入主轴下端管 接头，由主轴内孔及磨盘上的多个小孔同时喷出为下内喷。概括起来，其冷却 方式即为"上内喷"和"下内喷"。但在游离磨料研磨机中，这种上下内喷的冷却方式却无法应用，因为持续喷 出的冷却液同时会冲走游离态的研磨磨料，使研磨加工过程无法进行下去。因 此， 一般的游离磨料研磨机都没有研磨盘冷却系统。为了稳定加工中的环境温 度，市场上精度比较高的游离磨料研磨机一般都要求在配有空调系统的环境中 使用，但是，空调系统只能保证外界的温度恒定，对研磨盘与工件接触面上的 局部高温区却无能为力。因此，如何解决游离磨料研磨时局部高温研磨区的冷却问题，便成了一个很 现实的问题。发明内容本发明的目的在于提供一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，以解决前 述问题。为达到上述目的，本发明的解决方案是 一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，包括研磨盘4，主轴IO，机座8，所述机座8安装在主轴10上，工件3 的被加工面平置于研磨盘4上表面，研磨盘4放置在研磨盘支撑板5上，研磨 盘支撑板5连接主轴10并在主轴10的带动下围绕主轴轴线旋转，夹具2夹持 工件3，压头1压住夹具2;所述的平面研磨机还有对研磨盘4冷却的研磨盘冷 却机构，该研磨盘冷却机构包括 一研磨盘支撑板5， 一循环盘7，密封圈6， 接头9、水嘴L1 L4;循环盘7固联于机座8的上表面，研磨盘支撑板5与循 环盘7固联，接头9固联于机座8的下部凸台之上，上述两两联接件间均置有 密封圈；水嘴的一端分别与接头相联。上述研磨盘支撑板5下表面开有贯通的沟槽5X。上述循环盘7下端面开有一大环形槽7a，大环形槽7a的下面又开有一小环 形槽7b，循环盘圆柱面上钻有一盲孔7c，其上端面还分别钻有一通孔7d和一 盲孔7e，其中该通孔7d底部与大环形槽7a贯通，上端面钻有的盲孔7e与圆柱 面上钻有的盲孔7c相贯通。上述机座8上端面开有四通孔H1 H4，并开有一环型槽8a，其中两通孔 Hl、 H4与该环型槽8a相贯通，另两通孔H2、 H3与循环盘7下端面开有的小 环形槽7b贯通。上述水嘴L1 L4另一端分别接冷却液管道。上述研磨盘支撑板下表面开有同心圆环状的沟槽5a 5f，各沟槽由一矩状沟槽5g相贯通。上述研磨盘支撑板下表面开有放射状的沟槽5A 5H，各沟槽以大小两个同 心环状沟槽5I及5J相贯通。所述的四个通孔用于冷却液的循环，注入冷却液的顺序可自由选择，冷却液 流量亦可自由选择。本发明提供的带有研磨盘冷却机构的平面研磨机有益效果是其冷却回路不 经过研磨盘表面，冷却液不会冲走研磨液，故不会影响游离研磨加工过程，流 经研磨盘底的冷却液能及时的带走研磨盘各区域积聚的热量，故能起到很好的 冷却效果。
图l是本发明的结构示意图；图2是本发明的机座结构示意图；图3是本发明第1实施例的研磨盘支撑板结构示意图；图4是本发明的循环盘反面结构示意图；图5是本发明的循环盘正面结构示意图；图6是本发明第2实施例的研磨盘支撑板结构示意图；图7是本发明第3实施例的研磨盘支撑板结构示意图。
具体实施方式
实施列1请参阅图l、 2，本发明一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，包括研磨盘4，主轴IO，机座8，还包括可对研磨盘进行冷却的研磨盘底内冷却机构。 进一步，该研磨盘底内冷却机构包括 一研磨盘支撑板5， 一循环盘7，密封圈6，接头9、水嘴L1 L4;循环盘7放置于机座8的上表面，研磨盘支撑板5与循环盘7以沉头螺钉(未画出)固联，接头9固联于机座8的凸台之上， 水嘴L1、 L2与接头9以螺钉相联，以上两两联接件间均置有密封圈。 研磨盘支撑板5下表面开有贯通的沟槽5X，如图3所示。 请参阅图2、 5、 6，循环盘7下端面开有一大环形槽7a，大环形槽7a的下 端面又开有一小环形槽7b，循环盘圆柱面上钻有一盲孔7c，其上端面分别钻有 一通孔7d和一盲孔7e，其中该通孔7d底部与大环形槽7a贯通，端面上盲孔 7e与圆柱面上钻有的一盲孔7c相贯通。请参阅图1、2，该机座8上端面开有四通孔H1 H4，并开有一环型槽8a， 其中两通孔H1、 H4与该环型槽8a相贯通，另两通孔H2、 H3与循环盘7下端 面开有的小环形槽7b贯通。如图l所示，关闭L2、 L4，水嘴L1、 L3分别接冷却液管道G1、 G3(未画 出)，冷却液经Gl由Ll进，经G3由L3出。研磨加工时，工件3被加工面平 置于研磨盘4上表面，研磨盘4在主轴IO的带动下围绕主轴轴线旋转，工件3 在夹具2和压头1的作用下围绕其自身的轴线自转。冷却液从Ll管道流入，经由机座8上的通孔Hl及循环盘7上的一通孔7d 后流入研磨盘支撑板5下表面贯通的沟槽5X，使冷却液均布在研磨盘底。当冷 却液充满沟槽5X后，在压力的作用下，冷却液经由循环盘7上端面的盲孔7e 进入其圆柱面上的一盲孔7c，由盲孔7c流入机座上的通孔H3，最后经L3由 G3 (未画出)管道流入冷却液箱(未画出)。当冷却液从L2进，由L4出时，其过程类似，在此不再累述。此外，图3所示的研磨盘支撑板5并非本发明唯一的实施方式，以下为本发 明的其它实施例，并且为了方便说明，以下的说明使以相同的标号来表示相同 的组件。实施例2请参考图6。图6为本发明第2实施例的研磨盘支撑板结构示意图，其底面开有同心圆环状的沟槽5a 5f，各沟槽由一矩状沟槽5g相贯通。处于工作状态 时，各沟槽中均充满冷却液。 实施例3请参考图7。图7为本发明第3实施例的研磨盘支撑板结构示意图，其底面 开有放射状的沟槽5A 5H，各沟槽以同心环状沟槽51及5J相贯通。本发明提供的研磨盘底内冷却机构，能保证研磨加工过程中整个研磨盘支撑 板底部贯通的沟槽内每一时刻都充满着冷却液，能在第一时间内带走研磨过程 中产生的热量，不但使整个研磨盘温度恒定，而且能很好的降低零件被研磨面 的局部温度。以上所述仅为本发明较佳实施例，凡依本发明权利要求所做的均等变化与修 饰，都应属本发明专利的涵盖范围。
权利要求
1.一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，包括研磨盘(4)，主轴(10)，机座(8)，所述机座(8)安装在主轴(10)上，工件(3)的被加工面平置于研磨盘(4)上表面，研磨盘(4)放置在研磨盘支撑板(5)上，研磨盘支撑板(5)连接主轴(10)并在主轴(10)的带动下围绕主轴轴线旋转，夹具(2)夹持工件(3)，压头(1)压住夹具(2)；其特征在于所述的平面研磨机有研磨盘冷却机构，该研磨盘冷却机构包括上述的一研磨盘支撑板(5)，一循环盘(7)，密封圈(6)，接头(9)、水嘴(L1～L4)；循环盘(7)固联于机座(8)的上凸台表面，研磨盘支撑板(5)与循环盘(7)固联，接头(9)固联于机座(8)的下部凸台之上，上述两两联接件间均置有密封圈；水嘴(L1～L4)的一端分别与接头(9)相连接。
2. 根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于上述研磨盘支撑板(5) 下表面开有贯通的沟槽(5X)。
3. 根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于上述循环盘(7)下端面 开有一大环形槽(7a)，大环形槽(7a)的下面又开有一小环形槽(7b)，循环盘 圆柱面上钻有一盲孔(7c)，其上端面还分别钻有一通孔(7d)和一盲孔(7e)，其屮 该通孔(7d)底部与大环形槽(7a)贯通，上端面钻有的盲孔(7e)与圆柱面上钻有 的盲孔(7c)相贯通。
4. 根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于上述机座(8)上凸台端 面开有四通孔(H1 H4)，并开有一环型槽(8a)，其中两通孔(H1、 H4)与该环型 槽(8a)相贯通，另两通孔(H2、 H3)与循环盘(7)下端面开有的小环形槽(7b)贯 通。
5. 根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于上述水嘴(L1 L4)另一 端分别连接冷却液管道。
6. 根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于上述研磨盘支撑板(5)下表面开有同心圆环状的沟槽(5a 5f)，各沟槽由一矩状沟槽(5g)相贯通。
7. 根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于上述研磨盘支撑板(5) 下表面开有放射状的沟槽(5A 5H)，各沟槽以大小两个同心环状沟槽(51、 5J) 相贯通。
全文摘要
本发明公开了一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，包括研磨盘，主轴安装在机座上，工件的被加工面平置于研磨盘上表面，研磨盘放置在研磨盘支撑板上，研磨盘支撑板连接主轴，工件由夹具和压头夹持；所述的平面研磨机还有对研磨盘冷却的研磨盘冷却机构，该研磨盘冷却机构包括一研磨盘支撑板，一循环盘，密封圈，接头、水嘴；循环盘固联于机座的上表面，研磨盘支撑板与循环盘固联，接头固联于机座的下部凸台之上，上述两两联接件间均置有密封圈；水嘴与接头相联；本发明的冷却回路不经过研磨盘表面，冷却液不会冲走研磨液，故不会影响游离研磨加工过程，流经研磨盘底的冷却液能及时的带走研磨盘各区域积聚的热量，能起到很好的冷却效果。
文档编号B24B37/04GK101407040SQ20081021902
公开日2009年4月15日 申请日期2008年11月11日 优先权日2008年11月11日
发明者宋月贤, 王成勇, 慧 袁, 陶玉志 申请人:广东工业大学