专利名称：镀膜线旋转靶水头轴套的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种镀膜线设备，特别是一种镀膜线旋转耙水头轴套。
技术背景
现有的镀膜线在工作时，旋转靶通电、旋转工作，由于通电会产生热量需 要通过水来冷却，而通过水冷却不仅需要一定量的水以及水的循环，还需要水 的密封性，现有的镀膜线旋转靶头，其水头轴套是由不锈钢材料制成的，并在 表面镀硬铬，能够防磨耐锈，但在工作时，由于和轴承以及密封圈之间的摩擦 会出现凹凸，使其使用寿命减少、冷却水泄漏，流入真空镀膜室，影响磁场， 另有采用原装进口的镀膜线，但这种成本较高，且因进口，不仅花费时间较长， 对生产造成很大的影响。 发明内容
本实用新型的目的是为了克服以上的不足，提供一种能提高靶材利用率， 减少成本、提高使用寿命、防止水泄漏和靶材打弧的镀膜线旋转靶水头轴套。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现 一种镀膜线旋转靶水头轴套， 包括壳体，壳体下端设有凸台，在凸台的下表面设有固定孔，凸台的外圆周上
设有圆弧凹槽壳体内部为空心结构，且壳体为2Crl3材料。
本实用新型与现有技术相比具有的优点耙材形式采用旋转耙，提高了靶
材的利用率，降低了成本，采用2Crl3材料不仅耐磨、防锈，硬度提高且使用
寿命提高，能够防止水泄漏和靶材打弧。
图1为本实用新型的结构示意图； 图中标号卜壳体、2-凸台、3-固定孔。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作 进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范 围的限定。
如图1示出了本实用新型镀膜线旋转靶水头轴套的一种实施方式，包括壳
体l，壳体1下端设有凸台2，凸台可为圆形，在凸台2的下表面设有四个固定 孔3，并均匀的分布在凸台的圆周上，在凸台的外圆周上设有圆弧凹槽4，可以 防止水泄漏，壳体内部为空心结构，且壳体为2Crl3材料。靶材形式采用旋转 靶，可以提高靶材的利用率，镀膜线在工作时，旋转靶通电、旋转工作，由于 通电会产生热量，就需要通水冷却，采用2Crl3材料先后进行调质、淬火处理， 最后进行镀硬铬，制成水头轴套，这样不仅硬度提高，且可以耐磨、防锈，提 高了镀膜线旋转水靶头的使用寿命，解决了水泄漏、靶材打弧等问题，且相对 于进口的镀膜线旋转水靶头节约了成本。
权利要求1、一种镀膜线旋转靶水头轴套，包括壳体(1)，其特征在于所述壳体(1)下端设有凸台(2)，所述凸台(2)的下表面设有固定孔(3)，所述凸台的外圆周上设有圆弧凹槽(4)，所述壳体(1)内部为空心结构。
2、 根据要求1所述镀膜线旋转靶水头轴套，其特征在于所述壳体(1)为2Crl3材料。
专利摘要本实用新型涉及一种镀膜线旋转靶水头轴套，包括壳体，壳体下端设有凸台，在凸台凸台的下表面设有固定孔，所述凸台的外圆周上设有圆弧凹槽，壳体内部为空心结构，且壳体为2Cr13材料。本实用新型具有提高靶材利用率，减少成本、提高使用寿命、防止水泄漏和靶材打弧的优点。
文档编号C23C14/34GK201406465SQ20092004381
公开日2010年2月17日 申请日期2009年5月25日 优先权日2009年5月25日
发明者俞立民, 王贤荣, 陈咏宁, 黄林冲 申请人:江苏蓝星玻璃有限公司