专利名称：一种反向连接提高固态源使用效率的方法
技术领域：
本发明属于固态源使用技术领域，具体涉及一种反向连接提高固态源使用效率的方法。
背景技术：
MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemical Vapor Deposition)的英文缩写。在MOCVD生产中，固体TiOn源使用效率低成为主要的问题，对于固态TMh源，其饱和蒸汽压的稳定性和使用效率一直是用户关注的焦点，对于传统源瓶， 当源的量多时，源瓶内的空间较小，上下的饱和蒸汽压基本相等而且稳定。当源瓶内源的量用到较少时，源瓶内空间较大，很难保证顶部和底部的饱和蒸汽压相同，此时顶部气体中源的饱和蒸汽压不稳定，导致源瓶中源的使用效率低。目前，提高效率方法主要有两种，第一种是采用不同设计的源瓶，第二种通过敲击源瓶来提高其使用效率，但这两种方法各有优缺点，第一种使用效率可达95%，但价格昂贵；第二种价格低，但使用效率最高到65%。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种反向连接提高固态源使用效率的方法，具有操作简单、不影响外延层的性能、适用范围广和固态源使用率高的特
点ο为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是一种反向连接提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤步骤1 当源瓶1内的固态源剩余量小于50%时，将源瓶1放入温度为20 35°C 的水浴槽中，当源瓶1内压力为750 850torr、源蒸汽流量为300 400sCCm的情况下，将源瓶1的载气进口 2、出口 3上手阀关掉；步骤2 将源瓶1的载气进口 2、出口 3反向对接，即将源瓶1的出口 3与载气出口 4相连通，将源瓶1的载气进口 2作为出口与管道5相连通，即将正常的低进高出换成高进低出。本发明基于传统源瓶，在其他条件不变的情况下，当源剩余量小于50%时，只需将源瓶的载气进出口反向对接，将正常的低进高出换成高进低出即可，利用底部载气管所在局部范围内饱和蒸汽压稳定，局部范围内饱和蒸汽压的范围为2. 5 3. Otorr，从而将传统源瓶的固态源的使用效率提高到80%以上，具有操作简单、不影响外延层的性能、适用范围广和固态源使用率高的特点。
附图为本发明方法示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。实施例一如附图所示，本实施例反向连接提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤步骤1 当源瓶1内的固态源剩余量为49%时，将源瓶1放入温度为20°C的水浴槽中，当源瓶1内压力为750torr、源蒸汽流量为300sCCm的情况下，将源瓶1的载气进口 2、 出口 3上手阀关掉；步骤2 将源瓶1的载气进口 2、出口 3反向对接，即将源瓶1的出口 3与载气出口 4相连通，将源瓶1的载气进口 2作为出口与管道5相连通，即将正常的低进高出换成高进低出。实施例二如附图所示，本实施例反向连接提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤步骤1 在源瓶1内的固态源剩余量为40%时，将源瓶1放入温度为的水浴槽中，当源瓶1内压力为SOOtorr、源蒸汽流量为360sCCm的情况下，将源瓶1的载气进口 2、 出口3上手阀关掉；步骤2 将源瓶1的载气进口 2、出口 3反向对接，即将源瓶1的出口 3与载气出口 4相连通，将源瓶1的载气进口 2作为出口与管道5相连通，即将正常的低进高出换成高进低出。实施例三如附图所示，本实施例反向连接提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤步骤1 在源瓶1内的固态源剩余量为20%时，将源瓶1放入温度为35°C的水浴槽中，当源瓶1内压力为850torr、源蒸汽流量为400sCCm的情况下，将源瓶1的载气进口 2、 出口 3上手阀关掉；步骤2 将源瓶1的载气进口 2、出口 3反向对接，即将源瓶1的出口 3与载气出口 4相连通，将源瓶1的载气进口 2作为出口与管道5相连通，即将正常的低进高出换成高进低出。
权利要求
1.一种反向连接提高固态源使用效率的方法，其特征在于包括以下步骤步骤1 当源瓶(1)内的固态源剩余量小于50%时，将源瓶(1)放入温度为20 35°C 的水浴槽中，当源瓶(1)内压力为750 850torr、源蒸汽流量为300 400SCCm的情况下， 将源瓶(1)的载气进口 O)、出口(3)上手阀关掉；步骤2:将源瓶⑴的载气进口 O)、出口(3)反向对接，即将源瓶⑴的出口(3)与载气出口⑷相连通，将源瓶⑴的载气进口⑵作为出口与管道(5)相连通，即将正常的低进高出换成高进低出。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于包括以下步骤步骤1 当源瓶(1)内的固态源剩余量为49%时，将源瓶(1)放入温度为20°C的水浴槽中，当源瓶(1)内压力为750torr、源蒸汽流量为300sCCm的情况下，将源瓶⑴的载气进口 O)、出口(3)上手阀关掉；步骤2:将源瓶⑴的载气进口 O)、出口(3)反向对接，即将源瓶⑴的出口(3)与载气出口⑷相连通，将源瓶⑴的载气进口⑵作为出口与管道(5)相连通，即将正常的低进高出换成高进低出。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于包括以下步骤步骤1 在源瓶⑴内的固态源剩余量为40%时，将源瓶⑴放入温度为的水浴槽中，当源瓶(1)内压力为SOOtorr、源蒸汽流量为360sCCm的情况下，将源瓶(1)的载气进口 O)、出口(3)上手阀关掉；步骤2 将源瓶(1)的载气进口 O)、出口(3)反向对接，即将源瓶(1)的出口(3)与载气出口⑷相连通，将源瓶⑴的载气进口⑵作为出口与管道(5)相连通，即将正常的低进高出换成高进低出。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于包括以下步骤步骤1 在源瓶(1)内的固态源剩余量为20%时，将源瓶(1)放入温度为35°C的水浴槽中，当源瓶(1)内压力为850torr、源蒸汽流量为400sCCm的情况下，将源瓶(1)的载气进口 O)、出口(3)上手阀关掉；步骤2:将源瓶⑴的载气进口 O)、出口(3)反向对接，即将源瓶⑴的出口(3)与载气出口⑷相连通，将源瓶⑴的载气进口⑵作为出口与管道(5)相连通，即将正常的低进高出换成高进低出。
全文摘要
一种反向连接提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤步骤1当源瓶内的固态源剩余量小于50％时，将源瓶放入温度为20～35℃的水浴槽中，当源瓶内压力为750～850torr、源蒸汽流量为300～400sccm的情况下，将源瓶的载气进口、出口上手阀关掉；步骤2将源瓶的载气进口、出口反向对接，即将源瓶的出口与载气出口相连通，将源瓶的载气进口作为出口与管道相连通，即将正常的低进高出换成高进低出；利用底部载气管所在局部范围内饱和蒸汽压稳定；该方法具有操作简单、不影响外延层的性能、适用范围广和固态源使用率高的特点。
文档编号C23C16/448GK102296282SQ201110260529
公开日2011年12月28日 申请日期2011年9月5日 优先权日2011年9月5日
发明者刘波波, 孟锡俊, 李培咸, 王旭明, 王晓波, 白俊春, 郭迟 申请人:西安中为光电科技有限公司