专利名称：化学气相沉积炉的制作方法
技术领域：
本发明涉及化学气相沉积技术的技术领域，特别提供了一种化学气相沉积炉。
背景技术：
现有技术中，气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口、模具等几部分，进气口在炉体底部或顶部，出气口通常与之相对，为使气相沉积均匀，进气口常采用同心圆筒的方式，模具对准进气口，且有齿轮使每一只吊挂的产品都进行自转。然而，当制作大尺寸的热解氮化硼制品时，容易导致锅底较厚，而侧壁较薄，同时由于原料气体在空间分布的不均匀，导致壁厚分布不均匀的现象时有发生。当同时制作多个热解氮化硼制品时，也容易导致导致壁厚分布不均匀。人们期望获得一种技术效果优良的化学气相沉积炉。
发明内容
本发明的目的在于提供一种技术效果优良的化学气相沉积炉。本发明具体提供了一种气相沉积炉，化学气相沉积炉，其由下述几部分构成炉体
I、进气口 2、出气口 3、模具4、旋转机构5以及发热体6 ;其中发热体6、进气口 2、出气口 3都布置在炉体I上，进气口 2设置在炉体I的上部，旋转机构5由转盘5. I、齿轮5. 2、连接轴5. 3、伞齿轮组5. 4、齿套5. 5以及电机5. 6组成，发热体6由感应线圈6. I、加热体6. 2以及石墨套筒6. 3组成；电机5. 6通过伞齿轮组5. 4与转盘5. I相连，齿轮5. 2共有5个且皆通过连接轴5. 3固定在转盘5. I上，且每个齿轮5. 2上都设置有一个模具4，模具随着齿轮
5.2的动作实现模具4在炉体I内的公转与自转；其特征在于所述旋转机构5设置在炉体I内的上端；进气口为三同心圆进气口。炉体I具体为双壁水冷炉体。该气相沉积炉的进气口为三同心圆进气口，在炉体I内或炉体I外设有旋转机构5，可以有多只产品模具4在炉体I内同时进行公转、自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼(PBN)制品，能够提高PBN产品质量及其生产效率，降低生产成本采用三同心圆进气可以使原料气体混合的更加均匀，致使气体不发生明显的偏析，使得大坩埚与一炉多只的小坩埚颜色均匀。三同心圆进气口对于生产大尺寸产品的效果比同心圆进气口更好。采用本发明提供的气相沉积炉制备而得的产品，尺寸一致、颜色归一、规格相同，在提闻广品合格率的同时，也大大提闻了其生广效率。
图I为一炉五只气相沉积炉结构图。
具体实施例方式实施例I如图I所示，一种气相沉积炉，化学气相沉积炉，其由下述几部分构成炉体I、进气口
2、出气口 3、模具4、旋转机构5以及发热体6 ;其中发热体6、进气口 2、出气口 3都布置在炉体I上，进气口 2设置在炉体I的上部，旋转机构5由转盘5. I、齿轮5. 2、连接轴5. 3、伞齿轮组5. 4、齿套5. 5以及电机5. 6组成，发热体6由感应线圈6. I、加热体6. 2以及石墨套筒6. 3组成；电机5. 6通过伞齿轮组5. 4与转盘5. I相连，齿轮5. 2共有5个且皆通过连接轴5. 3固定在转盘5. I上，且每个齿轮5. 2上都设置有一个模具4，模具随着齿轮5. 2的动作实现模具4在炉体I内的公转与自转；所述旋转机构5设置在炉体I内的上端；进气口为三同心圆进气口。 炉体I具体为双壁水冷炉体。
权利要求
1.化学气相沉积炉，其由下述几部分构成炉体(I)、进气口(2)、出气口(3)、模具(4)、旋转机构(5)以及发热体(6);其中发热体(6)、进气口(2)、出气口(3)都布置在炉体(I)上，进气口(2)设置在炉体(I)的上部，旋转机构(5)由转盘(5. I)、齿轮(5. 2)、连接轴(5. 3)、伞齿轮组(5. 4)、齿套(5. 5)以及电机(5. 6)组成，发热体(6)由感应线圈(6. I)、力口热体(6. 2)以及石墨套筒(6. 3)组成；电机(5. 6)通过伞齿轮组(5. 4)与转盘(5. I)相连，齿轮(5.2)共有5个且皆通过连接轴(5. 3 )固定在转盘(5. I)上，且每个齿轮(5.2)上都设置有一个模具4;其特征在于所述旋转机构(5)设置在炉体(I)内的上端；进气口为三同心圆进气口。
2.按照权利要求I所述化学气相沉积炉，其特征在于炉体I具体为双壁水冷炉体。
全文摘要
本发明的目的在于提供一种气相沉积炉，该气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具，进气口在炉体底部或顶部，其特征在于在炉体内或炉体外设有旋转机构，所述旋转机构由1~36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成，电机通过伞齿轮组与转盘相连，齿轮通过连接轴固定在转盘上，齿套在所有齿轮外围固定，并与齿轮啮合，转盘转动带动齿轮沿着圆盘式齿套旋转，每个齿轮上都吊挂或直立一个模具，模具随着齿轮的自转公转实现了产品在炉内的公转与自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼制品，能够提高PBN产品质量及其生产效率，降低生产成本。
文档编号C23C16/458GK102839361SQ201110324989
公开日2012年12月26日 申请日期2011年10月24日 优先权日2011年10月24日
发明者季历程 申请人:南通天华和睿科技创业有限公司