专利名称：一种应用于平板pecvd设备的石英管及其安装方法
技术领域：
本发明属于太阳能电池片生产的技术领域，尤其是涉及一种应用于PECVD设备的石英管及其安装方法。
背景技术：
平板等离子体增强化学气相沉积法(PEVQ), Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition)是硅太阳电池PEV⑶工艺的主要方法之一，在平板PECVD的过程中，是采用同轴的石英管系统来激发等离子体，通过一个内置同轴石英管与微波发射器相接后可在石英管上进行表面波放电，从而可以激发出高均匀的微波等离子体，或称之为大区域的线性微波等尚子体，同轴的石英管也称为微波源石英管。但是在平板PECVD 中，由于微波源石英管长时间处于400°C的高温和高功率放电的环境，石英管容易破裂，其密封圈容易烧焦变形，导致的沉积腔体内压强减小，出现腔体漏气，造成色差片，从而影响电池片的效率和合格率。因此为了解决漏气问题，必须打开腔体，更换石英管，然而更换石英管需要其从40(TC降至常温才能进行更换；而且在高温工作下，石英管表面会沉积氮化硅Si3N4, Si3N4硬度大导致更换时石英管容易崩裂，因此会将其敲碎，以便于拆卸，但是敲碎后容易产生Si3N4废渣和石英碎屑，会堵塞特气孔，对打扫增加了困难。
发明内容
本发明实施例提供了一种应用于平板PECVD设备的石英管的安装方法，包括:在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带；将铜质内导轴设置于所述石英玻璃管腔体内；在所述石英玻璃管的两端分别按次序装配零件；所述零件依次包括卡口锁定式机械装置、铝制环型止推轴、聚四氟乙烯环、第一聚氯丁橡胶密封圈、聚四氟乙烯环型止推轴、第二聚氯丁橡胶密封圈以及聚四氟乙烯托盘；使得所述石英管玻璃管两端的零件对称设置；所述铜质内导轴穿在石英玻璃管两端的聚四氟乙烯托盘的中间小孔上；使用酒精擦洗所述石英玻璃管；将装配好零件的石英玻璃管的两端分别推进与其两端装配零件相匹配的铝帽中。从以上技术方案可以看出，本发明实施例提供的一种应用于平板PECVD设备的石英管及其安装方法，在组装石英管前在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带，使得石英管受热膨胀均匀化；且在拆卸石英管的时候其胶带的缠绕使得Si3N4废渣和石英碎屑容易处理，拆卸更为方便。
图1为本发明实施例提供的一种应用于平板PECVD设备的石英管的安装方法流程示意图；图2为图1所提供的方法中石英玻璃管的缠绕高温胶带的示意图；图3为本发明实施例提供的一种应用于平板PECVD设备的石英管的结构示意图。
具体实施例方式本发明实施例提供了一种应用于平板PECVD设备的石英管及其安装方法，请参考图1，为安装方法的流程示意图，其步骤包括:S101、在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带；需要说明的是，耐高温胶带包括高聚酰亚胺膜或其他的耐高温胶带，主要是使得石英管受热膨胀均匀化；其缠绕方式可以采取螺旋缠绕或其他缠绕方法，如图2所示；S102、将铜质内导轴设置于石英玻璃管腔体内；S103、在石英玻璃管的两端分别按次序装配零件；零件依次包括卡口锁定式机械装置、铝制环型止推轴、聚四氟乙烯环、第一聚氯丁橡胶密封圈、聚四氟乙烯环型止推轴、第二聚氯丁橡胶密封圈以及聚四氟乙烯托盘；使得石英管玻璃管两端的零件对称设置；步骤S102与步骤S103可具体为:将铜质内导轴设置于石英玻璃管腔体内，并在石英玻璃管两端按次序地装配零件，需要说明的是，两端装配的零件是对称设置的，由里到外装配的零件依次是卡口锁定式机械装置、铝制环型止推轴、聚四氟乙烯环、第一聚氯丁橡胶密封圈、聚四氟乙烯环型止推轴、第二聚氯丁橡胶密封圈以及聚四氟乙烯托盘。其中，卡口锁定式机械装置是用于快速释放装置，将力传到至密封套件；铝制环型止推轴是用于保持卡口锁定装置向密封套件传送的力比较均衡一致；聚四氟乙烯环和聚四氟乙烯环型止推轴都是用于当卡口锁定装置旋转时防止扭矩力传送到石英管上引起扭曲；第一聚氯丁橡胶密封圈和第二聚氯丁橡胶密封圈都是用于密封，呈O型设置；S104、铜质内导轴穿在石英玻璃管两端的聚四氟乙烯托盘的中间小孔上；聚四氟乙烯托盘是为了把铜质内导轴定位于其中心位置，其中聚四氟乙烯托盘的厚度以可以根据不同长度的玻璃石英管而设定；S105、使用酒精擦洗石英玻璃管；S106、将装配好零件的石英玻璃管的两端分别推进与其两端装配零件相匹配的铝帽中；铝帽是为了将在石英玻璃管两端设置的零件罩住，业内通常是使用异丙醇将装配好的石英玻璃管推入准备好的铝罩中。本发明实施例提供的一种应用于平板PECVD设备的石英管的安装方法，在组装石英管前在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带，使得石英管受热膨胀均匀化；且在拆卸石英管的时候其胶带的缠绕使得Si3N4废渣和石英碎屑容易处理，拆卸更为方便。本发明实施例还提供了一种应用于平板PECVD设备的石英管，请参考图3，为所提供的石英管的结构示意图，包括:石英玻璃管(107)，铜质内导轴(108)；其中，石英玻璃管(107)外缠绕有一层耐高温胶带(111);铜质内导轴(108)设置于石英玻璃管(107)腔体内；石英玻璃管(107)的两端分别按次序装配有零件，并对称设置；零件依次包括卡口锁定式机械装置 (101)、铝制环型止推轴(102)、聚四氟乙烯环(103)、第一聚氯丁橡胶密封圈(104)、聚四氟乙烯环型止推轴(105)、第二聚氯丁橡胶密封圈(106)以及聚四氟乙烯托盘(109);铜质内导轴(108)穿在石英玻璃管(107)两端的聚四氟乙烯托盘(109)的中间小孔上；在装配好零件的石英玻璃管(107)的两端还分别设置有与其两端零件相匹配的铝帽(110)。
进一步地，耐高温胶带(111)包括高聚酰亚胺膜或其他的耐高温胶带。本发明实施例提供的一种应用于平板PECVD设备的石英管，其石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带，使得石英管在高温使用下受热膨胀均匀化；且在拆卸石英管的时候其胶带的缠绕使得Si3N4废渣和石英碎屑容易处理，拆卸更为方便。本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。以上对本发明所提供的一种应用于平板PECVD设备的石英管及其安装方法进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例的思想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处 ，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
权利要求
1.一种应用于平板PECVD设备的石英管的安装方法，其特征在于，包括: 在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带； 将铜质内导轴设置于所述石英玻璃管腔体内； 在所述石英玻璃管的两端分别按次序装配零件；所述零件依次包括卡口锁定式机械装置、铝制环型止推轴、聚四氟乙烯环、第一聚氯丁橡胶密封圈、聚四氟乙烯环型止推轴、第二聚氯丁橡胶密封 圈以及聚四氟乙烯托盘；使得所述石英管玻璃管两端的零件对称设置； 所述铜质内导轴穿在石英玻璃管两端的聚四氟乙烯托盘的中间小孔上； 使用酒精擦洗所述石英玻璃管； 将装配好零件的石英玻璃管的两端分别推进与其两端装配零件相匹配的铝帽中。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于: 所述耐高温胶带包括高聚酰亚胺膜耐高温胶带。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于: 所述第一聚氯丁橡胶密封圈与第二聚氯丁橡胶密封圈为O型设置。
4.一种应用于平板PECVD设备的石英管，其特征在于，包括: 石英玻璃管(107)，铜质内导轴(108)； 所述石英玻璃管(107)外缠绕有一层耐高温胶带(111); 所述铜质内导轴(108)设置于所述石英玻璃管(107)腔体内； 所述石英玻璃管(107)的两端分别按次序装配有零件，并对称设置；所述零件依次包括卡口锁定式机械装置(101)、铝制环型止推轴(102)、聚四氟乙烯环(103)、第一聚氯丁橡胶密封圈(104)、聚四氟乙烯环型止推轴(105)、第二聚氯丁橡胶密封圈(106)以及聚四氟乙烯托盘(109)； 所述铜质内导轴(108)穿在石英玻璃管(107)两端的聚四氟乙烯托盘(109)的中间小孔上； 在装配好零件的石英玻璃管(107)的两端还分别设置有与其两端装配零件相匹配的铝帽(110)。
5.根据权利要求4所述的石英管，其特征在于: 所述耐高温胶带(111)包括高聚酰亚胺膜耐高温胶带。
全文摘要
本发明实施例公开了一种应用于平板PECVD设备的石英管安装方法，包括在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带；将铜质内导轴设置于石英玻璃管腔体内；在石英玻璃管的两端分别按次序装配零件；使得石英管玻璃管两端的零件对称设置；铜质内导轴穿在石英玻璃管两端的聚四氟乙烯托盘的中间小孔上；使用酒精擦洗石英玻璃管；将装配好零件的石英玻璃管的两端分别推进与其两端装配零件相匹配的铝帽中，该方法使得石英管工作中受热膨胀均匀化，拆卸更方便。本发明实施例还提供了一种应用于平板PECVD设备的石英管。
文档编号C23C16/44GK103074594SQ20111032709
公开日2013年5月1日 申请日期2011年10月25日 优先权日2011年10月25日
发明者王竞争 申请人:浚鑫科技股份有限公司