复式高压真空镀膜机的制作方法

文档序号:3386482阅读:120来源:国知局
专利名称:复式高压真空镀膜机的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种新型的复式高压真空镀膜机。
背景技术
目前,在市面上所常见的多数为单放射环和普通电压的方式来实现清洗和镀膜,相比而言,清洗的不够彻底,镀膜度不高
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种新型的真空镀膜机,通过增加高压放射环和增加高压的方式通过放电轰击清洗模具夹具物体上面的附着物,达到清洗目的。为了解决上述问题,本实用新型采用以下技术方案,它由底盘(1)、大齿轮O)、小齿轮(3)、高压导线(4、5)、高压放射环(6、7)、支架(8)、模具夹具(9)、双层真空钟罩(10)、电极(11)、高压导线(1 和倍压变压器(1 组成,大齿轮O)、小齿轮(3)、及高压放射环(6,7)均固定在底盘(1)上,支架(8)固定在大齿轮( 上,模具夹具(9)固定在支架(8)的上方,通过高压导线(4、幻通电后高压放射环(6、7)放电并通过小齿轮C3)带动大齿轮O),进而带动模具夹具(9)进行旋转,通过倍压变压器(1 连接高压导线(1 通过电极
(11)实现双层真空钟罩(10)的开启与关闭,并放电轰击清洗模具夹具物体上面的附着物,达到清洗目的。本实用新型构思新颖,设计简单,便于操作使用,在低真空工作过程中,通过高压升压变压器,可完全实现对柱状晶体的灰尘的清理和对其晶体表面的镀膜,通过增加高压放射环,实现镀膜度和清洗度更高。

图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,本具体实施方式
它由底盘(1)、大齿轮(2)、小齿轮(3)、高压导线(4、5)、高压放射环(6、7)、支架(8)、模具夹具(9)、双层真空钟罩(10)、电极(11)、高压导线
(12)和倍压变压器(1 组成,大齿轮O)、小齿轮(3)、及高压放射环(6、7)均固定在底盘(1)上,支架(8)固定在大齿轮( 上,模具夹具(9)固定在支架(8)的上方,通过高压导线(4,5)通电后高压放射环(6、7)放电并通过小齿轮C3)带动大齿轮O),进而带动模具夹具
(9)进行旋转,通过倍压变压器(13)连接高压导线(12)通过电极(11)实现双层真空钟罩
(10)的开启与关闭,并放电轰击清洗模具夹具物体上面的附着物,达到清洗目的。本具体实施方式
中,增加高压放射环和增加高压的方式通过放电轰击清洗模具夹具物体上面的附着物,达到清洗目的。
权利要求1.复式高压真空镀膜机,其特征在于它由底盘(1)、大齿轮(2)、小齿轮(3)、高压导线(4,5)、高压放射环(6,7)、支架(8)、模具夹具(9)、双层真空钟罩(10)、电极(11)、高压导线(12)和倍压变压器(1 组成,大齿轮O)、小齿轮(3)、及高压放射环(6、7)均固定在底盘(1)上,支架(8)固定在大齿轮( 上,模具夹具(9)固定在支架(8)的上方,通过高压导线(4,5)通电后高压放射环(6、7)放电并通过小齿轮C3)带动大齿轮O),进而带动模具夹具(9)进行旋转,通过倍压变压器(13)连接高压导线(12)通过电极(11)实现双层真空钟罩(10)的开启与关闭,并放电轰击清洗模具夹具物体上面的附着物,达到清洗目的。
专利摘要复式高压真空镀膜机,其特征在于它由底盘(1)、大齿轮(2)、小齿轮(3)、高压导线(4、5)、高压放射环(6、7)、支架(8)、模具夹具(9)、双层真空钟罩(10)、电极(11)、高压导线(12)和倍压变压器(13)组成,大齿轮(2)、小齿轮(3)、及高压放射环(6、7)均固定在底盘(1)上,支架(8)固定在大齿轮(2)上,模具夹具(9)固定在支架(8)的上方,通过高压导线(4、5)通电后高压放射环(6、7)放电并通过小齿轮(3)带动大齿轮(2),进而带动模具夹具(9)进行旋转,通过倍压变压器(13)连接高压导线(12)通过电极(11)实现双层真空钟罩(10)的开启与关闭,并放电轰击清洗模具夹具物体上面的附着物,达到清洗目的。本实用新型构思新颖,设计简单,便于操作使用,在低真空工作过程中,通过高压升压变压器,可完全实现对柱状晶体的灰尘的清理和对其晶体表面的镀膜,通过增加高压放射环,实现镀膜度和清洗度更高。
文档编号C23C14/02GK202322977SQ20112044652
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月2日 优先权日2011年11月2日
发明者刘红亮 申请人:刘红亮
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