专利名称：多枪头电子枪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及电子束蒸发技术领域，特别涉及一种多枪头电子枪。
背景技术：
电子枪是产生电子束的部件，由直线状螺旋钨阴极、栅极和阳极组成。其原理是阴极和栅极处于相同的负电位，阳极接地电位。阴极由交流供电加热，使之发射电子，电子受栅极电位的影响，在阳极电压加速下形成会聚的电子束。在磁场的作用下，电子束得到进一步聚焦并偏转270°或180°射入装有被镀膜料的坩埚中，其动能变成热能使材料蒸发沉积于基片上，达到所需膜层的要求。目前常用的电子枪都是由一个坩埚和一个电子枪头组成的，该结构的电子枪使用时，其镀膜效率较低；尤其是当工件的膜层较为复杂或者所需镀膜材料较多时，该结构的电子枪无法适用于其镀膜工艺。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种镀膜效率较高、适用范围较广的多枪头电子枪。本实用新型的技术方案为一种多枪头电子枪，包括坩埚、坩埚挡板和多个电子枪头，坩埚挡板设于坩埚上方，多个电子枪头均匀分布于坩埚的圆周方向上，坩埚中心外接坩埚转动组件。作为一种优选技术方案，所述电子枪头有4个，各电子枪头分别设于坩埚的圆周边缘上。所述坩埚转动组件包括电机和转动轴，转动轴一端与坩埚底部连接，转动轴另一端通过齿轮组与电机的输出端连接。所述转动轴与坩埚底部的相接处还设有转动密封座。本多枪头电子枪使用时，其原理是电机通过转动轴驱动坩埚转动，多个电子枪头同时发射电子束，各电子束分别射入坩埚上相应的部分，使镀膜材料蒸发沉积于工件上。该过程由于多个电子枪头同时工作，可提高镀膜效率，同时可在坩埚中设置不同的镀膜材料，以适应所需膜层较为复杂或镀膜材料较多的工件。根据坩埚的实际大小或所设镀膜材料的种类，电子枪头的个数可进行调整。多个电子枪头同时工作时，为避免各电子枪头的磁场之间相互干扰，可通过调节各电子枪头所对应的电源，以屏蔽各电子枪头的磁场之间所产生的干扰。本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果本多枪头电子枪结构简单，在传统电子枪的基础上进行改进，在同一坩埚上设置多个电子枪头，可有效提高镀膜效率，同时，电子枪头的个数也可根据坩埚的实际尺寸进行设置，使用灵活方便。另外，当工件的膜层较为复杂或者所需镀膜材料较多时，本多枪头电子枪由于其电子枪头的个数可进行调整，因此可较好的适用于各种工件镀膜，其适用范围较广。
图I为本多枪头电子枪的结构示意图。图2为图I的A向视图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。实施例本实施例一种多枪头电子枪，其结构如图I或图2所示，包括坩埚I、坩埚挡板2和 多个电子枪头3，坩埚挡板2设于坩埚I上方，多个电子枪头3均匀分布于坩埚I的圆周方向上，坩埚中心外接坩埚转动组件。本实施例中，电子枪头有4个，各电子枪头分别设于坩埚的圆周边缘上。如图I所示，坩埚转动组件包括电机4和转动轴5，转动轴5 —端与坩埚I底部连接，转动轴5另一端通过齿轮组与电机4的输出端连接。转动轴5与坩埚I底部的相接处还设有转动密封座6。本多枪头电子枪使用时，其原理是电机通过转动轴驱动坩埚转动，多个电子枪头同时发射电子束，各电子束分别射入坩埚上相应的部分，使镀膜材料蒸发沉积于工件上。该过程由于多个电子枪头同时工作，可提高镀膜效率，同时可在坩埚中设置不同的镀膜材料，以适应所需膜层较为复杂或镀膜材料较多的工件。根据坩埚的实际大小或所设镀膜材料的种类，电子枪头的个数可进行调整。多个电子枪头同时工作时，为避免各电子枪头的磁场之间相互干扰，可通过调节各电子枪头所对应的电源，以屏蔽各电子枪头的磁场之间所产生的干扰。如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
权利要求1.多枪头电子枪，其特征在于，包括坩埚、坩埚挡板和多个电子枪头，坩埚挡板设于坩埚上方，多个电子枪头均匀分布于坩埚的圆周方向上，坩埚中心外接坩埚转动组件。
2.根据权利要求I所述的多枪头电子枪，其特征在于，所述电子枪头有4个，各电子枪头分别设于坩埚的圆周边缘上。
3.根据权利要求I所述的多枪头电子枪，其特征在于，所述坩埚转动组件包括电机和转动轴，转动轴一端与坩埚底部连接，转动轴另一端通过齿轮组与电机的输 出端连接。
4.根据权利要求3所述的多枪头电子枪，其特征在于，所述转动轴与坩埚底部的相接处还设有转动密封座。
专利摘要本实用新型公开一种多枪头电子枪，包括坩埚、坩埚挡板和多个电子枪头，坩埚挡板设于坩埚上方，多个电子枪头均匀分布于坩埚的圆周方向上，坩埚中心外接坩埚转动组件。本多枪头电子枪结构简单，在传统电子枪的基础上进行改进，在同一坩埚上设置多个电子枪头，可有效提高镀膜效率，同时，电子枪头的个数也可根据坩埚的实际尺寸进行设置，使用灵活方便。另外，当工件的膜层较为复杂或者所需镀膜材料较多时，本多枪头电子枪由于其电子枪头的个数可进行调整，因此可较好的适用于各种工件镀膜，其适用范围较广。
文档编号C23C14/30GK202465854SQ20112057625
公开日2012年10月3日 申请日期2011年12月31日 优先权日2011年12月31日
发明者朱刚劲, 朱刚毅, 朱文廓 申请人:肇庆市腾胜真空技术工程有限公司