专利名称：一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置的制作方法
技术领域：
本发明属于真空镀膜技术领域，涉及一种真空镀膜领域的真空辅助部件，具体涉及一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置。
背景技术：
当前，随着科学技术的发展，真空沉积的多层膜器件层出不穷，器件的生产过程中多层膜要求不脱离真空环境或保护气体的环境进行清洗、光刻、检测和封装等多种操作；手套箱可以使器件不脱离真空环境或保护气体的环境进行清洗、光刻、检测和封装等多种操作；这样就需要使多层膜器件在真空室与手套箱之间传递，手套箱与真空室之间的过渡室·保证了器件在转移过程中不脱离真空环境。现有的过渡室大多采用直杆机械手方式或采用齿轮带动齿条再带动载器件的小车的方式，把器件从一个室取出再送人另一个室，这些方式不可避免的使过渡室体积较大，占地面积大；工作时，由于过渡室体积大,导致真空抽气的时间较长,并且需要充入较大量的保护气体，造成资源的浪费。
发明内容
本发明的目的在于提出了一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置，解决现有技术中过渡室体积庞大而导致的抽气时间较长的问题，并且避免资源的浪费。为实现上述目的，本发明的传递装置包括转移机构及托板；所述托板的右端部固定在所述转移机构左端部的连接轴上，所述转移机构可带动托板移动，所述转移机构与所述托板整体位于过渡室中，所述转移机构右端与过渡室壁的右侧连接，过渡室右端与手套箱连接、左端通过插板阀与真空室接口连接。所述转移机构为X杆机构，所述手套箱箱口处装有真空夹阀。所述真空室接口内装有前滑道，过渡室内装有后滑道，所述前滑道及所述后滑道在同一条直线上，所述托板可在所述前滑道及所述后滑道上滑动。所述过渡室的前后两面壁上同轴安有前收放轴座和后收放轴座，在这两个轴座中安装有可旋转的收放轴；所述收放轴上套有正螺纹滑块和反螺纹滑块，所述正螺纹滑块与所述反螺纹滑块与收放轴中部的正反螺纹配合，所述正螺纹滑块与所述反螺纹滑块通过支板轴分别与所述X杆机构右端部的两个交叉的支板连接。所述过渡室壁上装有排气口和充气口。所述真空夹阀包括动紧板、定紧板以及偏心扳手；所述动紧板和所述定紧板的外径同手套箱箱口的内径间隙配合；所述动紧板中心的轴穿过定紧板，并且与偏心扳手通过拉紧轴相连，旋动所述偏心扳手可以使动紧板和定紧板贴紧和松开；所述动紧板和所述定紧板对应边缘各有一个斜面夹有密封圈，当动紧板和定紧板贴紧时，密封圈挤出并与手套箱箱口的壁贴紧实现真空密封。所述传递装置安装过程中整体保证真空密封。
本发明的有益效果本发明的传递装置通过X杆机构的伸缩实现器件在真空室与手套箱之间的传递，减小了过渡室的体积，缩短了工作时真空抽气时间，减少了保护气体的冲入量，避免了资源的浪费。
图I为本发明的传递装置收回状态时的剖视图；图2为本发明的床底装置送出状态时的剖视图；其中1、真空室壁，2、真空室接口，3、前滑道，4、插板阀，5、托板，6、排气口，7、后滑道，8、充气口，9、连接轴，10、支板轴，11、前收放轴座，12、正螺纹滑块，13、手套箱，14、收放轴，15、偏心扳手，16、拉紧轴，17、动紧板，18、定紧板，19、弹簧，20、密封圈，21、旋钮，22、后收放轴座，23、反螺纹滑块，24、支板。
具体实施例方式下面结合附图对本发明作进一步描述。实施例一参见附图1、2，本发明的传递装置中插板阀4的一面与真空室接口 2连接，另一面和过渡室的一个口相连接。过渡室的另一个口与手套箱13相连接。所述过渡室的内径100mm，长200mm。在真空室接口 2内装有前滑道3，在过渡室内装有后滑道7，它们共同保证了托板5在其中顺利地直线滑动。在过渡室壁上装有排气口 6和充气口 8，用以抽出过渡室的气体和充入保护气体，它们都装有阀门。同时，在过渡室的前后两面壁上同轴安有前收放轴座11和后收放轴座22，在这两个轴座中装有可旋转的收放轴14，它们要保证真空密封。收放轴14的直径为8mm。收放轴14的中部有对应的正反螺纹，在正反螺纹部分分别装有可滑动的正螺纹滑块12和反螺纹滑块23。本发明的传递装置中的转移机构为X杆机构，由6个长为9mm的支板、2个长为5mm支板组成，在X杆机构的最前端装有托板连接轴9同虚线显示的托板5相连接；在旋动旋钮21时，收放轴14带动正螺纹滑块12和反螺纹滑块23离开或靠近，再由支板轴10和支板24组成的菱形机构使托板连接轴9伸出或缩回移动，也就带动了虚线显示的托板5伸出或缩回移动。虚线显示的送出托板5即可带动其上面的样品托和样品伸出真空室壁I。本实例可以使送出托板5带动其上面的样品托和样品伸出真空室壁I达140_。在手套箱口装有真空夹阀，其结构是动紧板17和定紧板18的外径同手套箱口的内径间隙配合，直径为100mm。动紧板17和定紧板18对应边缘各有一个斜面夹有一个8mm粗的密封圈20，动紧板17中心有一轴穿过定紧板18，这一轴又由拉紧轴16同偏心扳手15相连，扳动偏心扳手15可以使动紧板17和定紧板18贴紧和放松。在动紧板17和定紧板18贴紧时，它们将密封圈20挤出和手套箱口的壁贴紧来达到真空密封；而在动紧板17和定紧板18松开时，再加有3个弹簧19的涨力，动紧板17和定紧板18便分开，使将密封圈20回缩不再和手套箱口的壁贴紧了，即可以拿下真空夹阀，在送取托板5上放上或取下样品托和样品。其工艺过程是在插板阀4、排气阀、充气阀和夹板阀都关闭的情况下，如要向真空室送入样品。首先，打开排气阀对过渡室抽真空，之后关闭排气阀，打开充气阀充入和手套箱内同样的、同压力的保护气体，如氮气。这时，即可关闭充气阀，扳动夹板阀上的偏心扳手15使动紧板17和定紧板18松开，拿下夹板阀。装入并固定样品和样品托在托板5上。装上夹板阀，推下夹板阀上的偏心扳手15,使动紧板17和定紧板18夹紧，密封圈20挤出和手套箱口的壁贴紧。打开排气阀对过渡室抽真空，达到一定真空度时，即可关闭排气阀，打开插板阀4。旋动旋钮21，使收放轴14带动正螺纹滑块12和反螺纹滑块23靠近，支板轴10同支板24组成的X杆机构使托板连接轴9伸出，带动了虚线显示的托板5的伸出。虚线显示的托板5即可带动其上面的样品托和样品伸出真空室壁1，完成了送出传递的过程。取出的过程相反，即收回送取托板5和其上面的样品托和样品，关闭插板阀4，打开充气阀充入和手套箱内同样的同压力的保护气体，这时即可扳动夹板阀上的偏心扳手15使动紧板17和定紧板18松开，拿下夹板阀，取出样品托和样品。所述传递装置安装过程中整体保证真空密封。
实施例二 本实施例与实施例一的区别在于所述弹簧19的个数还可以是大于3的整数。以上为本发明的具体实施方式
，但决非对本发明的限制。
权利要求
1.一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置，其特征在于，包括转移机构及托板(5);所述托板(5)的右端部固定在所述转移机构左端部的连接轴(9)上，所述转移机构可带动托板(5)移动，所述转移机构与所述托板(5)整体位于过渡室中，所述转移机构右端与过渡室壁的右侧连接，过渡室右端与手套箱(13)连接、左端通过插板阀(4)与真空室接ロ(2)连接。
2.根据权利要求I所述的传递装置，其特征在于，所述转移机构为X杆机构，所述手套箱(13 )箱ロ处装有真空夹阀。
3.根据权利要求I所述的传递装置，其特征在于，所述真空室接ロ(2)内装有前滑道(3)，过渡室内装有后滑道(7)，所述前滑道(3)及所述后滑道(7)在同一条直线上，所述托板(5 )可在所述前滑道(3 )及所述后滑道(7 )上滑动。
4.根据权利要求2所述的传递装置，其特征在于，所述过渡室的前后两面壁上同轴安有前收放轴座(11)和后收放轴座(22)，在这两个轴座中安装有可旋转的收放轴(14);所述收放轴(14)上套有正螺纹滑块(12)和反螺纹滑块(23)，所述正螺纹滑块(12)与所述反螺纹滑块(23)与收放轴(14)中部的正反螺纹配合，所述正螺纹滑块(12)与所述反螺纹滑块(23)通过支板轴(10)分别与所述X杆机构右端部的两个交叉的支板(24)连接。
5.根据权利要求I所述的传递装置，其特征在于，所述过渡室壁上装有排气ロ(6)和充气ロ(8)。
6.根据权利要求2所述的传递装置，其特征在于，所述真空夹阀包括动紧板(17)、定紧板(18)以及偏心扳手(15);所述动紧板(17)和所述定紧板(18)的外径同手套箱(13)箱ロ的内径间隙配合；所述动紧板(17)中心的轴穿过定紧板(18)，并且与偏心扳手(15)通过拉紧轴(16)相连，旋动所述偏心扳手(15)可以使动紧板(17)和定紧板(18)贴紧和松开；所述动紧板(17)和所述定紧板(18)对应边缘各有ー个斜面夹有密封圈(20)，当动紧板(17)和定紧板(18)贴紧时，密封圈(20)挤出并与手套箱(13)箱ロ的壁贴紧实现真空密封。
全文摘要
一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置，属于真空镀膜技术领域，涉及一种真空镀膜领域的真空辅助部件，目的在于解决现有技术中过渡室体积庞大而导致的抽气时间较长的问题，并且避免了资源的浪费。包括转移机构及托板；所述托板的右端部固定在所述转移机构左端部的连接轴上，所述转移机构可带动托板伸缩，所述转移机构与所述托板整体位于过渡室中，所述转移机构右端与过渡室壁的右侧连接，过渡室右端与手套箱连接、左端通过插板阀与真空室接口连接，所述转移机构为X杆机构，所述手套箱箱口处装有真空夹阀。通过X杆机构实现器件在真空室与手套箱之间的传递，减小了过渡室的体积，缩短了抽气时间，减少了保护气体的冲入量。
文档编号C23C14/00GK102851637SQ20121037004
公开日2013年1月2日 申请日期2012年9月27日 优先权日2012年9月27日
发明者刘星元, 林杰, 李会斌 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所