真空镀膜机的制作方法

文档序号:3278308阅读:130来源:国知局
专利名称:真空镀膜机的制作方法
技术领域
本实用新型涉及镀膜技术领域,特别涉及一种真空镀膜机。
背景技术
现有技术下的真空镀膜机镀膜厚度不易控制,其镀膜的质量及膜层的附着度不闻,易脱落。

实用新型内容针对现有技术的不足,本实用新型提供一种真空镀膜机。为了实现上述目的,本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:真空镀膜机,包括箱体,所述箱体内设置有真空镀膜室,所述箱体上设置有抽真空接口,所述箱体顶端设置有蒸发控制系统控制器、膜厚控制系统控制器、温度控制系统控制器,所述蒸发控制系统控制器与设置在真空镀膜室内的电弧蒸发装置连接,所述温度控制系统控制器与设置在箱体内的加热器及测温器电连接,所述膜厚控制系统控制器与蒸发装置及设置在真空镀膜室内中部的挡板的驱动装置连接,所述箱体一侧开设有密封门。所述箱体的底部四角上设置有万向轮。所述的万向轮上带有刹车装置。本实用新型的有益效果:本实用新型提供的真空镀膜机镀膜质量监控及调节系统比较完善,使镀膜层质量提高,不易脱落。

图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
真空镀膜机,包括箱体1,所述箱体I内设置有真空镀膜室,所述箱体I上设置有抽真空接口 2,所述箱体顶端设置有蒸发控制系统控制器3、膜厚控制系统控制器4、温度控制系统控制器5,所述蒸发控制系统控制器3与设置在真空镀膜室内的电弧蒸发装置连接,所述温度控制系统控制器5与设置在箱体I内的加热器及测温器电连接,所述膜厚控制系统控制器4与蒸发装置及设置在真空镀膜室内中部的挡板的驱动装置连接,所述箱体I 一侧开设有密封门6。所述箱体I的底部四角上设置有万向轮7。所述的万向轮7上带有刹车装置。
权利要求1.真空镀膜机,包括箱体(I),所述箱体(I)内设置有真空镀膜室,所述箱体(I)上设置有抽真空接口(2),其特征在于,所述箱体顶端设置有蒸发控制系统控制器(3)、膜厚控制系统控制器(4)、温度控制系统控制器(5),所述蒸发控制系统控制器(3)与设置在真空镀膜室内的电弧蒸发装置连接,所述温度控制系统控制器(5)与设置在箱体(I)内的加热器及测温器电连接,所述膜厚控制系统控制器(4)与蒸发装置及设置在真空镀膜室内中部的挡板的驱动装置连接,所述箱体(I) 一侧开设有密封门(6 )。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述箱体(I)的底部四角上设置有万向轮(7)。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜机,其特征在于:所述的万向轮(7)上带有刹车装置。
专利摘要真空镀膜机,包括箱体,所述箱体内设置有真空镀膜室,所述箱体上设置有抽真空接口,所述箱体顶端设置有蒸发控制系统控制器、膜厚控制系统控制器、温度控制系统控制器,所述蒸发控制系统控制器与设置在真空镀膜室内的电弧蒸发装置连接,所述温度控制系统控制器与设置在箱体内的加热器及测温器电连接,所述膜厚控制系统控制器与蒸发装置及设置在真空镀膜室内中部的挡板的驱动装置连接,所述箱体一侧开设有密封门。所述箱体的底部四角上设置有万向轮。所述的万向轮上带有刹车装置。本实用新型的有益效果本实用新型提供的真空镀膜机镀膜质量监控及调节系统比较完善,使镀膜层质量提高,不易脱落。
文档编号C23C14/24GK203007387SQ201220720688
公开日2013年6月19日 申请日期2012年12月24日 优先权日2012年12月24日
发明者郑维隆, 郑裕泡, 李初转, 金影群, 刘中位 申请人:温州百盛工艺品有限公司
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