一种单晶硅片制绒添加剂、制绒液及对应的制绒方法
【专利摘要】本发明提供一种单晶硅片制绒添加剂、制绒液及对应的制绒方法。现有技术采用硅酸钠等作为单晶硅片制绒添加剂,硅片脱泡性能不佳只能通过增加脱泡有机溶剂量来确保脱泡效果,造成成本高且制绒后期的金字塔绒面较大且密度不均。本发明的单晶硅片制绒添加剂包括松油醇、聚乙二醇醚、乳酸、乙酸钠、碱。本发明的单晶硅片制绒液包括上述单晶硅片制绒添加剂和制绒原液,所述制绒原液包括碱、脱泡有机溶剂和去离子水。本发明的单晶硅片制绒方法先提供上述单晶硅片制绒液,再将其恒温至75-85℃且将单晶硅片放置至其中进行10-20min的制绒,最后使用去离子水清洗制绒后的单晶硅片。本发明可有效减小金字塔绒面尺寸、提高工艺稳定性、一致性和绒面密度、降低生产成本。
【专利说明】—种单晶硅片制绒添加剂、制绒液及对应的制绒方法【技术领域】
[0001]本发明涉及太阳电池制造领域,特别涉及一种单晶硅片制绒添加剂、制绒液及对应的制绒方法。
【背景技术】
[0002]晶硅太阳电池仍在光伏行业中居于主流地位,晶硅太阳电池的制备过程包括以下步骤:(1)化学制绒及清洗;(2)扩散制备PN结;(3)刻蚀去边以及清洗;(4)制备减反射膜;(5)丝网印刷电极并烧结;(6)电池测试分拣。上述第一步中的化学制绒是在硅片表面上形成绒面并去除硅片切割时形成的损伤层,单晶硅片通常采用碱性腐蚀液在其表面形成减反效果较好的金字塔绒面,所述碱性腐蚀液主要包括碱(可为氢氧化钠(NaOH)或者氢氧化钾(Κ0Η))、脱泡有机溶剂(可为异丙醇(IPA)或者乙醇,使用IPA效果更佳)、制绒添加剂(Additive)和去离子水等,其中碱的质量百分比浓度为0.5-3%,脱泡有机溶剂的质量百分比浓度为1% _5%,制绒添加剂的质量百分比浓度为0.1_1%,制绒温度通常控制在75-85°C。碱性腐蚀液利用较低碱浓度时单晶硅(111)晶向和(100)晶向不同的腐蚀速率(也称之为各向异性),制备出金字塔绒面,脱泡有机溶剂和制绒添加剂对单晶硅片的绒面质量影响较大。
[0003]单晶硅片制绒过程中,主要的化学反应如下:
[0004]
【权利要求】
1.一种单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述添加剂包括松油醇和聚乙二醇醚。
2.根据权利要求1所述的单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,该添加剂还包括乳酸、乙酸钠和碱,所述松油醇、聚乙二醇醚、乳酸、乙酸钠、碱的质量百分比浓度分别为0.1-3%,.0.1-5%,0.01-5%,0.01-5%和 0.1-2
3.根据权利要求2所述的单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述碱为氢氧化钠,所述松油醇、聚乙二醇醚、乳酸、乙酸钠、氢氧化钠的质量百分比浓度分别为0.0.05%,0.1%和 .2.0%o
4.根据权利要求2所述的单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述碱为氢氧化钠,所述松油醇、聚乙二醇醚、乳酸、乙酸钠、氢氧化钠的质量百分比浓度分别为I %、I %或2 %、.0.1%,0.1%和 2.0%。
5.一种单晶硅片制绒液,其特征在于,包括权利要求1至4任一项所述的单晶硅片制绒添加剂和单晶硅片制绒原液,所述制绒原液包括碱、脱泡有机溶剂和去离子水。
6.根据权利要求5所述的单晶硅片制绒液,其特征在于,所述单晶硅片制绒添加剂与制绒原液的体积配比范围为1: 400-600,所述脱泡有机溶剂为异丙醇或乙醇,所述碱为氢氧化钠或氢氧化钾。
7.根据权利要求6所述的单晶硅片制绒液,其特征在于,所述单晶硅片制绒添加剂与制绒原液的体积配比范围为1: 500,所述脱泡有机溶剂为异丙醇,所述碱为氢氧化钠。
8.根据权利要求7所述的单晶硅片制绒液,其特征在于,所述单晶硅片制绒添加剂为.0.2L,其中松油醇、聚乙二醇醚、乳酸、乙酸钠、氢氧化钠的质量百分比浓度分别为0.5%、.0.3%,0.05%,0.1%和2.0% ;所述单晶硅片制绒原液为100L,其中氢氧化钠、异丙醇的质量百分比浓度分别为1.5%和2%。
9.根据权利要求7所述的单晶硅片制绒液,其特征在于,所述单晶硅片制绒添加剂为.0.2L,其中松油醇、聚乙二醇醚、乳酸、乙酸钠、氢氧化钠的质量百分比浓度分别为1%、1%或2%、0.1%>0.1%和2.0% ;所述单晶硅片制绒原液为100L,其中氢氧化钠、异丙醇的质量百分比浓度分别为1.5%和2%。
10.一种单晶硅片制绒方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:a、提供权利要求5至9中任一项所述的单晶硅片制绒液;b、将所述单晶硅片制绒液恒温至75-85°C ;c、将单晶硅片放置至所述单晶硅片制绒液中进行10-20min的制绒;d、使用去离子水清洗制绒后的单晶娃片O
【文档编号】C23F1/32GK103938276SQ201310029560
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2013年1月23日 优先权日:2013年1月23日
【发明者】何悦, 何双权, 李志刚 申请人:尚德太阳能电力有限公司, 无锡尚德太阳能电力有限公司