组合式遮罩的制作方法
【专利摘要】本发明是关于一种组合式遮罩，其包含四个主架板，该四个主架板呈纵横搭接而构成一内有主矩形镀膜区的矩形框架，主架板一侧可形成平齐的被镀物接触面，借此，使其能组成一具有大面积镀膜区的遮罩外，并能利用条状主架板易于制得、不浪费材料的特点，达到节省制造材料及降低成本的功效，且该组合式遮罩的被镀物接触面平齐，能够尽可能贴合于被镀物表面，于镀膜沉积工艺中，能够有效防止蒸镀或溅镀的镀膜材料穿过该组合式遮罩与被镀物间的间隙，避免造成镀膜图案失真的情况。
【专利说明】组合式遮罩【技术领域】
[0001]本发明关于一种遮罩，尤指一种应用于如溅镀或蒸镀等镀膜沉积工艺领域的组合式遮罩。
【背景技术】
[0002]在镀膜沉积工艺中，为使沉积材料精确地沉积于基材的预定位置形成特定形状的镀膜，在沉积材料源与基材之间即会装设遮罩，借以在沉积材料源经由热蒸发或高能量离子撞击而使沉积材料中原子或分子解离时，利用遮罩上所设的镀膜区位孔，使解离的沉积材料中原子或分子的一部分通过遮罩中的镀膜区位孔，而沉积于基材表面预定位置形成特定形状的镀膜，其余的沉积材料原子或分子则因遮罩的遮蔽而被阻隔，如此，达到控制基材沉积的镀膜位置及形状的目的。
[0003]现今如液晶显示面板等电子产品朝向大尺寸方向发展，基于大尺寸液晶显示面板于镀膜沉积工艺的需求，镀膜沉积工艺使用的遮罩也相对的加大其尺寸，但是目前一般常用的遮罩均为一体成形式的构造，亦遮罩于制造时，即需自一大面积的基材中切割出预定形状的遮罩，因此，该一体成型式遮罩的制造存在有浪费材料的问题。再者，大尺寸一体成型遮罩的生产制造极为困难，除了材料不易取得问题外，所有使用的生产设备皆需等比例的放大,造成设备投资成本极大、生产成本极高。
【发明内容】
[0004]本发明的目的，即是为了解决现有一体成形式遮罩制造浪费材料、制造困难与成本高等问题，而提供一种组合式遮罩。
[0005]上述本发明的目的，是由以下的技术方案所实现的:
[0006]一种组合式遮罩，其特征在于，包含四个主架板，该四个主架板纵横搭接而构成一内有主矩形镀膜区的矩形框架。
[0007]如上所述的组合式遮罩的所述四个主架板的一侧形成平齐的被镀物接触面。
[0008]如上所述的组合式遮罩的所述四个主架板于其邻近末端的搭接部位分别形成对应主架板宽度的搭接槽，每两个主架板间利用彼此的搭接槽对应搭接组合。
[0009]如上所述的组合式遮罩的所述四个主架板中，部分主架板为第一主架板，其余主架板为第二主架板，其中第二主架板厚度大于第一主架板厚度，所述第二主架板于其邻近末端的搭接部位形成对应于第一主架板宽度及厚度的搭接槽，第二主架板以其搭接槽搭接于第一主架板上而与第一主架板组合。
[0010]如上所述的组合式遮罩，还包含至少一次架板，所述次架板架设于该四个主架板搭接组成的矩形框体上 ，将主架板圈围成的主矩形镀膜区划分为多个呈矩阵排列的次矩形镀膜区，且所述次架板的一侧与所述主架板组合后形成的所述被镀物接触面平齐。
[0011]在本发明包含次架板的一种实施例中，所述的组合式遮罩的所述次架板为多个，该多个次架板平行排列地搭设于所述四个主架板搭接组成的矩形框架中。[0012]如上所述的组合式遮罩，所述主架板于其邻近末端的搭接部位分别形成对应主架板宽度的搭接槽，每两个主架板间利用彼此的搭接槽对应搭接组合。
[0013]如上所述的组合式遮罩，所述四个主架板中，部分主架板为第一主架板，其余主架板为第二主架板，且至少具有两相对排列的第二主架板，第二主架板厚度大于第一主架板厚度，所述第二主架板于其邻近末端的搭接部位形成对应于第一主架板宽度及厚度的搭接槽，第二主架板以其搭接槽搭接于第一主架板上而与第一主架板组合。
[0014]如上所述的组合式遮罩，所述主架板与次架板间的搭接部位中，主架板中形成对应于次架板宽度的搭接槽，所述次架板两端邻近末端形成对应主架板宽度的搭接槽，主架板与次架板间借由相应的搭接槽对位搭接组合。
[0015]如上所述的组合式遮罩，所述次架板与所搭接的主架板为厚度不等的架板，所述次架板与主架板中，厚度较大的架板形成对应于厚度较小的架板宽度及厚度的搭接槽，厚度较大的架板以其搭接槽搭设于厚度较小的架板上。
[0016]在本发明包含次架板的另一种实施例中，所述的组合式遮罩的所述次架板为多个，该多个次架板纵横排列地搭设于所述四个主架板搭接组成的矩形框架中。
[0017]如上所述的组合式遮罩，所述四个主架板于其邻近末端的搭接部位分别形成对应主架板宽度的搭接槽，使每两个主架板间利用彼此的搭接槽对应搭接组合。
[0018]如上所述的组合式遮罩，所述四个主架板中，部分主架板为第一主架板，其余主架板为第二主架板，第二主架板厚度大于第一主架板厚度，所述第二主架板于其邻近末端的搭接部位形成对应于第一 主架板宽度及厚度的搭接槽，第二主架板以其搭接槽搭接于第一主架板上而与第一主架板组合。
[0019]如上所述的组合式遮罩，所述主架板中形成对应于次架板宽度的搭接槽，所述次架板两端邻近末端形成对应主架板宽度的搭接槽，主架板与次架板间借由相应的搭接槽对位搭接组合；所述次架板中形成对应次架板宽度的搭接槽，次架板与次架板间借由相应的搭接槽对位搭接组合。
[0020]如上所述的组合式遮罩，所述次架板与所搭接的主架板为厚度不等的架板，所述次架板与主架板中，厚度较大的架板形成对应于厚度较小的架板宽度及厚度的搭接槽，厚度较大的架板以其搭接槽搭设于厚度较小的架板上；所述次架板中形成对应次架板宽度的搭接槽，次架板与次架板间借由相应的搭接槽对位搭接组合。
[0021]如上所述的组合式遮罩，所述次架板与所搭接的主架板为厚度不等的架板，所述次架板与主架板中，厚度较大的架板形成对应于厚度较小的架板宽度及厚度的搭接槽，厚度较大的架板以其搭接槽搭设于厚度较小的架板上；所述相搭接的次架板厚度不等，厚度较大的次架板形成对应于厚度较小的次架板宽度及厚度的搭接槽，厚度较大的次架板以其搭接槽搭设于厚度较小的次架板上。
[0022]借由以上技术方案，可达成的有益效果是:
[0023]首先，利用条状的主架板纵横搭接形成该组合式遮罩，使其除能构成大面积的遮罩外，亦能利用条状主架板易于制得的功效，解决现有一体成型式遮罩的制造浪费材料的问题，且利用使用组合式方式生产遮罩，将可大幅降低遮罩的工艺设备与原始材料尺寸要求，使本发明组合式遮罩具有大幅降低成本的功效。
[0024]再者，本发明组合式遮罩更能进一步借其主架板一侧形成平齐的被镀物接触面，使该组合式遮罩被镀物接触面能够尽可能贴合于被镀物表面，于镀膜沉积工艺中，能够有效防止蒸镀或溅镀的镀膜材料穿过该组合式遮罩与被镀物间的间隙，避免造成镀膜图案失真的情况。
[0025]此外，利用所述主架板两端各形成搭接槽，使一主架板的搭接槽朝下，另一主架板的搭接槽朝上相对搭接组合，或者，相互搭接的主架板厚度不等时，亦可令第二主架板上形成搭接槽，第一主架板上不设搭接槽，第二主架板以搭接槽搭接于第一主架板上，使这些主架板于组合时具有简便而容易的功效；前述中，利用第一主架板不设搭接槽，以第二主架板设搭接槽组接于第一主架板上的组合构造中，尚能进一步利用第一主架板不设搭接槽而能承受较大的拉伸应力，进而提高该组合式遮罩的整体强度；另一方面，尚可选用低膨胀系数的材料所制成的主架板，使其组合后不易因实施环境的温度改变而产生变形的功用，确保遮罩的品质。
[0026]另一方面，令该组合式遮罩还包含有至少一次架板，次架板能架设于该四个主架板搭接组成的矩形框体上，将主架板圈围成的主矩形镀膜区划分为多个呈矩阵排列的次矩形镀膜区，使其亦能应用于多个小面积镀膜区同时进行镀膜沉积工艺的用途。
【专利附图】
【附图说明】
[0027]图1是本发明组合式遮罩的第一较佳实施例的立体示意图。
[0028]图2是图1所示组合式遮罩第一较佳实施例的立体分解示意图。
[0029]图3是本发明组合式遮罩的第二较佳实施例的立体分解示意图。
[0030]图4是图3所示组合式遮罩第二较佳实施例组合后的立体示意图。
[0031]图5是本发明组合式遮罩第三较佳实施例的立体示意图。
[0032]图6是本发明组合式遮罩第四较佳实施例的立体示意图。
[0033]图7是本发明组合式遮罩第一较佳实施例与遮罩框体的立体分解示意图。
[0034]图8是图7所示组合式遮罩较佳实施例固定于遮罩框体上的立体示意图。
[0035]图9是图1所示组合式遮罩较佳实施例固定于遮罩框体上，提供被镀物伸入其中的剖面示意图。
[0036]图10是图4所示组合式遮罩第二较佳实施例与遮罩框体的立体分解示意图。
[0037]图11是图10所示组合式遮罩较佳实施例固定于遮罩框体上，提供被镀物由上而下接触组合式遮罩的被镀物接触面的剖面示意图。
[0038]主要元件标号说明:
[0039]I组合式遮罩
[0040]10主架板101搭接槽
[0041]102对位穿孔 103主矩形镀膜区
[0042]11次架板111搭接槽
[0043]112对位穿孔113次矩形镀膜区
[0044]2遮罩框体20对位标记
[0045]21 嵌槽
[0046] 3被镀物【具体实施方式】
[0047]为令本发明的发明目的、技术手段及技术效果有更完整及清楚的揭露，以下进行详细说明，并请一并参阅附图及部件标号。
[0048]如图1所示，是揭示本发明组合式遮罩的第一较佳实施例，所述组合式遮罩I是包含四个主架板10，该四个主架板10是呈纵横搭接而圈围成一内有主矩形镀膜区103的矩形框架，并使组合后的这些主架板10的一侧形成平齐的被镀物接触面。
[0049]所述主架板10是选用低膨胀系数的材料所制成为佳，如含镍36 %的镍铁合金(Invar 36)、含镍42%的镍铁合金(Invar 42)等；使这些主架板10搭接组合后,不易因实施的环境温度改变而产生变形，确保该组合式遮罩I形状的稳定性。基于成本考虑或由于镍铁合金(Invar)板材不易获 得之故，亦可改采膨胀系数较高的不锈钢材料。
[0050]如图1及图2所示，于本较佳实施例中，所述四个主架板10可全部皆为薄形的架板，这些薄形的主架板10厚度则以0.05mm~0.20mm为佳；或者，如图3及图4所示，这些主架板10中，亦可部分的主架板10为薄形的架板(即上述的第一主架板)，其余的主架板10为厚度大于所述薄形的主架板10厚度的厚形的架板(即上述的第二主架板)，借由部分主架板10的厚度增加，而能提高该组合式遮罩I的整体强度。
[0051]如图2、图3所示，所述主架板10与主架板10间的搭接构造中，所述四个主架板10的厚度可为相等或不等，例如:这些主架板10同为薄形的架板或同为厚形的架板，或是，一主架板10为薄形的架板，另一主架板10为厚形的架板，所述四个主架板10于邻近两端处形成对应于主架板10宽度的搭接槽101，所述主架板10两端的搭接槽101可设置于主架板10同一侧面或分别位于相对的两侧面，于本较佳实施例中，所述主架板10两端的搭接槽101是设置于主架板10同一侧面，借此，每两个主架板10间利用彼此的搭接槽101对应搭接组合而定位。
[0052]当部分主架板10为薄形的架板，其余主架板10为厚形的架板时，薄形的主架板10与厚形的主架板10的搭接组合构造中，还可令薄形的主架板10不设搭接槽(图未示)，厚形的主架板10设置相应于薄形的主架板10宽度及厚度的搭接槽101，如此，使厚形的主架板10能以其搭接槽101直接搭设于薄形的主架板10上，而完成主架板10间的搭接组合，并使薄形的主架板10与厚形的主架板10搭接组合后，使其一侧形成平齐的被镀物接触面，而此薄形主架板10不设搭接槽，以厚形的主架板10设置搭接槽101搭接于薄形的主架板10上的组合构造中，更能进一步利用薄形的主架板10不设搭接槽而能承受较大的拉伸应力，提高该组合式遮罩I的整体强度。
[0053]如图1及图2所示的较佳实施例中，所述主架板10厚度皆为相等时，所述搭接槽101的槽深为主架板10厚度的二分之一，使所述主架板10相互搭接组合后，该组合式遮罩
I一侧形成平齐的被镀物接触面；如图3及图4所示的较佳实施例中，这些主架板10中，部分主架板10为薄形架板、其余主架板10为厚形架板时，可透过搭接槽101的槽深改变，而使所述主架板10相互搭接组合后，于该组合式遮罩I 一侧形成平齐的被镀物接触面的状态。
[0054]如图1或图2所示，所述主架板10于其两端相对于搭接槽101外侧的末端上尚可各形成对位穿孔102，借由所述对位穿孔102，使该组合式遮罩I能够对位组设于遮罩框体上。[0055]如图5所示，是揭示本发明的第三较佳实施例，所述组合式遮罩I还包含至少一次架板11，所述次架板11是组设于该四个主架板10搭接组成的矩形框体上，进而将主架板
10圈围成的主矩形镀膜区103进一步划分为多个呈矩阵排列的较小面积的次矩形镀膜区113，且使次架板11与主架板10组合后的被镀物接触面平齐，据此，本发明组合式遮罩I除可能适用于大尺寸规格物件的镀膜沉积工艺，也能适用于多个小尺寸规板镀膜面积进行镀膜沉积工艺。
[0056]于本较佳实施例中，所述次架板11的材质与主架板10同以低膨胀系数的材料制成为佳，如含镍36%镍铁合金(Invar 36)、含镍42%的镍铁合金(Invar 42)等；基于成本考虑或由于镍铁合金(Invar)板材不易获得之故，亦可改采膨胀系数较高的不锈钢材料。
[0057]当所述次架板11为单一支时，如图5所示，所述次架板11可与所搭接的主架板10的厚度相等或不等，例如:主架板10与次架板11同为薄形的架板或同为厚形的架板，或是，主架板10与次架板11中的任一为薄形的架板，余一架板为厚形的架板，所述次架板11与主架板10的搭接构造中，所述次架板11两端邻近末端形成对应主架板10宽度的搭接槽111，该四个主架板10中的两支相对应的主架板10中分别形成对应于次架板11宽度的搭接槽101，当所述次架板11与欲对应搭接的主架板10厚度相等时，可令所述搭接槽101、111的深度为其板厚度的二分之一，借此，以该单一次架板11搭接该两个主架板10中，借由主架板10与次架板11相应的搭接槽101、111相互配合而定位，且主架板10与次架板11一侧形成平齐的被镀物接触面，将主架板10圈围成的主矩形镀膜区103进一步划分为2个较小面积的次矩形镀膜区113。
[0058]若相搭接的次架板11与主架板10中的任一为厚度较薄的薄形架板，另一为厚度较厚的厚形架板时，尚可令薄形的次架板11或薄形的主架板10不设搭接槽，厚形的主架板10或厚形的次架板11于其一侧设置相应于欲搭接的薄形次架板11或薄形主架板10的宽度及厚度的搭接槽101 (111)，使厚形的主架板10或厚形的次架板11以其搭接槽101 (111)搭设于薄形的次架板11或薄形的主架板10上，使主架板10与次架板11 一侧形成平齐的被镀物接触面。
[0059]当所述次架板11为多个时，所述多个次架板11可平行排列地搭设于所述主架板10组成的矩形框架中(图未示)，并使主架板10与次架板11 一侧形成平齐的被镀物接触面；或者，如图6所示，该多个次架板11亦能利用彼此纵横搭接而组设于所述主架板10组成的矩形框架中，并使主架板10与次架 板11 一侧形成平齐的被镀物接触面。以图6所示的较佳实施例为例，其是使用两个次架板11呈十字搭接组合，并以该两个次架板11两端分别搭接于该四个主架板10的中段位置，而将原主架板10圈围成的主矩形镀膜区进一步划分为四个呈矩阵排列的次矩形镀膜区113。
[0060]前述中，所述次架板11可与所搭接的主架板10的厚度相等或不等，例如:主架板10与次架板11同为薄形的架板或同为厚形的架板，或是，主架板10与次架板11中的任一为薄形的架板，余一架板为厚形的架板，所述次架板11与主架板10的搭接构造中，所述次架板11两端邻近末端形成对应主架板10宽度的搭接槽111，所述四个主架板10中形成对应次架板11宽度的搭接槽111，借此，使这些次架板11平行排列，且所述次架板11以其两端的搭接槽111与主架板10中相应的搭接槽101对位组合而定位，使主架板10与次架板11 一侧形成平齐的被镀物接触面。[0061]当相互搭接的次架板11与主架板10为不同厚度的架板时，还可令薄形的次架板
11(或薄形的主架板10)不设置搭接槽，于厚形的主架板10(或厚形的次架板11)上设置对应于薄形的次架板11 (或薄形的主架板10)宽度及厚度的搭接槽101 (111)，使厚形的主架板10(或厚形的次架板11)可以搭接于薄形的次架板11(或薄形的主架板10)上，并使主架板10与次架板11搭接组合后的一侧形成平齐的被镀物接触面。而此不等厚度的主架板10与次架板11搭接组合构造中，可利用薄形的主架板10或次架板11不设搭接槽而能承受较大的拉伸应力，提高该组合式遮罩的整体强度。
[0062]前述多个次架板11中，次架板11两端除以前述各种搭接方式与主架板10搭接组合外，相互搭接的次架板的厚度相等或不等，例如:次架板11同为薄形的架板或同为厚形的架板，或是，一次架板11为薄形的架板，另一架板为厚形的架板等，该多个次架板11间相互的搭接构造中，可利用彼此相应的搭接槽111纵横搭接组合而定位等；或者，当相互搭接的次架板11为厚度不等的架板时，厚形的次架板11上还可设置于相应于薄形的次架板11宽度及厚度的搭接槽111，薄形的次架板11不设搭接槽，使厚形的次架板11搭接于薄形的次架板11上，使相搭接的次架板11组合后的一侧形成平齐的被镀物接触面。而此不等厚度的次架板11相互搭接组合构造中，可利用薄形的次架板11不设搭接槽而能承受较大的拉伸应力，提高该组合式遮罩的整体强度。
[0063]如上所述的较佳实施例中，所述次架板11的厚度除相应于薄形的主架板10厚度，即薄形的次架板11厚度以0.05mm~0.20mm为佳,亦可依组合式遮罩I使用的需要，使次架板11的厚度相应于厚形的主架板10的厚度，或可令次架板11厚度不等于主架板10厚度等等，但不以此为限。于图6所示的较佳实施例中，所述次架板11的厚度相应于薄形的主架板10厚度，设于主架板10中的搭接槽101与次架板11中的搭接槽111槽深皆为主架板10或次架板11的厚度的二分之一，如此，所述主架板10与次架板11相互搭接组合后，该组合式遮罩I 一侧形成平齐的被镀物接触面；如图6所示，所述次架板11尚于其两端相对于搭接槽111外侧的末端可各形成对位穿孔112。
[0064]本发明组合式遮罩于实际使用时，如图7及图8所示，该组合式遮罩I须固定于一遮罩框体2上，其中是将该组合式遮罩I放置于该遮罩框体2上，并对遮罩框体2上的组合式遮罩I施加以拉力，且调整该四个主架板10末端预定的对位穿孔102与遮罩框体2顶面预设的对位标记20对位，待每一对位标记20分别对准主架板10上的对位穿孔102后，再以点焊或雷射焊等焊接手段将每一主架板10固定于遮罩框体2上，使组合式遮罩I平贴于遮罩框体2上，借由遮罩框体2承载该组合式遮罩1，使该组合式遮罩I安装于溅镀或蒸镀设备中，提供被镀物进行镀膜沉积工艺的用途。
[0065]本发明组合式遮罩应用于镀膜沉积工艺中，如图8所示，该组合式遮罩I是以其被镀物接触面朝下地固定于遮罩框体2上，并使组合式遮罩I以其平齐的被镀物接触面平贴于遮罩框体2的上表面，如图9所示，该组合式遮罩I借由遮罩框体2固定于镀膜沉积设备中，其中组合式遮罩I的被镀物接触面是在下方，复令被镀物3以驱动机构由下而上送入遮罩框体2内部，其中借由组合式遮罩I中的主架板10(或主架板及次架板)一侧的被镀物接触面平齐的形态，使该组合式遮罩I的被镀物接触面能够尽可能与被镀物3表面贴合，于镀膜沉积工艺中，蒸镀或溅镀释出的镀膜材料穿过该组合式遮罩I的镀膜区而沉积于被镀物3表面。[0066]如图10所示，该组合式遮罩I是以其被镀物接触面朝上地固定于遮罩框体2上，当该组合式遮罩中的主架板10(或主架板及次架板)为不等厚度的搭接构造时，该遮罩框体2借由在适当位置形成嵌槽21，以所述嵌槽21提供组合式遮罩10中厚形的主架板10(或次架板)凸出薄形主架板10的厚度部分嵌入其中，使组合式遮罩I相对于被镀物接触面另一侧的底面与遮罩框体2上表面贴合，如图11所示，该组合式遮罩I借由遮罩框体2固定于镀膜沉积设备中，该组合式遮罩I的被镀物接触面在上方位置，复利用驱动机构带动被镀物3由上而下移动至组合式遮罩I上，其中借由组合式遮罩I中的主架板10 (或主架板及其次架板)一侧的被镀物接触面平齐的形态，使该组合式遮罩I的被镀物接触面能够尽可能贴合被镀物3表面，且组合式遮罩I又与遮罩框体2平贴，如此，于镀膜沉积工艺中，即能防止蒸镀或溅镀释出的镀膜材料穿过该组合式遮罩I与被镀物3间或组合式遮罩I与遮罩框体2的间隙，避免造成镀膜图案失真的情况。
[0067]以上所举仅为本发明示意性的部分实施例，并非用以限制本发明的范围，任何本领域的技术人员，在不脱离本发明的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应包括在本专利保护范围之内。
【权利要求】
1.一种组合式遮罩，其特征在于，包含四个主架板，该四个主架板纵横搭接而构成一内有主矩形镀膜区的矩形框架。
2.根据权利要求1所述的组合式遮罩，其特征在于，所述四个主架板的一侧形成平齐的被镀物接触面。
3.根据权利要求2所述的组合式遮罩，其特征在于，所述四个主架板于其邻近末端的搭接部位分别形成对应主架板宽度的搭接槽，每两个主架板间利用彼此的搭接槽对应搭接组合。
4.根据权利要求2所述的组合式遮罩，其特征在于，所述四个主架板中，部分主架板为第一主架板，其余主架板为第二主架板，其中第二主架板厚度大于第一主架板厚度，所述第二主架板于其邻近末端的搭接部位形成对应于第一主架板宽度及厚度的搭接槽，第二主架板以其搭接槽搭接于第一主架板上而与第一主架板组合。
5.根据权利要求2所述的组合式遮罩，其特征在于，所述组合式遮罩还包含至少一次架板，所述次架板架设于该四个主架板搭接组成的矩形框体上，将主架板圈围成的主矩形镀膜区划分为多个呈矩阵排列的次矩形镀膜区，且所述次架板的一侧与所述主架板组合后形成的所述被镀物接触面平齐。
6.根据权利要求5所述的组合式遮罩，其特征在于，所述次架板为多个，该多个次架板平行排列地搭设于所述四个主架板搭接组成的矩形框架中。
7.根据权利要求6所述的组合式遮罩，其特征在于，所述主架板于其邻近末端的搭接部位分别形成对应主架板 宽度的搭接槽，每两个主架板间利用彼此的搭接槽对应搭接组口 ο
8.根据权利要求6所述的组合式遮罩，其特征在于，所述四个主架板中，部分主架板为第一主架板，其余主架板为第二主架板，且至少具有两相对排列的第二主架板，第二主架板厚度大于第一主架板厚度，所述第二主架板于其邻近末端的搭接部位形成对应于第一主架板宽度及厚度的搭接槽，第二主架板以其搭接槽搭接于第一主架板上而与第一主架板组口 ο
9.根据权利要求7或8所述的组合式遮罩，其特征在于，所述主架板与次架板间的搭接部位中，主架板中形成对应于次架板宽度的搭接槽,所述次架板两端邻近末端形成对应主架板宽度的搭接槽，主架板与次架板间借由相应的搭接槽对位搭接组合。
10.根据权利要求7或8所述的组合式遮罩，其特征在于，所述次架板与所搭接的主架板为厚度不等的架板，所述次架板与主架板中，厚度较大的架板形成对应于厚度较小的架板宽度及厚度的搭接槽，厚度较大的架板以其搭接槽搭设于厚度较小的架板上。
11.根据权利要求5所述的组合式遮罩，其特征在于，所述次架板为多个，该多个次架板纵横排列地搭设于所述四个主架板搭接组成的矩形框架中。
12.根据权利要求11所述的组合式遮罩，其特征在于，所述四个主架板于其邻近末端的搭接部位分别形成对应主架板宽度的搭接槽，使每两个主架板间利用彼此的搭接槽对应搭接组合。
13.根据权利要求11所述的组合式遮罩，其特征在于，所述四个主架板中，部分主架板为第一主架板，其余主架板为第二主架板，第二主架板厚度大于第一主架板厚度，所述第二主架板于其邻近末端的搭接部位形成对应于第一主架板宽度及厚度的搭接槽，第二主架板以其搭接槽搭接于第一主架板上而与第一主架板组合。
14.根据权利要求12或13所述的组合式遮罩，其特征在于，所述主架板中形成对应于次架板宽度的搭接槽，所述次架板两端邻近末端形成对应主架板宽度的搭接槽，主架板与次架板间借由相应的搭接槽对位搭接组合；所述次架板中形成对应次架板宽度的搭接槽，次架板与次架板间借由相应的搭接槽对位搭接组合。
15.根据权利要求12或13所述的组合式遮罩，其特征在于，所述次架板与所搭接的主架板为厚度不等的架板，所述次架板与主架板中，厚度较大的架板形成对应于厚度较小的架板宽度及厚度的搭接槽，厚度较大的架板以其搭接槽搭设于厚度较小的架板上；所述次架板中形成对应次架板宽度的搭接槽，次架板与次架板间借由相应的搭接槽对位搭接组口 ο
16.根据权利要求12或13所述的组合式遮罩，其特征在于，所述次架板与所搭接的主架板为厚度不等的架板，所述次架板与主架板中，厚度较大的架板形成对应于厚度较小的架板宽度及厚度的搭接槽，厚度较大的架板以其搭接槽搭设于厚度较小的架板上；所述相搭接的次架板厚度不等，厚度较大的次架板形成对应于厚度较小的次架板宽度及厚度的搭接槽，厚度较大的次 架板以其搭接槽搭设于厚度较小的次架板上。
【文档编号】C23C14/04GK103993260SQ201310054271
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2013年2月20日 优先权日:2013年2月20日
【发明者】李训杰, 李仲仁, 郦唯诚, 赵勤孝 申请人:旭晖应用材料股份有限公司