切削工具的制作方法

切削工具的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种抗崩刃性和耐磨损性优异的切削工具。该切削工具(1)是在基体(2)的表面被覆包含CraM1-a(C1-xNx)(其中，M是选自Ti、Al、Si、W、Mo、Ta、Hf、Nb、Zr和Y中的至少一种，0.01≤a≤0.4，0≤x≤1)的被覆层(6)而成，并且在前刀面(3)与后刀面(4)的交叉脊线上具有切刃(5)，切刃(5)一侧的被覆层(6)中的Cr含有比率高于后刀面(4)的被覆层(6)中的Cr含有比率。
【专利说明】切削工具

【技术领域】
[0001] 本发明涉及在基体的表面成膜有被覆层的切削工具。

【背景技术】
[0002] 目前，作为切削工具用的基体被使用的有超硬合金和金属陶瓷等烧结合金、金刚 石和cBN(立方晶氮化硼）的高硬度烧结体、氧化铝和氮化硅等陶瓷。而且，使用在其基体 的表面成膜有被覆层的切削工具。在这些切削工具中，使用形成被覆层而使耐磨损性、滑动 性或耐缺损性提高的手法。
[0003] 另外，作为形成上述被覆层的方法，使用离子镀法和溅射法等物理蒸镀法。对于被 覆层而言，包含以Ti和Al为主成分的氮化物的被覆层得到大力研究，正在不断改良。这些 切削工具为了对应切削速度的高速化等切削环境的变化和被削材的多样化，除了被覆材料 以外,也施行各种各样的办法。
[0004] 例如，在专利文献1和专利文献2中，公开有一种利用离子镀法对基体的表面被覆 TiAlN等的被膜的切削工具，记载有一种通过使成膜中施加的负偏压的绝对值在成膜后期 比成膜初期有所提高，从而使Ti的比率在切刃比在平坦部多的被覆膜。
[0005] 现有技术文献 [0006] 专利文献
[0007] 专利文献1 :日本特开平01-190383号公报
[0008] 专利文献2 :日本特开平08-267306号公报
[0009] 发明所要解决的课题
[0010] 然而，专利文献1和专利文献2所述的提高了切刃的Ti的比率的TiAlN膜不能充 分地抑制切刃的崩刃，存在由于崩刃的发生导致磨损急剧进行的情况。因此，工具寿命无法 稳定延长。


【发明内容】

[0011] 本发明是为了解决上述课题而完成的，其目的在于，提供一种使切刃和后刀面的 被覆层的组成最佳化，具备能够发挥更好的切削性能的被覆层的切削工具。
[0012] 用于解决课题的手段
[0013] 本发明的切削工具是在基体的表面被覆包含CraMh(ChNx)(其中，M是选自Ti、 Al、Si、W、Mo、Ta、Hf、Nb、Zr和Y中的至少一种，0· 01彡a彡0· 4,0彡X彡1)的被覆层而 成，并且在前刀面和后刀面的交叉脊线上具有切刃，所述切刃的所述被覆层中的Cr含有比 率高于所述后刀面的所述被覆层中的Cr含有比率。
[0014] 发明效果
[0015] 根据本发明的切削工具，覆盖基体的表面的含有Cr的被覆层成为如下构成，即， 切刃一侧的被覆层中的Cr含有比率高于后刀面。由此，能够抑制切刃上的被削材的熔敷， 并且能够提高切刃的耐缺损性。其结果是，能够抑制在切刃上产生的崩刃的发生。而且，因 为也能够提高后刀面的耐磨损性，所以工具寿命延长。

【专利附图】

【附图说明】
[0016] 图1表示本发明的切削工具的一例，（a)是示意立体图，（b)是（a)的X-X剖面图。
[0017] 图2是关于图1的切削工具的被覆层的一例的主要部分放大图。
[0018] 图3是用于说明翘曲边缘角（日文：反>9立6角）的计算方法的图。

【具体实施方式】
[0019] 使用作为关于本发明的切削工具的优选的实施方式例的图I ((a)是示意立体图， (b)是（a)的X-X剖面图）进行说明。
[0020] 根据图1，切削工具1在主面具有前刀面3,在侧面具有后刀面4,在前刀面3和后 刀面4的交叉脊线上具有切刃5,在基体2的表面具备被覆层6。前刀面3的相反侧的主面 是支承面8。
[0021] 被覆层 6 包含 CraMh (CVxNx)(其中，M 是选自 Ti、Al、Si、W、Mo、Ta、Hf、Nb、Zr 和 Y 中的至少一种，〇· 01彡a彡0· 4,0彡x彡1)。
[0022] 在本实施方式的切削工具1中，切刃5-侧的被覆层6中的Cr含有比率高于后刀 面4的被覆层6中的Cr含有比率。另外，在本实施方式中，随着从后刀面4朝向切刃5,被 覆层6中的Cr含有比率逐渐地变高。由此，能够抑制切刃5上的被削材的熔敷，并且能够 提高切刃5的耐缺损性。其结果是，能够抑制在切刃5产生的崩刃的发生，并且能够提高后 刀面4的耐磨损性。
[0023] 在此，前刀面3、后刀面4和切刃5的被覆层6的具体的组成包含CraM1JChN x) (其中，M 是选自 Ti、Al、Si、W、Mo、Ta、Hf、Nb、Zr 和 Y 中的至少一种，0· 01 彡 a 彡 0· 4， 0 < X < 1)。在被覆层6中，若a (金属Cr组成比率）小于0. 01，则被覆层6的耐氧化性和 润滑性降低。若a(金属Cr组成比率）大于0.4,则被覆层6的耐磨损性降低。a的特别优 选的范围为〇· 04彡a彡0· 15。
[0024] M是选自Ti、Al、Si、W、Mo、Ta、Hf、Nb、Zr和Y中的一种以上，其中若含有Ti、Al、 Si、Nb、Mo和W的一种以上，则能够提高硬度，且耐磨损性优异。其中，若M含有Ti、Al、Nb 或Mo,则高温下的耐氧化性优异。因此，例如能够抑制高速切削中的月牙洼磨损的进行。
[0025] 另外，若例示本实施方式的被覆层6的更具体的组成，则为CraTibAl eNbdWe (CpxNx) (0· 01 彡 a 彡 0· 4,0· 2 彡 b 彡 0· 8,0 彡 c 彡 0· 6,0 彡 d 彡 0· 25,0 彡 e 彡 0· 25, a+b+c+d+e =1,0 < X < 1)。通过被覆层6处于这一组成范围,被覆层6的氧化开始温度变高而耐氧 化性高，并且能够减少内在的内部应力，耐缺损性高。而且，被覆层6的硬度和与基体2的 密接性也高。因此，被覆层6即使在难削材料的加工或干式切削、高速切削等严酷的切削条 件下，耐磨损性和耐缺损性仍然优异。
[0026] S卩，若b(Ti组成比率）为0. 2以上，则被覆层6的晶体结构不会从立方晶向六方 晶变化而导致硬度降低，耐磨损性高。若b(Ti组成比率）为0.8以下，则被覆层6的耐氧 化性和耐热性高。b的特别优选的范围是0. 4彡b彡0. 5。另外，若c (Al组成比）为0. 6 以下，则被覆层6的晶体结构为立方晶，不会从立方晶变化成六方晶，硬度没有降低。c的特 别优选的范围是0.45彡c彡0.52。此外，若d(Nb组成比率）为0.25以下，则被覆层6的 耐氧化性和硬度不会降低，耐磨损性高。d的特别优选的范围是0. 02 < d < 0. 22。若e (W 组成比率）为〇. 25以下，则被覆层6的耐氧化性和硬度不会降低，耐磨损性高。e的特别优 选的范围是〇· 02彡e彡0· 22。
[0027] 还有，在被覆层6中，除上述组成以外也可以按照在被覆层6中的含有比率低于5 原子％而含有选自Si、Mo、Ta、Hf、Zr和Y中的至少一种。
[0028] 另外，被覆层6的作为非金属成分的C、N使切削工具所需要的硬度和韧性优异。 在本实施方式中，X(N组成比率）为0彡X彡1。如果在此范围内，则被覆层6的耐磨损性 和耐缺损性均高。其中，优选0.9 1。在此，根据本发明，上述被覆层6的组成可以由 电子探针微区分析仪（EPM)或X射线光电子能谱分析法（XPS)进行测定。
[0029] 在本实施方式中，切刃5 -侧的被覆层6中的Cr含有比率高于前刀面3的被覆层 6中的Cr含有比率。特别是在本实施方式中，从前刀面3朝向切刃5,被覆层6中的Cr含 有比率逐渐变高。由此，被覆层6的切刃5上的被削材的熔敷得到抑制，并且韧性提高。其 结果是，能够抑制切刃5的崩刃。而且，在前刀面3硬度变高，能够抑制前刀面3的月牙洼 磨损的进行。
[0030] 另外，在本实施方式中，如图2(关于被覆层6的一例的主要部分放大图）所示，被 覆层6为含有Cr的第一被覆层6a和不含Cr的第二被覆层6b这两层交替层叠的多层结 构。由此，能够抑制裂纹在被覆层6内进展，并且被覆层6整体高硬度化，耐磨损性提高。还 有，作为被覆层，使用由组成不同的两种以上的多层结构所构成的被覆层时，被覆层6的组 成由全体组成表示。具体来说，通过电子探针微区分析仪（EPM)等，在包含各层的被覆层6 的整体厚度的范围内测定组成分析的分析区域。另外，为了形成上述多层结构的被覆层6， 例如，能够通过如下方式制作：在成膜装置的腔室的内壁侧面，将组成不同的靶空出一定的 间隔而进行配置，以此状态一边使成膜的试样旋转一边进行成膜。
[0031] 在本实施方式中，前刀面3的被覆层6的组成中的Cr的含有比率高于后刀面4的 被覆层6的组成中的Cr的含有比率。由此，前刀面3的润滑性提高，能够抑制前刀面3的 月牙洼磨损，并且切屑排出性提高。另外，后刀面4的硬度变高，能够抑制后刀面的磨损。
[0032] 另外，在本发明中，将被覆层6的组成、厚度特定时的切刃5的范围定义为距前刀 面3与后刀面4的交叉脊线500 μ m宽的区域。因此，前刀面3的范围是从切削工具1的主 面等前刀面3的中央延续至距作为切刃5的终端的交叉脊线500 μ m的位置的区域，后刀面 4的范围是从切削工具1的侧面等后刀面4的中央延续至距作为切刃5的终端的交叉脊线 500 μ m的位置的区域。
[0033] 还有，在本实施方式中，切刃5的被覆层6的组成为，在上述组成式 CraTibAlcNbdWe(CV xNx)中，0· 02 彡 a 彡 0· 4,0· 24 彡 b 彡 0· 8,0 彡 c 彡 0· 56,0 彡 d 彡 0· 25， 0彡e彡0.25, a+b+c+d+e = 1，0彡X彡1)。另外，后刀面4的被覆层6的组成为，在上 述组成式 CraTibAlcNbaWe(CV xNx)中，0· 015 彡 a 彡 0· 35,0· 24 彡 b 彡 0· 79,0 彡 c 彡 0· 58， 0彡d彡0.25,0彡e彡0.25，a+b+c+d+e = 1，0彡X彡1)。前刀面5的被覆层6的组成为， 在上述组成式 CraTibAlcNbaWe(CV xNx)中，0· 01 彡 a 彡 0· 3,0· 23 彡 b 彡 0· 78,0 彡 c 彡 0· 6， 0 ^ d ^ 0. 25,0 ^ e ^ 0. 25, a+b+c+d+e = 1,0 ^ x ^ 1〇
[0034] 此外，在本实施方式中，切刃5的被覆层6的厚度tc与后刀面4的被覆层6的厚 度tf之比（tc/tf)为1. 10?3. 00。由此，能够保持切刃5的抗崩刃性和后刀面4的耐磨 损性的平衡，延长工具寿命。
[0035] 在此，在本实施方式中，被覆层6在后刀面4的厚度tf比在前刀面3的厚度tr厚。 由此，后刀面4的耐磨损性提高，能够延长工具寿命。在本实施方式中，后刀面4的被覆层6 的厚度tf与前刀面3的被覆层6的厚度tr的比（tf/tr)为1. 50?3. 00。还有，后刀面4 的被覆层6的厚度tf是测定后刀面4的中央的位置的被覆层6的厚度。前刀面3的被覆 层6的厚度tr是测定前刀面3的中央的位置（但是，如图I (a)在前刀面3的中央设有螺 钉安装孔9时，在靠近螺钉安装孔9的位置）的被覆层6的厚度。切刃5的被覆层6的厚 度tc是测定通过含有被覆层6的前刀面3和后刀面4的假想延长线的交点P与不含被覆 层6的前刀面3和后刀面4的假想延长线的交点Q的直线上的被覆层6的厚度。
[0036] 另外，在本实施方式中，如图1(b)所示，在被覆层6的表面和内部存在很多被称为 小滴（卜'' 13 7 7 7卜：droplet)7的粒状物质。而且，在本实施方式中，存在于前刀面3多 个小滴7的平均组成与存在于后刀面4的小滴7的平均组成相比，为Cr的含有比率高的构 成。
[0037] 根据这一构成，切削时即使切屑在前刀面3上通过，由于有小滴7的存在，切屑也 不会全都碰撞到前刀面上，即切屑不会大面积地与前刀面接触，被覆层6的表面不会变得 那么高温。而且，前刀面3的一侧与后刀面4相比，小滴7中的Cr的含有比率高，因此存在 于前刀面3上的小滴7的润滑性高，并且还发挥着将切削液保持在被覆层6的表面的效果。 另外，在后刀面4上，因为小滴7中的Cr的含有比例低而脆，所以在初期就会脱粒而消失， 加工时的加工面状态得到改善。
[0038] 还有，在本实施方式中，被覆层6的形成于前刀面3的小滴7的Cr含有比率Crra 相对于形成于后刀面4的小滴7的Cr含有比率CrDF为1. 05 < CrDK/CrDF < 1. 60。由此，能 够使前刀面3和后刀面4的耐磨损性都最佳化。
[0039] 另夕卜，在本实施方式中，对于存在的小滴7的数量而言，在前刀面3的 ΙΟμπιΧΙΟμπι四边形中，直径为0. 2μπι以上的小滴7有15?50个，优选为18?30个。 由此，能够缓和因切屑的通过导致的发热。另外，在本实施方式中，前刀面3中的小滴7的 数量比存在于后刀面4的小滴7的数量多。由此，能够缓和由于切屑的通过导致前刀面3 变成高温，并且使后刀面4光滑而提高加工面品位。还有，对于小滴7的存在比例而言，在 ΙΟμπιΧΙΟμπι四边形中观察被覆层6的表面，特定存在于观察区域之中的直径为0. 2μ-- 以上的小滴7并计数其数量。然后，将任意的观察区域的3处的小滴7的数量的平均值 作为小滴7的存在比例。另外，对于小滴7的组成而言，以EPM测定各小滴7的组成，将 10 μ mX 10 μ m四边形的1个视野中所观察到的直径为0. 2 μ m以上的小滴7的任意10个的 组成的平均值作为小滴7的组成。
[0040] 另外，在本实施方式中，被覆层6的形成于前刀面3的小滴7的Al含有比率八丨^相 对于形成于后刀面4的小滴7的Al含有比率AI dfS 1.00S A1DK/A1DF< 1. 10。由此，能够使 前刀面3和后刀面4的耐磨损性都最佳化。比率A1dk/A1df的特别优选的范围是1. 00彡AIdk/ AIdf < 1. 02。此外，在本实施方式中，被覆层6的形成于前刀面3的小滴7的Ti含有比率 TiDK相对于形成于后刀面4的小滴7的Ti含有比率TiDF为0. 91彡TiDK/TiDF彡0. 97。由 此，能够使前刀面3和后刀面4的抗崩刃性都最佳化。比率TiDK/TiDF的特别优选的范围是 0. 94 彡 TiDK/TiDF 彡 0. 97。
[0041] 在此，图1的切削工具1的形状中，主面大致为四边形，与侧面的夹角为90°，即后 角为0°的单纯的板状（例如，ISO 13399标准的CNMA、CNMG)，但本发明并不限定于此。例 如，也可以是后角（切削加工时用于在后刀面4和被削材之间建立空间的角度，S卩，相对于 支承面8之中的支架所接地的接地面垂直的平面与后刀面4的夹角）为正的正形（例如， ISO 13399标准的SNKN形状）。另外，前刀面也可以不是平坦面，而是前刀面3的端部突出 的形状或设有断屑槽（breaker)的形状。特别是翘曲边缘角Θ为20?50°时，由于成膜 被覆层6时各元素的直线性的差异，导致成膜的被覆层6的组成的差异显著，因此后刀面4 和切刃5的被覆层6中的Cr含有比率容易控制在规定的范围内。还有，如图3所示，本发 明的所谓翘曲边缘角Θ定义为在通过切削工具1的切刃5和前刀面3的中心的截面中，连 接切刃5 (点A)和前刀面3之中的最低的位置（点B)的直线L1和与支承面8之中的支架 所接地的接地面平行的直线L 2的夹角。而且，如图3 (b)，前刀面3之中的最低的位置大量 存在（图3(b)中直线状存在无数）时，将最低位置之中最靠近切刃的位置作为点B，从而求 得翘曲边缘角Θ。在本实施方式中，翘曲边缘角Θ为40?50°时，后刀面4和切刃5的 被覆层6中的Cr含有比率更容易控制，能够进一步提高切削工具1的耐熔敷性、耐缺损性、 耐磨损性。
[0042] 作为基体2,可以适用包含以碳化钨、碳氮化钛为主成分的硬质相与以钴、镍等铁 族金属为主成分的键合相的超硬合金、金属陶瓷的硬质合金。此外还可以适用的有，在超高 压下，对于以氮化硅、氧化铝为主成分的陶瓷、多晶金刚石或立方晶氮化硼所构成的硬质相 与陶瓷和铁族金属等键合相进行锻烧的超高压烧结体等硬质材料。
[0043] (制造方法）
[0044] 接下来，对于本发明的切削工具的制造方法进行说明。
[0045] 首先，使用现有公知的方法制作工具形状的基体。其次，在基体的表面成膜被覆 层。作为被覆层的成膜方法，可以适当采用离子镀法和溅射法等物理蒸镀（PVD)法。对成 膜方法的一例的详情进行说明。以电弧离子镀法制作被覆层时，使用分别独立含有金属铬 (〇)和规定的金属11(其中肩是选自11、41、5丨、1^〇、了 &、!^、吣、21'和￥中的至少一种以 上）的金属靶、复合化的合金靶或烧结体靶，设定在腔室的侧壁面位置。
[0046] 这时，在靶的周围以位于靶的背面的中央侧的方式设置中心磁体。根据本发明，通 过控制该磁体的磁力的强度，能够制作上述实施方式的切削工具。即，增强与含有Cr的靶 并设的中心磁体的磁力,减弱不含Cr的靶的中心磁体的磁力。由此，改变由各靶产生的金 属离子的扩散状态，使腔室内存在的金属离子的分布状态发生变化。还有，各金属离子的扩 散状态，即从靶飞出的金属离子的直线性根据金属种类而有所不同。其结果是，能够使在基 体的表面成膜的被覆层中的各金属的比率和小滴的存在状态变化。
[0047] 使用这些靶，通过电弧放电、辉光放电等使金属源蒸发并离子化的同时，使之与氮 源的氮（N2)气、碳源的甲烷（CH4)/乙炔（C2H2)气反应，利用这样的离子镀法或溅射法成膜 被覆层和小滴。这时，基体的设定位置设定为，后刀面与腔室的侧面大体上平行且置于前刀 而与腔室的上表面大体平行的方向上。这时，向中心磁体施加2?8T的磁力而进行成膜。 另外，使施加于与含有Cr的靶并设的中心磁体的磁力，比施加于与不含Cr的靶并设的中心 磁体的磁力高而进行成膜。
[0048] 还有，成膜上述被覆层时，为了能够制作高硬度的被覆层并且提高与基体的密接 性，在本实施方式中施加35?200V的偏置电压。
[0049] 【实施例1】
[0050] 以平均粒径0.8μπι的碳化钨（WC)粉末作为主成分，以10质量％的比例添加平均 粒径1. 2 μ m的金属钴（Co)粉末，以0. 1质量％的比例添加平均粒径I. 0 μ m的碳化钒（VC) 粉末，以0. 3质量％的比例添加平均粒径I. 0 μ m的碳化铬（Cr3C2)粉末并加以混合，通过挤 压成形，成形为京瓷制切削工具BDMT11T308TR-JT形状（翘曲边缘角16°，后角18° )的不 重磨刀片形状。将此成形体放入焙烧炉，实施脱粘结剂处理，在〇. OlPa的真空中，以1450°C 焙烧1小时而制作超硬合金。另外，通过喷砂加工、刷磨加工等对各试样的前刀面表面进行 研磨加工。此外，以刷磨加工对制作的超硬合金实施刀头处理（珩磨）。
[0051] 对于如此制作的基体，对不含Cr的第一靶、含有Cr的第二靶放置表1所示的中心 磁体。然后，施加表1所示的偏置电压，分别流过表1所示的电弧电流，成膜温度设为540°C， 从而成膜表2?3中所示的组成的被覆层。还有，被覆层的组成以下述方法测定。
[0052] 对于所得到的试样，从被覆层的表面，利用扫描型电子显微镜（SEM)观察前刀面、 切刃和后刀面的被覆层的各位置的任意3处，利用EPM分析前刀面、切刃及后刀面的被覆 层的组成。关于被覆层的组成，将前刀面、后刀面和切刃上的各3处的平均组成作为各位置 的被覆层的组成进行表述。还有，在任意一个试样中，被覆层均为Cr含量少的层和Cr含量 多的层以20?IOOnm间隔交替层叠的多层结构。
[0053] 另外，通过SEM观察，测定前刀面和后刀面的10 μ mXlOym的任意区域中的直径 0. 2 μ m以上的小滴的个数，计算测定位置5处的平均个数。此外，通过能量色散能谱分析 (EDS) (ametek公司制造的EDAX)测定在1个视野中所观察到的小滴各10个的组成，将其平 均值作为被覆层的前刀面和后刀面的小滴的平均组成加以计算。表中，在形成于前刀面的 小滴中，将Cr、Al、Ti的平均含量（原子％ )分别表述为CrDK、AlDK、TiDK，在形成于后刀面的 小滴中，将Cr、Al、Ti的平均含量（原子％ )分别表述为01)1?、411)1?、11 1)1?。此外，对于各试样 的含有被覆层的截面进行SEM观察，测定切刃、前刀面和后刀面的各位置的被覆层的厚度。 关于前刀面组成与厚度tr，切刃组成与厚度tc示于表2中，关于后刀面组成与厚度tf、t匕 tc/tf、比tf/tr示于表3中，关于前刀面和后刀面的小滴的个数与组成、前刀面的小滴的组 成与后刀面的小滴的组成的组成比示于表4中。
[0054] 接下来，使用所得到的不重磨刀片，按以下的切削条件进行切削试验。结果示于表 4中。
[0055] 切削方法：铣削加工
[0056] 被削材：碳钢（S45C)
[0057] 切削速度：200m/分钟
[0058] 进给量：0· lmm/rev
[0059] 切入：2. Omm
[0060] 切削状态：干式
[0061] 评价方法：观察500个加工后的切削工具，确认切刃的熔敷状态。另外，确认截至 到不能进行加工为止所能够加工的加工数，确认这时的后刀面的磨损形态。
[0062]【表1】
[0063]

【权利要求】
1. 一种切削工具，其中，在基体的表面被覆包含CrUCpA)的被覆层而成，并且在前 刀面与后刀面的交叉脊线上具有切刃，所述切刃的所述被覆层中的Cr含有比率高于所述 后刀面的所述被覆层中的Cr含有比率，其中，M是选自Ti、Al、Si、W、Mo、Ta、Hf、Nb、Zi^PY 中的至少一种，〇? 01彡a彡0? 4,0彡x彡1。
2. 根据权利要求1所述的切削工具，其中，所述切刃的所述被覆层中的Cr含有比率高 于所述前刀面的所述被覆层中的Cr含有比率。
3. 根据权利要求1或2所述的切削工具，其中，所述被覆层包含含有Cr的第一被覆层 和不含Cr的第二被覆层的两层以上的多层。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的切削工具，其中，所述切刃的所述被覆层的厚度 tc与所述后刀面的所述被覆层的厚度tf之比，即tc/tf为1. 10?3. 00。
5. 根据权利要求1至4中任一项所述的切削工具，其中，所述前刀面的所述被覆层中的 Cr的含有比率高于所述后刀面的所述被覆层中的Cr的含有比率。
6. 根据权利要求1至5中任一项所述的切削工具，其中，在所述前刀面，所述切刃相对 于支承面的翘曲边缘角为20?50°。
【文档编号】C23C14/06GK104349855SQ201380030394
【公开日】2015年2月11日 申请日期:2013年6月27日 优先权日:2012年6月27日
【发明者】坂本佳辉 申请人:京瓷株式会社