一种真空在线产品取样机构的制作方法
【专利摘要】本发明公开一种真空在线产品取样机构，包括：箱体，其前侧设置门，门与箱体之间设置O型密封圈，且门通过第一螺杆连接门压板，门压板通过第二螺杆与铰链相连，箱体前侧左下方设置第一密封装置；抽气装置，其设置在箱体的右侧，包括抽气嘴、放气筒、气缸；控制装置，其设置在箱体的左侧，控制装置包括摇臂、气缸铰链、气缸，摇臂通过连杆带动阀板，实现阀板的开启和关闭；取样装置，其设置在箱体的顶部，包括取样杆、样品框、样品架盖，取样装置与箱体之间设置第二密封装置，取样杆正对的箱体壁上设置一开口，开口上设置密封板。本发明所述真空在线产品取样机构能够定期在不破坏真空工艺的情况下，对产品进行实时监控。
【专利说明】一种真空在线产品取样机构
【技术领域】
[0001] 本发明涉及取样装置，具体为一种真空在线产品取样机构。
【背景技术】
[0002] 在半导体相关制造过程中，许多的制程必须在真空状态下进行，而真空溅镀技术 是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的一项重要技术，近年来已经逐渐取代喷导漆和电解 电镀的方式，大量应用在光电、通信、半导体等产业，成为重要的表面处理技术。而在真空状 态下连续生产的产品，一般很难对其在连续真空溅射镀膜时进行取样操作。
【发明内容】
[0003] 针对上述技术问题，本发明公开一种真空在线产品取样机构，包括：箱体1，其前 侧设置门11，所述门11与箱体1之间设置〇型密封圈12,且门11通过第一螺杆10连接门 压板9,所述门压板9通过第二螺杆8与铰链13相连，用于控制门压板9的开合，所述箱体 1前侧左下方设置第一密封装置，包括骨架密封圈2、密封轴套3、0型密封圈4 ;抽气装置， 其设置在所述箱体1的右侧，所述抽气装置包括抽气嘴24、放气筒25、气缸26 ;控制装置， 其设置在所述箱体1的左侧，所述控制装置包括摇臂5、气缸铰链6、气缸7,所述摇臂5通过 连杆15带动阀板16,实现阀板16的开启和关闭；取样装置，其设置在所述箱体1的顶部， 包括取样杆19、样品框18、样品架盖17,所述取样装置与箱体1之间设置第二密封装置，包 括内铜套21、外铜套23、骨架密封圈22、密封套20,所述取样杆19正对的箱体壁上设置一 开口，所述开口上设置密封板14。
[0004] 本发明的有益效果是所述真空在线产品取样机构能够定期在不破坏真空工艺的 情况下，对产品进行实时监控。
[0005]
【专利附图】
【附图说明】
[0006] 图1是本发明所述真空在线产品取样机构的正视结构图； 图2是本发明所述真空在线产品取样机构的侧视结构图； 图3是本发明所述真空在线产品取样机构的侧视剖面图。
[0007]
【具体实施方式】
[0008] 下面结合附图对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文 字能够据以实施。
[0009] 如图所示，本发明公开一种真空在线产品取样机构，包括：箱体1，其前侧设置门 11，所述门11与箱体1之间设置〇型密封圈12,且门11通过第一螺杆10连接门压板9,所 述门压板9通过第二螺杆8与铰链13相连，用于控制门压板9的开合，所述箱体1前侧左 下方设置第一密封装置，包括骨架密封圈2、密封轴套3、0型密封圈4 ;抽气装置，其设置在 所述箱体1的右侧，所述抽气装置包括抽气嘴24、放气筒25、气缸26 ;控制装置，其设置在 所述箱体1的左侧，所述控制装置包括摇臂5、气缸铰链6、气缸7,所述摇臂5通过连杆15 带动阀板16,实现阀板16的开启和关闭；取样装置，其设置在所述箱体1的顶部，包括取样 杆19、样品框18、样品架盖17,所述取样装置与箱体1之间设置第二密封装置，包括内铜套 21、外铜套23、骨架密封圈22、密封套20,所述取样杆19正对的箱体壁上设置一开口，所述 开口上设置密封板14。
[0010] 在工作过程中，通过取样杆19在真空箱体内的上下活动，实现了定期在不破坏真 空工艺的情况下，对产品进行的实时监控。
[0011] 尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列 运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地 实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限 于特定的细节和这里示出与描述的图例。
【权利要求】
1. 一种真空在线产品取样机构，其特征在于，包括： 箱体（1)，其前侧设置门（11)，所述门（11)与箱体（1)之间设置〇型密封圈（12)，且门 (11)通过第一螺杆（10)连接门压板（9)，所述门压板（9)通过第二螺杆（8)与铰链（13)相 连，用于控制门压板（9)的开合，所述箱体（1)前侧左下方设置第一密封装置，包括骨架密 封圈（2)、密封轴套（3)、0型密封圈（4); 抽气装置，其设置在所述箱体（1)的右侧，所述抽气装置包括抽气嘴（24)、放气筒 (25)、气缸（26); 控制装置，其设置在所述箱体（1)的左侧，所述控制装置包括摇臂（5)、气缸铰链（6)、 气缸（7)，所述摇臂（5)通过连杆（15)带动阀板（16)，实现阀板（16)的开启和关闭； 取样装置，其设置在所述箱体（1)的顶部，包括取样杆（19)、样品框（18)、样品架盖 (17)，所述取样装置与箱体（1)之间设置第二密封装置，包括内铜套（21)、外铜套（23)、骨 架密封圈（22)、密封套（20)，所述取样杆（19)正对的箱体壁上设置一开口，所述开口上设 置密封板（14)。
【文档编号】C23C14/56GK104141111SQ201410327688
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2014年7月11日 优先权日:2014年7月11日
【发明者】王振东, 何万能 申请人:苏州诺耀光电科技有限公司