1.一种载具,其特征在于,适于在镀膜制程中固定基板,所述载具包括:
载板,适于承载所述基板;以及
上盖,通过固定单元固定于所述载板上,且所述基板夹设于所述上盖与所述载板之间,所述上盖具有开口,以暴露出所述基板的部分区域。
2.根据权利要求1所述的载具,其特征在于,所述基板的面积小于或等于所述载板的面积。
3.根据权利要求1所述的载具,其特征在于,所述固定单元包括多个柱体,配置于所述上盖朝向所述载板的表面上,所述载板包括多个对应该些柱体设置的第一通孔,且所述基板包括多个对应该些第一通孔设置的第二通孔,各所述第二通孔分别连通其中一个第一通孔,且各所述柱体适于穿入其中一个第二通孔以及与所述其中一个第二通孔连通的第一通孔中。
4.根据权利要求3所述的载具,其特征在于,各所述第一通孔中配置有双套管,所述双套管与所述第一通孔紧密接合,所述双套管的内径小于所述柱体的直径,且所述双套管的材质为弹性材质。
5.根据权利要求4所述的载具,其特征在于,还包括:
多个缓冲条,配置于所述上盖朝向所述载板的表面上且位于任相邻二柱体之间。
6.根据权利要求5所述的载具,其特征在于,该些缓冲条的材料包括塑胶。
7.根据权利要求1所述的载具,其特征在于,所述固定单元包括第一磁力单元以及第二磁力单元,所述第一磁力单元固定于所述上盖,且所述第二磁力单元固定于所述载板且对应所述第一磁力单元设置,使所述载板与所述上盖以磁吸的方式固定。
8.根据权利要求1所述的载具,其特征在于,所述固定单元包括:多个第一锁固件以及对应该些第一锁固件设置的多个第二锁固件,所述载板包括多个对应该些第一锁固件设置的第一通孔,所述基板包括多个对应该些第一通孔设置的第二通孔,且所述上盖包括多个对应该些第二通孔设置的第三通孔,各所述第三通孔分别连通其中一个第一通孔以及其中一个第二通孔,且各所述第一锁固件适于穿入其中一个第三通孔、对应的第二通孔以及对应的 第一通孔中,且各所述第二锁固件由所述载板背对所述上盖的表面固定对应的第一锁固件。
9.根据权利要求1所述的载具,其特征在于,所述载板的材料包括金属。
10.根据权利要求1所述的载具,其特征在于,所述上盖的材料包括金属。