用于传输电波的金属质涂层及其制造方法与流程

文档序号:11937629阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于传输电波的金属质涂层,包括:

透明树脂膜;

金属质层,其沉积在所述树脂膜的两个面中的任一面上;以及

氧化铬层,其沉积在所述金属质层上,以使电波经其传输并保护所述金属质层。

2.如权利要求1所述的用于传输电波的金属质涂层,其中,所述金属质层由锡和铟中的一种或多种构成,并具有150nm或更薄的厚度。

3.如权利要求1所述的用于传输电波的金属质涂层,其中,所述氧化铬层具有1.0μm或更薄的厚度。

4.如权利要求1所述的用于传输电波的金属质涂层,其中,在所述树脂膜的两个面中的任一面上形成细纹。

5.如权利要求1所述的用于传输电波的金属质涂层,还包括沉积在所述氧化铬层上的保护层。

6.一种用于传输电波的金属质涂层的制造方法,包括:

在用于沉积的腔室中安置透明树脂膜的步骤;

在形成真空的所述腔室内使用工艺气体形成氩和氮氛的步骤;

在所述树脂膜的两个面中的任一面上沉积金属质层的第一沉积步骤;

排出在所述第一沉积步骤过程中产生的残余材料并在形成真空的所述腔室内使用工艺气体形成氩、氮和氧(O2)氛的步骤;以及

在所述金属质层上沉积氧化铬层的第二沉积步骤。

7.如权利要求6所述的用于传输电波的金属质涂层的制造方法,其中,在所述第一沉积步骤中,所述金属质层由锡和铟中的一种或多种构成,并且以150nm或更薄的厚度形成。

8.如权利要求6所述的用于传输电波的金属质涂层的制造方法,其中,在所述第二沉积步骤中,所述氧化铬层以1.0μm或更薄的厚度形成。

9.如权利要求8所述的用于传输电波的金属质涂层的制造方法,其中,在所述第二沉积步骤中,O2与所述工艺气体的比率为7mol%或更高。

10.如权利要求6所述的用于传输电波的金属质涂层的制造方法,在安置所述透明树脂膜的步骤之前,还包括在所述树脂膜的两个面的任一面上形成细纹的步骤。

11.如权利要求6所述的用于传输电波的金属质涂层的制造方法,在所述第二沉积步骤之后,还包括在所述氧化铬层上施加保护层的步骤。

12.一种车辆部件,包括如权利要求1所述的金属质涂层。

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