1.一种Mo或Mo合金制背衬板，其为用于与靶接合的Mo或Mo合金制背衬板，其特征在于，在该Mo或Mo合金制背衬板的将要冷却的一侧(冷却面侧)的表面具备具有背衬板的总厚度的1/40～1/8的厚度的包含防腐蚀性金属的层。
2.如权利要求1所述的Mo或Mo合金制背衬板，其特征在于，所述防腐蚀性金属为选自Cu、Al或Ti中的一种以上金属或它们的合金。
3.如权利要求1～2所述的Mo或Mo合金制背衬板，其特征在于，Mo或Mo合金制背衬板的与防腐蚀性金属接合的面具有高差，且该高差为2mm以上。
4.如权利要求1～3所述的Mo或Mo合金制背衬板，其特征在于，Mo或Mo合金制背衬板的与防腐蚀性金属接合的面的高差部具有R1～R3的曲面。
5.如权利要求1～4中任一项所述的Mo或Mo合金制背衬板，其特征在于，Mo或Mo合金制背衬板为圆盘状，且直径为500mm以上。
6.如权利要求1～5中任一项所述的Mo或Mo合金制背衬板，其特征在于，在所述扩散接合界面的Mo或Mo合金制背衬板的防腐蚀性金属的接合面具有深度0.08mm～0.4mm的槽。
7.如权利要求1～6中任一项所述的Mo合金制背衬板，其特征在于，所述Mo合金为含有80重量％以上的Mo的合金。
8.一种溅射靶-背衬板组件，其特征在于，通过将权利要求1～7中任一项所述的Mo或Mo合金制背衬板与包含低热膨胀材料的靶接合而得到。
9.如权利要求8所述的溅射靶-背衬板组件，其特征在于，包含低热膨胀材料的靶为99.99重量％(4N)以上的硅、锗、碳中的任意一种的单一材料、或者含有95重量％以上的这些物质的复合材料。