技术总结
保持环的一些实施方式具有内表面，所述内表面具有由多个平面刻面形成的第一部分和沿边界邻接第一部分的第二部分，并且保持环包括从外部朝内向下倾斜的截头圆锥形表面。保持环的一些实施方式具有锯齿状内表面或蜿蜒内表面和/或具有不同表面性质或不同倾斜角的交替区域的内表面。
技术研发人员：史蒂芬·马克·雷迪;西蒙·亚沃伯格;吴正勋;史蒂文·M·苏尼加;安德鲁·J·纳甘盖斯特;塞缪尔·楚-江·许;高塔姆·沙善·丹达瓦特
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201610366091
技术研发日：2016.05.27
技术公布日：2016.12.07