技术特征：
技术总结
描述一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件(100)。测量组件(100)包括：第一振荡晶体(110)，用于测量沉积率；第二振荡晶体(120)，用于测量沉积率；和可移动遮板(140)。可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第一测量出口(151)提供的已蒸发材料，第一测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供至第一振荡晶体(110)。另外，可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第二测量出口(152)提供的已蒸发材料，第二测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供至第二振荡晶体(120)。
技术研发人员：乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;斯蒂芬·班格特;尤韦·斯库尤勒;海克·兰格拉夫;安德烈亚斯·洛普;汉斯·斯塔夫
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.10.25
技术公布日：2018.07.17