技术特征：
技术总结
本发明提供一种磁控管旋转结构，第一旋转臂，其上设置有第一旋转轴和第二旋转轴；所述第一旋转轴，与驱动源相连，用以在驱动源的驱动下旋转并带动所述第一旋转臂旋转；所述第一旋转轴通过传动组件与所述第二旋转轴相连，所述传动组件用以在所述第一旋转轴旋转时带动所述第二旋转轴旋转；第二旋转臂，与所述第二旋转轴连接且其上固定有磁控管；限位件，用于在所述第一旋转轴沿第一方向和第二方向旋转时限制所述第二旋转臂相对所述第一旋转臂的位置，以使所述磁控管沿不同的第一轨道和第二轨道旋转。本发明还提供一种磁控管组件及反应腔室。本发明不仅结构简单，且使得工艺过程简单、容易实现。
技术研发人员：佘清;魏景峰;赵梦欣;侯珏
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2017.05.18
技术公布日：2018.12.07