分割掩模的制作方法

相关申请的交叉引用

本申请要求于2016年9月12日提交至韩国知识产权局的第10-2016-0117412号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的内容通过引用以其整体并入本文中。

本发明的示例性实施方式涉及分割掩模。

背景技术：

有机发光二极管(“oled”)显示装置是一种自发光显示装置。oled显示装置使用发光的oled显示图像。oled显示装置不需要单独的光源。液晶显示(“lcd”)装置包括单独的光源。因此，oled显示装置相对薄而轻。oled显示装置具有相对低功耗、相对高亮度和相对高响应速度的特性。因此，oled显示装置可用于便携式电子设备中。

oled显示装置具有堆叠结构。堆叠结构包括设置在阳极与阴极之间的发光层。分别从阳极和阴极注入的空穴和电子在发光层中复合以发光。因此，可以实现颜色。然而，由于在上述结构中获得相对高效率的发光可能相对困难，因此在电极与发光层之间还设置诸如电子注入层、电子传输层、空穴传输层和空穴注入层等中间层。

oled显示装置的电极、发光层和中间层可通过各种方法(例如，沉积方法)形成。在制造oled显示装置的沉积方法中，使用了精细金属掩模(“fmm”)。fmm具有与待形成在基板上的薄膜的图案基本上相同的图案。fmm在基板上方对准。在其上沉积薄膜形成材料，使得薄膜在基板上图案化。

当这种fmm相对大时，图案形成的蚀刻误差可能相对大。掩模的中心部分可能由于其自身重量而下垂。因此，可使用掩模框架组件，在掩模框架组件中，多个条状分割掩模附接到框架。当这种分割掩模附接到框架时，拉力作用在分割掩模的纵向方向上。因此，可能在分割掩模中产生波(wave)。

技术实现要素：

本发明的示例性实施方式提供了能够基本上防止分割掩模的波的分割掩模。

本发明的示例性实施方式提供了分割掩模。该分割掩模包括主体部分和夹持部分。夹持部分设置在主体部分的相对端部处。夹持部分包括至少三个分支部分。越远离分割掩模的中心线，分支部分具有越小的宽度。

夹持部分可包括包括四个分支部分的夹持部分。

夹持部分可包括包括五个分支部分的夹持部分。

主体部分和夹持部分可各自包括金属。

主体部分和夹持部分可各自包括因瓦合金。

夹持部分可以是双边对称的。

主体部分还可包括开口图案。

分支部分可限定u形凹槽。

分割掩模还可包括接合部分。该接合部分可设置在夹持部分与主体部分之间。

分支部分中的每一个越远离主体部分可具有越小的宽度。

分支部分可限定半球形凹槽。

附图说明

通过参照附图详细描述本发明的示例性实施方式，本发明的公开内容的上述和其它特征将更加明显，在附图中：

图1是示出根据本发明示例性实施方式的分割掩模的平面图；

图2a和图2b是示出根据本发明示例性实施方式的分割掩模的夹持部分的放大图；

图3是示出根据本发明示例性实施方式的包括分割掩模的掩模框架组件的平面图；

图4a和图4b是示出根据本发明示例性实施方式的使用分割掩模制造掩模框架组件的方法的视图；

图5是示出根据替代性示例性实施方式的分割掩模的平面图；

图6是示出根据本发明示例性实施方式的分割掩模的夹持部分的放大图；

图7是示出根据本发明示例性实施方式的分割掩模的波测量的结果的视图；以及

图8a和图8b是示出根据本发明示例性实施方式的分割掩模的波测量的结果的视图。

具体实施方式

以下将参照附图更详细地描述本发明的示例性实施方式。在这方面，示例性实施方式可以具有不同的形式。

在全部说明书和附图中，相同的附图标记可以指代相同的元件。

应当理解的是，虽然用语“第一”和“第二”可在本文中用于描述各种部件，但是这些部件不应受这些用语的限制。

为了描述的清楚起见，图中元件的尺寸可能被夸大。

应当理解的是，虽然在本文中根据示例性实施方式可以将参数描述为具有“约”特定值，但如本领域普通技术人员将理解的，该参数可以精确地为该特定值或近似为该特定值。

应当理解的是，当诸如层、膜、区域或板的部件被称为在另一部件“上”时，该部件可直接在该另一部件上或者可以存在中间部件。

在下文中，将参照图1、图2a、图2b、图3、图4a、图4b和图5详细描述根据本发明示例性实施方式的分割掩模。

图1是示出根据本发明示例性实施方式的分割掩模的平面图。图2a和图2b是示出根据本发明示例性实施方式的分割掩模的夹持部分的放大图。

参照图1，分割掩模100可包括主体部分110和夹持部分120。

分割掩模100可包括诸如镍(ni)、钴(co)、镍合金、镍钴合金、不锈钢(sus)和/或因瓦合金的金属。

主体部分110可包括开口图案111。开口图案111可沿着分割掩模100的纵向方向设置。每个开口图案111可包括多个精细开口图案。多个精细开口图案中的每一个可限定为与待沉积在设置于多个分割掩模100上方的基板上的薄膜的形状对应的形状。因此，在沉积过程中，沉积材料可通过例如开口图案111沉积在基板上，以形成期望形状的薄膜。开口图案111的形状可以是四边形；然而，本发明的示例性实施方式不限于此。开口图案111可以具有各种形状。

夹持部分120可设置在主体部分110的相对端部处。夹持部分120可包括至少三个分支部分121。

夹持部分120可包括四个分支部分121。例如，夹持部分120可包括第一分支部分121a、第二分支部分121b、第三分支部分121c和第四分支部分121d。参照图2a和2b，当沿着分割掩模100的中心延伸的线被定义为分割掩模100的中心线c时，分割掩模100的中心线c与沿着第一分支部分121a的中心延伸的线c1之间的距离可被定义为第一距离d1。分割掩模100的中心线c与沿着第二分支部分121b的中心延伸的线c2之间的距离可被定义为第二距离d2。分割掩模100的中心线c与沿着第三分支部分121c的中心延伸的线c3之间的距离可被定义为第三距离d3。分割掩模100的中心线c与沿着第四分支部分121d的中心延伸的线c4之间的距离可被定义为第四距离d4。在本发明的这种示例性实施方式中，第一距离d1可与第四距离d4基本上相同(d1＝d4)。第二距离d2可与第三距离d3基本上相同(d2＝d3)。第一距离d1和第四距离d4可大于第二距离d2和第三距离d3(d1和d4>d2和d3)。

夹持部分120可以是双边对称的。例如，第一分支部分121a可具有与第四分支部分121d的形状基本上相同的形状。第二分支部分121b可具有与第三分支部分121c的形状基本上相同的形状。例如，如以上所描述的，第一距离d1可与第四距离d4基本上相同(d1＝d4)，其中第一距离d1可以是第一分支部分121a与中心线c间隔开的距离，第四距离d4可以是第四分支部分121d与中心线c间隔开的距离。第二距离d2可与第三距离d3基本上相同(d2＝d3)，其中第二距离d2可以是第二分支部分121b与中心线c间隔开的距离，第三距离d3可以是第三分支部分121c与中心线c间隔开的距离。另外，第一分支部分121a可具有与第四分支部分121d的宽度基本上相同的宽度(w1＝w4)。第二分支部分121b可具有与第三分支部分121c的宽度基本上相同的宽度(w2＝w3)。因此，拉力可均匀地作用在分割掩模100的例如右侧部和左侧部上，以减少波的发生。

沿着远离分割掩模100的中心的方向，分支部分121a、121b、121c和121d中的每一个可具有逐渐减小的宽度。例如，比第二分支部分121b和第三分支部分121c更远离分割掩模100的中心线c的第一分支部分121a和第四分支部分121d可具有比第二分支部分121b和第三分支部分121c的宽度小的宽度。第一分支部分121a的宽度w1和第四分支部分121d的宽度w4可小于第二分支部分121b的宽度w2和第三分支部分121c的宽度w3(w1和w4<w2和w3)。

多个分支部分121可限定多个凹槽(例如，凹槽123a、123b和123c)。例如，如图2a和2b中所示，第一分支部分121a和第二分支部分121b可限定第一凹槽123a。第二分支部分121b和第三分支部分121c可限定第二凹槽123b。第三分支部分121c和第四分支部分121d可限定第三凹槽123c。凹槽123a、123b和123c中的每一个可限定为如图2a中所示的u形形状。可替代地，如图2b中所示，凹槽123a、123b和123c中的每一个可限定为半球形形状。当凹槽123a、123b和123c被限定为半球形形状时，分支部分121中的每一个可在远离主体部分110的方向上具有减小的宽度。然而，本发明的示例性实施方式不限于此。凹槽123a、123b和123c中的每一个可被限定为曲线或具有基本上恒定倾斜度的直线。

图3是示出根据本发明示例性实施方式的包括分割掩模的掩模框架组件的平面图。

参照图3，掩模框架组件300可通过将多个分割掩模100附接到框架200而制造。在本发明的这种示例性实施方式中，可去除分割掩模100的附接到框架200的夹持部分120。

分割掩模100还可包括接合部分130。接合部分130可设置在以上描述的主体部分110与夹持部分120之间。如图3中所示，接合部分130可例如焊接到框架200，以将分割掩模100附接到框架200。根据本发明示例性实施方式的分割掩模100可以减少波的发生。因此，可以减小分割掩模100的焊接缺陷。

框架200可包括开口区域201。开口区域201可限定在框架200的中央中。框架200可具有四边形环形形状。分割掩模100的至少一部分可设置在框架200上。分割掩模100的开口图案111可设置在开口区域201上。

框架200可包括金属材料。金属材料可具有相对高的刚性。因此，由施加到框架200的压缩或热引起的变形可以基本上被最小化。例如，框架200可包括诸如不锈钢(sus)的金属。

图4a和图4b是示出根据本发明示例性实施方式的使用分割掩模制造掩模框架组件的方法的视图。

图4a是示出将分割掩模100固定到框架200的过程的示意图。如图4a中所示，可由张紧设备保持夹持部分120。拉力t可朝分割掩模100的相对端部作用。在本发明的这种示例性实施方式中，由于离分割掩模100的中心线c越近，分支部分121可具有越大的宽度，因此分割掩模100的主体部分110受到拉力的区域增大。因此，可以减少分割掩模100中的波和下垂。

可例如将接合部分130焊接到框架200，以将分割掩模100附接到框架200。

图4b是示出根据本发明示例性实施方式的去除夹持部分120的过程的示意图。如图4b中所示，可例如切割夹持部分120以去除夹持部分120。可例如重复图4a和图4b中所示的制造过程以将多个分割掩模100附接到框架200。因此，可制造图3中所示的掩模框架组件300。

在下文中，将参照图5、图6和图7详细描述根据本发明示例性实施方式的分割掩模100。可以省略与分割掩模100有关的描述。可假设分割掩模100与以上参照前述附图描述的相应分割掩模相似或相同。

图5是示出根据本发明示例性实施方式的分割掩模100的平面图。图6是示出根据本发明示例性实施方式的分割掩模100的夹持部分120的放大图。

参照图5，夹持部分120可包括五个分支部分121。例如，夹持部分120可包括第一分支部分121a、第二分支部分121b、第三分支部分121c、第四分支部分121d和第五分支部分121e。参照图6，当沿着分割掩模100的中心延伸的线被定义为分割掩模100的中心线c时，分割掩模100的中心线c与沿着第一分支部分121a的中心延伸的线c1之间的距离可被定义为第一距离d1。分割掩模100的中心线c与沿着第二分支部分121b的中心延伸的线c2之间的距离可被定义为第二距离d2。分割掩模100的中心线c与沿着第三分支部分121c的中心延伸的线之间的距离可被定义为第三距离。分割掩模100的中心线c与沿着第四分支部分121d的中心延伸的线c4之间的距离可被定义为第四距离d4。分割掩模100的中心线c与沿着第五分支部分121e的中心延伸的线c5之间的距离可被定义为第五距离d5。第一距离d1可与第五距离d5基本上相同(d1＝d5)。第二距离d2可与第四距离d4基本上相同(d2＝d4)。在本发明的这种示例性实施方式中，第一距离d1和第五距离d5可大于第二距离d2和第四距离d4(例如，d2和d4<d1和d5)。第三距离可以是0。

夹持部分120可以是双边对称的。例如，第一分支部分121a可具有与第五分支部分121e的形状的基本上相同的形状。第二分支部分121b可具有与第四分支部分121d的形状基本上相同的形状。例如，如以上所描述的，第一距离d1可与第五距离d5基本上相同(d1＝d5)，其中第一距离d1可以是第一分支部分121a与中心线c间隔开的距离，第五距离d5可以是第五分支部分121e与中心线c间隔开的距离。第二距离d2可与第四距离d4基本上相同(d2＝d4)，其中第二距离d2可以是第二分支部分121b与中心线c间隔开的距离，第四距离d4可以是第四分支部分121d与中心线c间隔开的距离。另外，第一分支部分121a可具有与第五分支部分121e的宽度基本上相同的宽度(w1＝w5)。第二分支部分121b可具有与第四分支部分121d的宽度基本上相同的宽度(w2＝w4)。相应地，拉力可以均匀地作用在分割掩模100的右侧部和左侧部上。因此，可以减少分割掩模100中的波的发生。

越远离分割掩模100的中心，分支部分121a、121b、121c、121d和121e中的每一个可具有越小的宽度。例如，第一分支部分121a、第二分支部分121b、第四分支部分121d和第五分支部分121e可具有比位于分割掩模100的中心线c处的第三分支部分121c的宽度小的宽度。第一分支部分121a和第五分支部分121e可具有比更靠近分割掩模100的中心线c设置的第二分支部分121b和第四分支部分121d的宽度小的宽度。例如，第一分支部分121a的宽度w1和第五分支部分121e的宽度w5可小于第二分支部分121b的宽度w2和第四分支部分121d的宽度w4。第三分支部分121c的宽度w3可以是最大的(例如，w1和w5<w2和w4<w3)。因此，在分割掩模100的中心部分处受到拉力的区域增大，使得可减少波的发生。

图7是示出根据本发明示例性实施方式的分割掩模100的波测量的结果的视图。

参照图7，x轴可表示第三分支部分121c的宽度。y轴可表示波范围。以下的表1示出根据第三分支部分121c的宽度的波的最小值、波的最大值、波范围以及相对于常规掩模的波的波减少量。波的最大值和波的最小值分别表示波峰和波谷相对于分割掩模100的平坦部分的高度值，以及波范围为波的最大值与波的最小值的绝对值之和。

【表1】

参照表1，随着第三分支部分121c的宽度增大，波的最小值可以增大，并且波的最大值可以减小。相应地，如图7中所示，分割掩模100中产生的波的范围可随着第三分支部分121c的宽度增大而减小。因此，随着在分割掩模100的中心部分中受到拉力的区域增大，可减少分割掩模100的波。

图8a和图8b是示出根据本发明示例性实施方式的分割掩模的波测量的结果的视图。图8a是示出根据波的高度以不同颜色表示的分割掩模的对比示例的波测量结果的视图。图8b是示出根据波的高度以不同颜色表示的包括第三分支部分121c的分割掩模的波测量结果的视图，其中第三分支部分121c具有为分割掩模的对比示例的宽度的两倍大小的宽度。

随着波的高度减小，掩模的颜色的波长可以缩短。随着波的高度增加，掩模的颜色的波长可以加长。参照图8a和图8b，与分割掩模的对比示例相比，在包括具有比分割掩模的对比示例的宽度宽的第三分支部分121c的分割掩模中，可以减少波。

根据本发明的示例性实施方式，可以减少分割掩模中波的发生。因此，可降低掩模框架组件的焊接缺陷，并且可以提高图案化精确度。

此外，可以制造具有约18μm或更小厚度的相对薄的分割掩模，而不需要额外的过程。

从上述内容将理解的是，出于说明的目的，本文中已经描述了根据本公开的各种示例性实施方式，并且在不背离本教导的范围和精神的情况下，可以进行各种修改。因此，本文中公开的各种示例性实施方式不旨在限制本教导的真实范围和精神。以上描述的及其它实施方式的各种特征可以以任何方式混合和匹配，以产生与本发明一致的其它实施方式。