本实用新型涉及载板检测设备技术领域，尤其涉及一种PECVD载板安装检测平台。
背景技术：
硅基异质结电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。PECVD系统是模块化系统，将硅片制绒及清洗预处理之后，硅片通过上料机构放置到载板上，进入预热腔室，然后完成i，n(或p)层沉积，之后通过具有冷却功能的冷却机构进入下料机构。其中，硅片进入PECVD 系统反应时是通过放在载板上来实现，载板是由两条铝边框与两条碳纤维边框通过螺丝固定形成正方形外框，然后在外框内嵌入钨丝并拉紧钨丝，最后在钨丝之间嵌入16个支撑框，每个支撑框用于承载4片硅片。
目前，对于PECVD载板的安装，安装精度不高，无法完全满足自动上下料机构的使用要求；安装效率较低。因此，很有必要开发一种有效的安装平台，克服现有技术和设备上的不足，使载板安装能够实现标准化、规范化。
技术实现要素：
针对上述问题，本实用新型提供了一种标准化、规范化、高精度的PECVD 载板安装检测平台。
为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种PECVD 载板安装检测平台，包括机架，安装在机架上下两层上的不锈钢板，所述机架上层不锈钢板面固定有两块并排的铝标准面板，每块铝板标准面板的一侧装有两个用激光打标的刻度尺，所述铝标准面板两侧的不锈钢板面上分别设有支撑板，所述支撑板上安装载板外框，每块支撑板上设有用于载板外框定位安装的定位块，所述载板外框之间嵌入拉紧的钨丝，钨丝之间套入支撑框。
进一步的，所述机架的四个角装有四个万向轮。
进一步的，所述每块支撑板上的定位块设有七块，七块定位块形成用于放置载板外框的槽。
进一步的，所述支撑框为2*2框体，每个支撑框分别与铝板标准面板上的刻度尺对应。
由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：
本实用新型载板安装简单方便，即可保证安装精度同时提高安装的效率，减少安装人员劳动强度；通过支撑框与安装平台标准面的贴合度，就可以直观的观察出各个支撑框的平整度，更换贴合度不好的支撑框，从而保证载板上各个支撑框的一致性，实现PECVD载板安装的标准化、规范化、高精度。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型一种PECVD载板安装检测平台的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例
参考图1，一种PECVD载板安装检测平台，包括机架1，安装在机架上下两层上的不锈钢板2，不锈钢板2为1mm厚，所述机架上层不锈钢板2面固定有两块并排的铝标准面板3，铝标准面板350mm厚，用于检测支撑框的平整度，每块铝板标准面板3的一侧装有两个用激光打标的刻度尺4，刻度尺为150mm，用于测量支撑框位置一致性，所述铝标准面板3两侧的不锈钢板面上分别设有支撑板5，所述支撑板5上安装载板外框6，每块支撑板5 上设有用于载板外框定位安装的定位块7，所述载板外框6之间嵌入拉紧的钨丝8，钨丝8之间套入支撑框9，通过观察支撑框9与底下铝板标准面板 3的贴合度，可以直观的检测出支撑框9的平整度，对于贴合度不好的支撑框9予以更换。
所述机架1的四个角装有四个万向轮10，便于安装平台移动。
所述每块支撑板5上的定位块7设有七块，七块定位块7形成用于放置载板外框6的槽，载板外框6安装简单方便保证了安装精度。
所述支撑框9为2*2框体，每个支撑框9分别与铝板标准面板上的刻度尺4对应，通过查看四个角的支撑框9在铝板标准面板上刻度尺4的位置，检查支撑框9位置的一致性。
本实用新型载板安装简单方便，即可保证安装精度同时提高安装的效率，减少安装人员劳动强度；通过支撑框与安装平台标准面的贴合度，就可以直观的观察出各个支撑框的平整度，更换贴合度不好的支撑框，从而保证载板上各个支撑框的一致性，实现PECVD载板安装的标准化、规范化、高精度。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。