技术特征：
技术总结
本发明提供一种掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统，该掩膜装置包括框架、条状对位板和条状支撑板，在条状对位板中设置有镂空部，且条状对位板固定在框架上；条状支撑板与条状对位板相互交叉，并且在条状支撑板的与框架相对的表面上设置有多个焊点。本发明提供的掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统的技术方案，可以避免条状对位板材料的浪费及给后续的对位工作带来困难。
技术研发人员：吕守华;黄俊杰;张德;赵蓉
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
技术研发日：2018.03.22
技术公布日：2018.08.24