本发明涉及柔性无胶基材设备技术领域，具体为一种新型柔性无胶基材制造设备。
背景技术：
随着人们对高性能电子产品轻量化、集成化的不断追求，柔性印制电路板得到了长足的发展。除了轻薄、可静态弯曲的特点外，其甚至可作动态的弯曲、卷曲和折叠。聚酰亚胺是一类重要的高性能聚合物，广泛应用在航空航天、微电子、汽车、石油等高科技领域。加之其结构上的可设计性，更丰富了聚酰亚胺的使用范围。目前，常见的柔性覆铜板主要为三层型覆铜板，采用胶粘剂将绝缘基膜与金属箔粘合而成。胶粘剂的存在改善了绝缘基膜与金属箔较差的结合能力，但三者热膨胀系数的不匹配也是材料脱层破坏的主要原因。并且现有的基材制造设备不具有除尘和减振降噪的功能，因此设计一种新型柔性无胶基材制造设备是很有必要。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种新型柔性无胶基材制造设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种新型柔性无胶基材制造设备，一种新型柔性无胶基材制造设备，包括真空室、沉积设备、分子泵、注入设备、放卷轴、膜基材、滚轴、支撑座、厚度检测装置、ccd成像装置、收卷轴、传动机构和除尘机构，所述真空室的内部依次安装有放卷轴、滚轴和收卷轴，所述膜基材的一端缠绕在放卷轴上，且另一端绕过滚轴与收卷轴连接，所述真空室的内部设置有两注入设备，且均位于放卷轴的两侧，所述真空室的内部设置有传动机构，所述真空室的内部设置有四套沉积设备，且沉积设备的一侧出口均设置有ccd成像装置，所述真空室的内部均匀设置有分子泵，所述收卷轴的一侧设置有厚度检测装置；所述真空室的一侧设置有除尘机构；
所述除尘机构包括进水管、引风机、进气管、除尘箱、第一滤网、第二滤网、水泵、水槽、回水管、第三滤网、喷头和排气管，所述真空室的一侧通过进气管与引风机连接，所述引风机通过进气管与除尘箱连接，所述除尘箱的顶部通过螺栓固定有排气管，所述除尘箱的内部通过设置有第一滤网，所述除尘箱的一侧通过回水管与水槽连接，且回水管的一端设置有第二滤网，所述水槽的内部设置有第三滤网，所述水槽的一侧设置有水泵，所述水泵的一侧通过螺栓固定有进水管，所述进水管的穿过除尘箱与内部设置的喷头连接；所述真空室的底部设置有支撑座；
所述支撑座包括连接板、支撑柱、套筒、弹簧、支撑板、滑块和限位板，所述支撑板的顶部安装有套筒，所述套筒的底部内壁通过弹簧与限位板连接，所述限位板的两侧均安装有滑块，所述限位板的顶部通过螺栓固定有支撑柱，所述支撑柱穿过套筒与连接板连接。
根据上述技术方案，所述沉积设备包括第一脉冲线包、抑制线包、过滤弯管、弯管磁场和沉积设备壳体，所述沉积设备壳体的内部均匀设置有第一脉冲线包、抑制线包、过滤弯管和弯管磁场。
根据上述技术方案，所述弯管磁场包括第二脉冲线包、直流线包和高脉冲聚焦线包，所述直流线包位于第二脉冲线包和高脉冲聚焦线包的中间处。
根据上述技术方案，所述放卷轴、滚轴和收卷轴均与真空室通过轴承连接，且滚轴有六根。
根据上述技术方案，所述分子泵有八个，且与真空室均通螺栓固定连接。
根据上述技术方案，所述第一滤网与除尘箱通过螺栓连接，且位于喷头的正下方。
根据上述技术方案，所述放卷轴、滚轴和收卷轴的一侧均设置有水冷设备。
根据上述技术方案，所述弹簧与限位板和套筒均通过焊接固定，所述支撑柱与连接板和限位板均通过螺栓连接。
与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：该发明，分子泵的安装位置，为保证真空腔室的高真空特性，在沉积时因温度变化会产生释气，本发明分子泵的安装位置极大的减少了释气对腔室真空的影响；弧源断弧与传动机构互动装置，因某特殊原因可能造成弧源的断弧，断弧时传动机构能够迅速检测断弧位置，对传动速度进行有效调整实现膜层的均匀镀制；厚度检测装置的安装，通过原位测量横向的表面电阻率能够迅速了解膜层的表面厚度，能极大的方便膜层的在线监测；ccd成像装置安装在各个弧源口，能够方便实现电脑监控，同时成像装置中配置等离子体光谱仪能够在线原位监测等离子体密度等信息实现等离子体密度反馈，通过反馈电脑实现等离子密度的调整；除尘机构的设置，便于除尘，保证真空室内部的干净；支撑座的设置，便于降低振动，保证设备工作的稳定性。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明的整体内部结构示意图；
图2是本发明的沉积设备结构示意图；
图3是本发明的弯管磁场结构示意图；
图4是本发明的整体侧视结构示意图；
图5是本发明的除尘机构结构示意图；
图6是本发明的支撑座结构示意图；
图中：1、真空室；2、沉积设备；21、第一脉冲线包；22、抑制线包；23、过滤弯管；24、弯管磁场；241、第二脉冲线包；242、直流线包；243、高脉冲聚焦线包；25、沉积设备壳体；3、分子泵；4、注入设备；5、放卷轴；6、膜基材；7、滚轴；8、支撑座；81、连接板；82、支撑柱；83、套筒；84、弹簧；85、支撑板；86、滑块；87、限位板；9、厚度检测装置；10、ccd成像装置；11、收卷轴；12、传动机构；13、除尘机构；130、进水管；131、引风机；132、进气管；133、除尘箱；134、第一滤网；135、第二滤网；136、水泵；137、水槽；138、回水管；139、第三滤网；1311、喷头；1312、排气管。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种新型柔性无胶基材制造设备，包括真空室1、沉积设备2、分子泵3、注入设备4、放卷轴5、膜基材6、滚轴7、支撑座8、厚度检测装置9、ccd成像装置10、收卷轴11、传动机构12和除尘机构13，真空室1的内部依次安装有放卷轴5、滚轴7和收卷轴11，膜基材6的一端缠绕在放卷轴5上，且另一端绕过滚轴7与收卷轴11连接，真空室1的内部设置有两注入设备4，且均位于放卷轴5的两侧，真空室1的内部设置有传动机构12，真空室1的内部设置有四套沉积设备2，且沉积设备2的一侧出口均设置有ccd成像装置10，真空室1的内部均匀设置有分子泵3，收卷轴11的一侧设置有厚度检测装置9；真空室1的一侧设置有除尘机构13；除尘机构13包括进水管130、引风机131、进气管132、除尘箱133、第一滤网134、第二滤网135、水泵136、水槽137、回水管138、第三滤网139、喷头1311和排气管1312，真空室1的一侧通过进气管132与引风机131连接，引风机131通过进气管132与除尘箱133连接，除尘箱133的顶部通过螺栓固定有排气管1312，除尘箱133的内部通过设置有第一滤网134，除尘箱133的一侧通过回水管138与水槽137连接，且回水管138的一端设置有第二滤网135，水槽137的内部设置有第三滤网139，水槽137的一侧设置有水泵136，水泵136的一侧通过螺栓固定有进水管130，进水管130的穿过除尘箱133与内部设置的喷头1311连接；真空室1的底部设置有支撑座8；支撑座8包括连接板81、支撑柱82、套筒83、弹簧84、支撑板85、滑块86和限位板87，支撑板85的顶部安装有套筒83，套筒83的底部内壁通过弹簧84与限位板87连接，限位板87的两侧均安装有滑块86，限位板87的顶部通过螺栓固定有支撑柱82，支撑柱82穿过套筒83与连接板81连接；沉积设备2包括第一脉冲线包21、抑制线包22、过滤弯管23、弯管磁场24和沉积设备壳体25，沉积设备壳体25的内部均匀设置有第一脉冲线包21、抑制线包22、过滤弯管23和弯管磁场24，便于沉积；弯管磁场24包括第二脉冲线包241、直流线包242和高脉冲聚焦线包243，直流线包242位于第二脉冲线包241和高脉冲聚焦线包243的中间处，便于使用；放卷轴5、滚轴7和收卷轴11均与真空室1通过轴承连接，且滚轴7有六根，便于保证连接的稳定性；分子泵3有八个，且与真空室1均通螺栓固定连接，便于固定分子泵3；第一滤网134与除尘箱133通过螺栓连接，且位于喷头1311的正下方，便于固定第一滤网134，方便除尘；放卷轴5、滚轴7和收卷轴11的一侧均设置有水冷设备，便于对放卷轴5、滚轴7和收卷轴11进行水冷；弹簧84与限位板87和套筒83均通过焊接固定，支撑柱82与连接板81和限位板87均通过螺栓连接，便于保证连接的稳定性；膜基材6从放卷轴5开始，随着滚轴7转动，依次经过注入设备4、沉积设备2，对膜基材6进行金属化处理，最后通过收卷轴11对其进行收卷，并通过厚度检测装置9对其厚度进行检测；引风机131工作将真空室1内部灰尘通过进气管132通到除尘箱133中，第一滤网134对其进行第一次除尘，水泵136工作，将水槽137中的水抽到进水管130中，再通过喷头1311喷洒水，进行除尘，并将第一滤网134上的灰尘洒落到底部，第二滤网135将灰尘过滤后，水通过回水管138流到水槽137中，便于循环用水，同时水槽137也可以存储雨水，节约水资源；连接板81受到压力会通过支撑柱82压缩弹簧84，滑块86带动限位板87滑动，在连接板81、支撑柱82、套筒83、弹簧84、支撑板85、滑块86和限位板87的共同作用下，具有良好的减振降噪的作用，便于设备工作的稳定性。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。