本发明属于表面处理技术领域，具体涉及一种适用于等离子体喷涂的喷砂工艺。
背景技术
在液晶面板或者半导体产品生产过程中，通常通过干法刻蚀工艺对玻璃基板和芯片进行刻蚀，以制作相应的图形。在刻蚀产品的同时，干法刻蚀的环境对腔体结构部件和功能部件同样的进行了刻蚀，在频繁的使用中，容易产生剥离和大量的尘埃粒子，污染刻蚀环境，造成产品刻蚀众多不良，而这样的部件也不能重复使用。因此需要在腔体及部件表面做抗腐蚀膜层，通过定期的更新膜层，提供优良的刻蚀环境和增加腔体的使用寿命。
在喷涂抗腐蚀膜层前，需要进行前序加工，以增加工件基体表面的粗糙度，并且对表面污染物进行剥离达到清洁的目的，否则抗腐蚀膜层不易粘附；。
技术实现要素：
本发明提供一种适用于等离子体喷涂的喷砂工艺，目的是增加基体表面粗糙度，便于提高后续涂层的质量。
为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种适用于等离子体喷涂的喷砂工艺，包括如下步骤：
步骤一、对工件基体清洗除杂及干燥；
步骤二、对工件非喷涂面进行包敷遮蔽处理；
步骤三、对固定好的工件基体的喷涂面喷砂，喷砂压力为0.1～0.4mpa，喷砂高度为20～100cm。
所述工件为金属材质，喷砂压力为0.2～0.3mpa，喷砂高度为50～100cm。
所述工件为陶瓷材质，喷砂压力为0.25～0.4mpa，喷砂高度为20～50cm。
所述工件喷砂后表面粗糙度大于3.0μm。
所述步骤一中工件清洗除杂及干燥是对工件表面先去除油污，之后水洗，然后采用氮气气枪吹干；对上下部电极采用表面-侧面-背面-表面的纯水清洗方式进行清洗，之后采用氮气气枪吹干，55-65℃条件下干燥24h。
所述去除油污是采用质量分数0.2％的碱液浸渍13-20s以除油污。
所述喷砂的方式为机器人手臂自动喷砂，喷砂压力为0.2～0.4mpa，自动喷砂的方法是匀速移动喷枪进行弓字形路线连续移动，直至表面扫描完毕，下次的喷枪移动方向与上次的垂直。
所述喷砂的砂子为46-300目的人造刚玉。
本发明的有益效果：本发明通过喷砂工艺，增加工件基体表面的粗糙度，且提供一种清洁的结合界面，有助于提高后续涂层的质量，提高基体的粘结强度、硬度、耐腐蚀性能、耐磨损性能、延长使用寿命。本发明工艺简单，喷砂质量好，喷砂效率高，除了能够满足喷砂工艺的要求，砂子可多次重复使用，降低成本，而且提高了工作效率。本发明也能够作为已制备好的无机涂层表面降低粗糙度的喷砂方法。
具体实施方式
下面通过对实施例的描述，对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明，目的是帮助本领域的技术人员对本发明的构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解，并有助于其实施。
刻蚀产品中，构成干刻腔体环境的部件为表面光洁的陶瓷和部分合金铝板，由于表面粗糙度度太小，涂层的粘合力不足，不能满足应用环境的要求，因此需要对这些工件表面进行处理，增加粗糙度，本发明提供了一种增加金属或陶瓷部件基体表面粗糙度的喷砂方法，其能有效的增加基体表面粗糙，且能有效的清洁表面污染物，从而提高涂层的结合力，有效提高产品的抗腐蚀能力，耐磨性，提高了使用寿命，延缓了腔体的周转频率。其技术方案如下：
首先，对工件基体部件进行喷砂前检查，确认产品基体表面情况和待喷砂部位；打开压缩气阀，检查气压是否正常；检查喷砂系统，装砂目数是否准确，砂量是否够用，腔体出砂是否正常。其次，对陶瓷和金属(合金)薄板部件进行简单清洗，采用浓度为0.2％碱液浸渍13-20s以去除表面油污(浸渍时间优选为15s左右)，用纯水进行二次加压(0.2～0.4mpa)清洗，随后用氮气气枪吹干，55-65℃干燥24小时；对于上、下部电极清洗，采用表面-侧面-背面-表面的高压(2.4～3.4mpa)纯水清洗方式，清洗好的电极，用氮气气枪吹干，55-65℃干燥24小时。然后，对工件非喷涂面用喷涂专用胶带包敷，固定好工件，然后对工件基体喷砂，砂罐中装入46～100目(金属、陶瓷薄件)，100～230目(上、下电极)人造白刚玉，将喷砂压力调至0.2～0.3mpa(金属)，0.25～0.4mpa(陶瓷、上下电极)喷砂高度(出砂的枪头至工件表面的垂直距离)为50～100cm(金属)，20～50cm(陶瓷、上下电极)。采用机器人喷枪自动先喷一遍，进行表面粗糙度测量，粗糙度大于3.0um即可，如果不符，继续喷砂。喷砂完毕后，拆除胶带，用纯水清洗工件，用气枪将其吹干。对于粗糙度有特殊要求的产品，采用100目、200目、300目等的人造刚玉以手动喷砂方式进行涂层表面粗糙度修饰，将喷砂压力调至0.1～0.25mpa，喷砂距离调整至15～20cm，匀速移动喷枪进行弓字形路线连续移动，直至表面扫描完毕，下次的喷枪移动方向与上次的垂直，可以获得更为平整的表面，测试粗糙度降低至要求即可。
下面通过具体的实例进行详细说明：
实施例1
一种增加金属部件基体表面粗糙度的喷砂方法，包括如下步骤：
(1)对工件基体部件进行喷砂前检查，确认产品基体表面情况和待喷砂部位；打开压缩气阀，检查气压是否正常；检查喷砂系统，装砂目数是否准确，砂量是否够用，腔体出砂是否正常。若一切正常，则进行下一步操作。
(2)对合金薄板部件进行简单清洗，采用浓度为0.2％碱液浸渍15s以去除表面油污，用纯水进行二次加压清洗，随后用氮气气枪吹干；对于上、下部电极采用表面-侧面-背面-表面的高压纯水清洗方式，清洗好的电极，用氮气气枪吹干，55℃干燥24小时。
(3)对工件非喷涂面用喷涂专用胶带包敷，固定好工件，然后对工件基体喷砂，砂罐中装入46目人造白刚玉，将喷砂压力调至0.25mpa，喷砂高度(出砂的枪头至工件表面的垂直距离)为55cm。采用机器人喷枪自动先喷一遍，进行表面粗糙度测量，粗糙度大于3.0um即可，如果不符，继续喷砂。喷砂完毕后，拆除胶带，用纯水清洗工件，用气枪将其吹干。
实施例2
一种增加陶瓷部件基体表面粗糙度的喷砂方法，包括如下步骤：
(1)对工件基体部件进行喷砂前检查，确认产品基体表面情况和待喷砂部位；打开压缩气阀，检查气压是否正常；检查喷砂系统，装砂目数是否准确，砂量是否够用，腔体出砂是否正常。若一切正常，则进行下一步操作。
(2)对陶瓷薄板部件进行简单清洗，采用浓度为0.2％碱液浸渍15s以去除表面油污，用纯水进行二次加压清洗，随后用氮气气枪吹干，55℃干燥24小时。
(3)对工件非喷涂面用喷涂专用胶带包敷，固定好工件，然后对工件基体喷砂，砂罐中装入46目人造白刚玉，将喷砂压力调至0.3mpa，喷砂高度(出砂的枪头至工件表面的垂直距离)为45cm。采用机器人喷枪自动先喷一遍，进行表面粗糙度测量，粗糙度大于3.0um即可，如果不符，继续喷砂。喷砂完毕后，拆除胶带，用纯水清洗工件，用气枪将其吹干。
通过上述实施例喷砂后的基体，耐腐蚀性能及强度、硬度均有提高，使用寿命能提高2-4倍，之后再喷涂涂层时，涂层与工件基体之间的结合力达到8mpa以上，具有优异的耐等离子刻蚀气体腐蚀性能。
以上对本发明进行了示例性描述。显然，本发明具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本发明的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进；或未经改进，将本发明的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本发明的保护范围之内。