技术特征:
技术总结
本发明公开了提供一种等离子体淀积炉的反应室结构,包括:内层石英管,其内部为用于盛装反应气体的反应腔;外层石英管,其套在内层石英管外并与所述内层石英管同轴,外层石英管与所述内层石英管之间具有间距;用于将反应气体电离产生碳原子的电感线圈,其缠绕在内层石英管上,且电感线圈沿内层石英管的轴向延伸,电感线圈与射频电源连接。本发明电感线圈通入射频电源后,电感线圈将反应腔内的反应气体电离产生碳原子,这样碳原子会一层一层的落在铜箔或铝箔上,而碳原子与碳原子之间会通过化学键联接在一起,从而在铜箔或铝箔上生长出石墨烯,这样石墨烯具有特定的结构,更有利于锂离子电池的储能,从而使该锂离子电池具有更高的能量密度。
技术研发人员:杨宝立;张勇;李时俊;伍波
受保护的技术使用者:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
技术研发日:2018.12.13
技术公布日:2019.02.22