技术特征:
技术总结
本发明提供了一种大口径平面镜的轮廓检测装置及其检测方法,包括机床、设置于机床上的旋转台、移动机构、摆臂轮廓仪、电子水平仪以及被检平面镜,被检平面镜设置于旋转台上,旋转台带动被检平面镜绕被检平面镜的轴线转动。摆臂轮廓仪包括依次连接的摆臂转台、摆臂杆和摆臂测头,摆臂测头对应被检平面镜的被检面设置,摆臂转台与移动机构连接,电子水平仪设置于移动机构上,电子水平仪与摆臂转台跟随移动机构同步移动。本技术方案,将摆臂轮廓仪和电子水平仪集成在机床上组合使用,不需要在加工工位和检测工位之间往复运输,缩短了加工周期,且对机床滑轨误差进行了有效抑制,扩大了摆臂轮廓仪的应用范围。
技术研发人员:戚二辉;罗霄;张学军;熊玲
受保护的技术使用者:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
技术研发日:2018.12.26
技术公布日:2019.05.17