一种划片机的砂轮片状态检测装置的制作方法

文档序号:16821555发布日期:2019-02-10 22:50阅读:574来源:国知局
一种划片机的砂轮片状态检测装置的制作方法

本实用新型涉及划片机领域,特别涉及一种划片机的砂轮片状态检测装置。



背景技术:

砂轮划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。其高速主轴的转速最高可达60000转/分钟,划片时,利用安装在主轴轴头上高速旋转的、厚度仅为0.025mm的超薄金刚石砂轮刀片,沿著大晶圆片上晶粒与晶粒间的切割线进行划切,划切轨迹不能偏离切割线,切割过后不能造成晶粒崩塌或裂痕等缺陷。其主要用于对硅集成电路、发光二极管、铌酸锂、压电陶瓷、砷化镓、蓝宝石、石英、玻璃、陶瓷、太阳能电池片等材料的精密划切加工。

对于砂轮划片机,砂轮片是整机的关键执行部件。在划片中,由于存在冷却水、砂轮片转速高、厚度薄等影响因素,会导致砂轮片损坏,目前对于刀片损坏的检测,主要是通过人工观察的方式进行,这种方式过分的依赖于操作者的经验,若在划片过程中,操作者没有发现砂轮片已经破碎,继续对零件进行加工,有可能损坏被加工件,另外砂轮片磨损后,划片的加工深度无法保证一致,会造成加工产品质量的下降,降低生产效率。



技术实现要素:

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的是提供一种划片机的砂轮片状态检测装置,该装置设计合理、结构简单,便于安装和维护,节约了大量的人力及物力。

本实用新型所采用的技术方案是:一种划片机的砂轮片状态检测装置,包括工业计算机,其技术要点是,包括光纤头、放大器及砂轮片,在光纤头发光端与光纤头接收端之间设置砂轮片,所述的砂轮片通过法兰固定在划片机的主轴上,光纤头发光端通过光纤连接放大器的一个输出端,光纤头接收端通过光纤连接放大器的输入端,放大器的另一个输出端连接工业计算机。

上述方案中,所述的工业计算机是一种对放大器发射的光信号和接收到的光信号进行比较,并判断砂轮片是否损坏的装置。

本实用新型的有益效果是:该划片机的砂轮片状态检测装置,利用光纤头检测光信号,将前后两侧检测到的光信号送入工业计算机中进行计算后可知砂轮片是否损坏,该装置可以在划片过程中,对砂轮片进行实时动态的定量评价,能够及时发现砂轮片破损并进行补偿,保证划片深度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中划片机的砂轮片状态检测装置的原理图;

图中序号说明如下:1砂轮片、2法兰、3光纤头接收端、4光纤头发光端、5放大器、6工业计算机、7光纤。

具体实施方式

使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图1和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

本实施例中采用的检测装置,包括光纤头、放大器5、砂轮片1及工业计算机6,在光纤头发光端4与光纤头接收端3之间设置砂轮片1,砂轮片1通过法兰2固定在划片机的主轴上,光纤头发光端4通过光纤7连接放大器5的一个输出端,光纤头接收端3通过光纤7连接放大器5的输入端,放大器5的另一个输出端连接工业计算机6,放大器5将光信号转好为电信号后输入工业计算机6进行比较。本实施例中的工业计算机6用于对放大器5发射的光信号和接收到的光信号进行比较,并判断砂轮片1是否损坏。

本实施例以外径56mm的砂轮片1为例,在转速为60000转/分钟的时候,放大器5采用日本山武的HPX-MA型号,与光纤HPF-T001组合使用,可达到响应时间l20ms的效果,可以检测到的砂轮片最小破损小于1*1mm。

以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

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