一种划片机的划切控制方法、装置及划片的制造方法
【专利摘要】本发明提供一种划片机的划切控制方法、装置及划片机，解决双轴划切刀划切效率低的问题。其中，所述划片机的划切控制方法包括：在划片机的第一轴划切刀与第二轴划切刀相对运动对加工物进行划切时，确定所述第一轴划切刀划切的第一位置以及所述第二轴划切刀划切的第二位置；在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀中任一轴划切刀运动到所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置，运动到所述第三位置的划切刀在与该划切刀原运动方向相反的方向进行划切，同时未被运动至第三位置的划切刀继续对所述加工物进行划切。这样保证双轴划切刀的刀具安全，实现全流程双轴划切，提高划切效率。
【专利说明】一种划片机的划切控制方法、装置及划片机
【技术领域】
[0001]本发明涉及划片机领域，特别是涉及一种划片机的划切控制方法、装置及划片机。【背景技术】
[0002]现代半导体电路生产设备中用于划切晶圆(或玻璃基板，陶瓷等加工物)的划片机，无论是带有上下料机械手的全自动划片机，还是由人工上下料的半自动划片机，都是使用单轴或双轴对晶圆进行划切。对于单轴划片机，整个划切流程完全由单轴划切，效率较低，即将被淘汰；目前主流的双轴划片机，工作中可以使用双轴划切刀划切，划切效率是单轴二倍，而且能够施行单轴无法施行的工艺，如阶梯划切，即一划切刀先开槽，另一划切刀再划透。
[0003]根据划片机Y向双轴左右分列的布局，在双轴各自一刀透切模式下，双轴划切刀同时从工作台左右两端向中间对切，由于划片机机械结构限制，为了避免高速旋转的双轴碰在一起，损坏空气主轴和刀具，双轴间的最近距离不能小于双轴间的安全距离，因而在现有技术中，双轴划切刀划切到双轴的安全距离后，只能由其中一轴完成剩余的划切，影响双轴效率的发挥。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于提供一种划片机的划切控制方法、装置及划片机，解决在双轴划切刀划切到双轴的安全距离后，只能由其中一轴划切刀完成剩余的划切，影响双轴发挥效率的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本发明实施例提供一种划片机的划切控制方法，所述划片机具有第一轴划切刀与第二轴划切刀，其中，所述方法包括:
[0006]在所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动对加工物进行划切时，确定所述第一轴划切刀划切的第一位置以及所述第二轴划切刀划切的第二位置；
[0007]在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀中任一轴划切刀运动到所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置；其中，位于所述第三位置的划切刀与另一划切刀之间的距离大于或者等于所述预设安全距离的一半；
[0008]运动到所述第三位置的划切刀在与该划切刀原运动方向相反的方向进行划切，同时未被运动至所述第三位置的划切刀继续对所述加工物进行划切。
[0009]进一步地，在所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动对加工物进行划切时，确定所述第一轴划切刀划切的第一位置以及所述第二轴划切刀划切的第二位置的步骤包括:
[0010]获取所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动、对所述加工物的第一通道内的划割道进行划切时，所述第一轴划切刀所处的划割道的第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的第二实时运动位置；[0011]当所述第一实时运动位置与所述第二实时运动位置之间的距离等于所述预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀停止划切，并将所述第一轴划切刀停止划切时所处的划割道确定为所述第一位置，以及将所述第二轴划切刀停止划切时所处的划割道确定为所述第二位置。
[0012]进一步地，在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀中任一轴划切刀运动到所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置的步骤包括:
[0013]在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于所述预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀停止划切后，控制所述第一轴划切刀从所述第一位置运动到所述第一位置与所述第二位置之间的所述第三位置；或者
[0014]控制所述第二轴划切刀从所述第二位置运动到所述第一位置与所述第二位置之间的所述第三位置。
[0015]进一步地，运动到所述第三位置的划切刀在与该划切刀原运动方向相反的方向进行划切，同时未被运动至所述第三位置的划切刀继续对所述加工物进行划切的具体步骤包括:
[0016]在所述第一轴划切刀运动到所述第三位置时，所述第一轴划切刀从所述第三位置划切至所述第一位置，同时所述第二轴划切刀从所述第二位置划切至所述第三位置；或者
[0017]在所述第二轴划切刀运动到所述第三位置时，所述第二轴划切刀从所述第三位置划切至所述第二位置，同时所述第一轴划切刀从所述第一位置划切至所述第三位置。
[0018]进一步地，获取所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动、对所述加工物的第一通道内的划割道进行划切时，所述第一轴划切刀所处的划割道的第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的第二实时运动位置的具体步骤包括:
[0019]获取所述加工物的所述第一通道内的划割道总数以及每个划割道在Y向电机坐标系下的划割道坐标；
[0020]根据所述划割道总数以及所述划割道坐标，获得所述第一轴划切刀所处的划割道的所述第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的所述第二实时运动位置。
[0021]进一步地，根据所述划割道总数以及所述划割道坐标，获得所述第一轴划切刀所处的划割道的所述第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的所述第二实时运动位置的具体步骤包括:
[0022]获取与图像对准的所述加工物的第一划割道坐标，和所述加工物的中心点Y向的第二坐标、划割道的间距以及所述加工物的半径，得到Y向电机坐标下的第一坐标；
[0023]根据所述第一坐标、所述第二坐标、所述划割道的间距以及所述加工物的半径，获取所述加工物的所述第一通道内的所述划割道总数以及每个划割道在Y向电机坐标系下的所述划割道坐标。
[0024]相应的，为了解决上述技术问题，本发明实施例还提供一种划片机的划切控制装置，应用于划片机，所述划片机具有第一轴划切刀与第二轴划切刀，其中，所述装置包括:
[0025]处理模块，用于在所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动对加工物进行划切时，确定所述第一轴划切刀划切的第一位置以及所述第二轴划切刀划切的第二位置；
[0026]第一运动控制模块，用于在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀中任一轴划切刀运动到所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置；其中，位于所述第三位置的划切刀与另一划切刀之间的距离大于或者等于所述预设安全距离的一半；
[0027]第二运动控制模块，用于控制运动到所述第三位置的划切刀在与该划切刀原运动方向相反的运动进行划切，同时控制未被运动至所述第三位置的划切刀继续对所述加工物进行划切。
[0028]进一步地，所述处理模块包括:获取单元，用于获取所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动、对所述加工物的第一通道内的划割道进行划切时，所述第一轴划切刀所处的划割道的第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的第二实时运动位置；
[0029]处理单元，用于当所述第一实时运动位置与所述第二实时运动位置之间的距离等于所述预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀停止划切，并将所述第一轴划切刀停止划切时所处的划割道确定为所述第一位置，以及将所述第二轴划切刀停止划切时所处的划割道确定为所述第二位置。
[0030]进一步地，所述第一运动控制模块包括:
[0031]第一运动控制单元，用于在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于所述预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀停止划切后，控制所述第一轴划切刀从所述第一位置运动到所述第一位置与所述第二位置之间的所述第三位置；或者
[0032]控制所述第二轴划切刀从所述第二位置运动到所述第一位置与所述第二位置之间的所述第三位置。
[0033]进一步地，所述第二运动控制模块包括:
[0034]第二运动控制单元，用于在所述第一轴划切刀运动到所述第三位置时，控制所述第一轴划切刀从所述第三位置划切至所述第一位置，同时控制所述第二轴划切刀从所述第二位置划切至所述第三位置；或者
[0035]在所述第二轴划切刀运动到所述第三位置时，控制所述第二轴划切刀从所述第三位置划切至所述第二位置，同时控制所述第一轴划切刀从所述第一位置划切至所述第三位置。
[0036]为了解决上述技术问题，本发明实施例还提供了一种划片机，包括如上述所述的划片机的划切控制装置。
[0037]本发明的上述技术方案的有益效果如下:
[0038]本发明的方案中，第一轴划切刀处于第一位置时，第二轴划切刀处于第二位置，由于第一位置和第二位置之间的距离是预设安全距离，所以控制第一轴划切刀和第二轴划切刀中任一轴划切刀移动到第一位置与第二位置之间的第三位置，然后被运动的划切刀在与原方向相反的方向划切加工物，同时未被运动至第三位置的划切刀继续划切加工物，此后双轴同向划切，直至划切完成。通过确定预定安全距离确保第一轴划切刀和第二轴划切刀的刀片在整个划切流程中安全，这样在划切加工物的整个流程中都是双轴划切刀同时工作，提高划切效率，提高工业生产量。
【专利附图】
【附图说明】[0039]图1为本发明实施例的划切控制方法的基本步骤示意图；
[0040]图2为本发明实施例双轴划切刀的预设安全距离D>2*Dsafe时，Yl和Y2相对运动的示意图；
[0041]图3为本发明实施例的Y2保持不动，Yl从初始位置直接运动至第三位置的示意图；
[0042]图4为本发明实施例的双轴划切刀的预设安全距离D=2*Dsafe时，任一轴划切刀准备运动到第三位置的示意图；
[0043]图5为本发明实施例的:Y1保持不动，Y2运动至第三位置，Yl和Y2向左同向划切的不意图；
[0044]图6为本发明实施例的:Y2保持不动，Yl运动至第三位置Yl和Υ2向右同向划切的不意图；
[0045]图7为本发明实施例的Yl和Υ2的具体划切示意图；
[0046]图8为本发明实施例的划切控制装置的基本结构示意图。
[0047]附图标记说明:
[0048]A-加工物的当前通道，C-加工物的工作台，D-预设安全距离即划切刀间的安全距离的二倍，b-箭头所指的右向，a-箭头所指的左向，Y2-左轴划切刀，Yl-右轴划切刀。
【具体实施方式】
[0049]为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0050]本发明提供一种划片机的划切控制方法、装置及划片机，双轴划切刀相对划切到两倍安全距离后，由其中一轴直接运动到加工物第三位置，此时，双轴划切刀正好在安全距离内，双轴划切刀同向划切加工物，这样既能保证双轴划切刀的刀具安全，又能最大限度发挥双轴能力，实现全流程双向划切，提高划切效率。
[0051]如图1至图8所示，本发明实施例的划片机的划切控制方法，所述划片机具有第一轴划切刀与第二轴划切刀，其中，所述方法包括:
[0052]步骤11，在所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动对加工物进行划切时，确定所述第一轴划切刀划切的第一位置以及所述第二轴划切刀划切的第二位置；其中，所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀是指划切机的双轴划切刀；在双轴划切刀靠近划切时，划切刀间具有确保双轴划切刀完整安全的安全距离Dsafe,所述预设安全距离D是指安全距离Dsafe的二倍值2*Dsafe可根据工业需求自行设定；所述第一位置和所述第二位置分别指在所述预设安全距离的两端位置。
[0053]步骤12，在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀中任一轴划切刀运动到所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置；其中，位于所述第三位置的划切刀与另一划切刀之间的距离大于或者等于所述预设安全距离的一半；其中，所述预设安全距离保证所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀中任一轴划切刀运动到所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置时，被运动的划切刀与未被运动的划切刀之间的距离不小于安全距离，保证双轴划切刀能继续正常划切。[0054]步骤13，运动到所述第三位置的划切刀在与该划切刀原运动方向相反的方向进行划切，同时未被运动至所述第三位置的划切刀继续对所述加工物进行划切。其中，所述与原运动方向相反的运动方向是指被运动到第三位置的划切刀，与未被运动到第三位置的另一轴划切刀同方向划切加工物。
[0055]通过步骤11的第一轴划切刀与第二轴划切刀相对运动，划切至预设安全距离的第一位置和第二位置时，通过步骤12确定第一位置和第二位置的第三位置后，将第一轴划切刀和第二轴划切刀中的任一轴划切刀运动到第三位置，步骤13使被运动的划切刀与原运动方向相反的运动方向进行划切，同时未被运动至第三位置的划切刀继续对所述加工物进行划切，这样通过预设安全距离，保证第一轴划切刀与第二轴划切刀的安全，并且通过被运动的划切刀与原运动方向相反的方向划切加工物，未被运动的划切刀继续对加工物进行划切，此时，双轴同时同向划切加工物，能最大限度发挥双轴能力，实现全流程双向划切，提高划切效率。
[0056]本发明实施例的具体确定第一位置和第二位置的举例如下。
[0057]在实际双轴划切刀划切加工物的过程中，因为不同的加工物，划割道间的宽度不同，同一加工物的不同通道内的划割道间的宽度也不一定相同，而同一个加工物一个通道内的划切道间宽度是相同的，均是根据工业需求而定。
[0058]举例一，在此例中预设安全距离指安全距离的二倍值，一共有7个划割道分别中间为划割道4，一边分别为划割道1，划割道2和划割道3，另一边分别为划割道5，划割道6和划割道7，划割道间的宽度为10厘米，预设安全距离为30厘米，双轴划切刀同时从两边开始相对划切，如果一轴划切刀在划割道3停止，另一轴划切刀在划割道5停止，划割道的间距为20厘米，这样不能满足划切刀安全(划割道3和划割道5间的划割道的距离小于预设安全距离)，如果保证双轴划切刀的安全，则一轴划切刀需要在划割道2时停止，另一轴划切刀需要在划割道6停止，这样划割道的间距为40厘米，但是满足双轴划切刀的安全(划割道2和划割道6间的划割道的距离大于预设安全距离)，这样其中任一划切刀可以移动到划割道4处，然后双轴划切刀同向划切加工物。
[0059]通过举例一得出，多个划割道间的距离不一定正好与预设安全距离值相等，当双轴划切刀各自所处的划割道间的间距，即当双轴划切刀分别相对划切各自划割道后双轴的距离小于预设安全距离(即举例一中的划割道3和划割道5)，当处于当前切割位置又大于预设安全距离的位置时(即举例一中的划割道2和划割道6)，所述第一位置和所述第二位置是指大于预设安全距离且距离所述安全距离的二倍值两侧最近的两个划割道，则划割道2是所述第一位置和划割道6是所述第二位置。这样所述第一位置和所述第二位置是指加工物的某两个确定的划割道位置。
[0060]举例二，此例中所述预设安全距离指安全距离的二倍值，如果一共有7个划割道分别中间为划割道4，一边分别为划割道1，划割道2和划割道3，另一边分别为划割道5，划割道6和划割道7，划割道间的宽度为10厘米，预设安全距离为20厘米，双轴划切刀同时从两边开始相对划切，则一轴划切刀在划割道3停止，另一轴划切刀在划割道5停止，则划割道的间距为20厘米，满足双轴划切刀的安全(划割道2和划割道5间的划割道的距离等于预设安全距离)，这样其中任一划切刀可以移动到划割道4处，然后双轴划切刀同向划切加工物。[0061]此时划割道3是所述第一位置，划割道5是所述第二位置，则所述第一位置和所述第二位置指的是确保双轴划切刀完整安全的安全距离的二倍值的两端位置(即举例二中的划割道3是所述第一位置和划割道5是所述第二位置)，根据具体情况确定的所述第一位置和所述第二位置的划割道位置。
[0062]应当了解的是，需要确定双轴划切刀具体在加工物的加工位置，因此本发明实施例的划片机的划切控制方法中，步骤11的具体步骤包括:
[0063]步骤111，获取所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动、对所述加工物的第一通道内的划割道进行划切时，所述第一轴划切刀所处的划割道的第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的第二实时运动位置；其中，所述加工物具有多个通道，且对应有各自通道的划割道的坐标，同一个通道划割道间距相等，不同的加工物，不同的通道的划割道间距不一定相等，这里所选的第一通道指的是当前被划切的任一通道，在加工物的某一通道内，如果划割道间距相等，则直接用加工物的通道长度除以划割道间距的距离，确定划割道数目；获取划切刀的所述第一实时运动位置和所述第二实时位置就是指划切刀当前所处的某个确定的划割道。
[0064]步骤112，当所述第一实时运动位置与所述第二实时运动位置之间的距离等于所述预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀停止划切，并将所述第一轴划切刀停止划切时所处的划割道确定为所述第一位置，以及将所述第二轴划切刀停止划切时所处的划割道确定为所述第二位置。
[0065]通过步骤111实时的获取加工物当前加工通道内，所述第一轴划切刀所处的划割道的第一实时运动位置、与所述第二轴划切刀所处的划割道的第二实时运动位置，再通过步骤112确定当前第一实时运动位置与第二实时运动位置之间的距离是否处于预设安全距离后，及时的移动双轴划切刀中的任一划切刀至第三位置，被运动的划切刀在与原方向相反的方向划切加工物，未被运动的划切刀继续对加工物进行划切，即双轴划切刀同向同时划切加工物。这样保证划切刀的安全和最大限度发挥双轴能力，缩短划切时间，提高工业效率。
[0066]在双轴划切刀划切到双轴的安全距离后，只能由其中一轴完成剩余的划切，影响双轴效率的发挥，因此本发明实施例的划切控制方法中，步骤12的具体步骤包括:
[0067]步骤121，在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于所述预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀停止划切后，控制所述第一轴划切刀从所述第一位置运动到所述第一位置与所述第二位置之间的所述第三位置；或者
[0068]控制所述第二轴划切刀从所述第二位置运动到所述第一位置与所述第二位置之间的所述第三位置。
[0069]本发明实施例的划片机的划切控制方法中，步骤13的具体步骤包括:
[0070]步骤131，在所述第一轴划切刀运动到所述第三位置时，所述第一轴划切刀从所述第三位置划切至所述第一位置，同时所述第二轴划切刀从所述第二位置划切至所述第三位置；或者
[0071]在所述第二轴划切刀运动到所述第三位置时，所述第二轴划切刀从所述第三位置划切至所述第二位置，同时所述第一轴划切刀从所述第一位置划切至所述第三位置。
[0072]在达到预设安全距离时，执行步骤121和131后，将一轴划切刀运动至第三位置，然后被运动到第三位置的划切刀，从第三位置继续划切至划切至最初被运动的位置，同时未被运动的一轴划切刀，继续从所停止位置划切至第三位置，这样双轴划切刀同时划切完当前通道内的全部划割道。这样发挥双轴划切刀的划切能力，缩短划切时间，提高工业效率。
[0073]应当了解的是，上述所述第三位置在划割道总数是奇数时，所述第三位置是靠近第一位置与第二位置的对称轴位置处的中间划割道，如果划割道总数是偶数时，所述第三位置是指距离被运动的第一轴划切刀最近，且与第二位置的距离大于预设安全距离的一半的最近一个划割道或者第三位置是指距离被运动的第二轴划切刀最近，与第一位置的距离大于预设安全距离的一半的最近一个划割道(如划割道依次是划割道1，划割道2，划割道3，划割道4，划割道5和划割道6，第一划切刀的第一位置是指划割道1，第二划切刀的第二位置是指划割道6，如果第一划切刀移动到第三位置，则第三位置是指划割道3 ;如果第二划切刀移动到第三位置，则第三位置是指划割道4)。
[0074]本发明实施例的划割道的划切模式函数的函数代码举例如下。
[0075]
int CTable::DoubleAutoCutFunction()
{
int nStartCut = O; //进入同向划切状态的划割道号
int nNumCut = O; //安全距离内划割道总数
int nEndCut = O; //中间划割道号
//double模式--从两边往中间划切(顺序通道)
while((nNumCut*Dstep)< DSafe)
{
nNumCut++; //计算安全距离内有多少个划割道 }
//计算中间一个划割道刀号 此时分为两种情况 //通道总刀数是偶数 nEndCut =N/2; //中间划割道号
nStartCut = nEndCut-1 - nNumCut; //进入同向划切状态的划割道号
//通道总刀数是奇数
nEndCut = (N/2) + 1;
[0076]nStartCut.= nEndCut - nNumCut;
for(int nCut=0; nCut<N; nCut++)
{
//Y1Y2从两侧开始向中心划切
[0077]m_dYl=Y[nCut] //Y[nCut]的值是第nCut个划割道在Y向坐标系下的位置,把这个值给电机，电机会走到这个位置，具体的计算方法是Y[n]=Y[0]+5*Dstep，将右侧划割道的位置赋值给Yl电机参数
[0078]
if(nCut < nStartCut)//判断Yl和Y2间的距离是否是安全距离的2倍 {m_dY2=g_dYCutPos [N-1 -nCut];将左侧划割道的位置赋值给Yl电机参
数
}
else//判断是否进入双刀同向划切状态 {
if(m_nFirst.Flag ==0)//判断是否第一次进入同向划切状态，其中第一次时，Y2 (或者Yl )轴一下会从当前划切 的切割道,直接运动到中间划割道，其他情况下只需运动一个划割道{
m_dY2=Y [nEndCut]/,?2运动至中间切割道
}
else//Yl和Y2同向切割 {
m_dYl =Y[nCut];
m_dY2 = Y[nEndCut - nStartCut +nCut]; // nCut 是当前划的第几刀，那么nEndCut - nStartCut +nCut计算的是同向划切的另一个轴划是第几刀。通过前面的计算nEndCut - nStartCut=nNumCut，也就是两个轴之间差几刀，加上当前的划的nCut,得到另一个轴划第几刀
}}}[0079]本发明的又一实施例的划片机的划切控制方法中，步骤111的具体步骤包括:
[0080]步骤1111，获取所述加工物的所述第一通道内的划割道总数以及每个划割道在Y向电机坐标系下的划割道坐标；
[0081]步骤1112，根据所述划割道总数以及所述划割道坐标，获得所述第一轴划切刀所处的划割道的所述第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的所述第二实时运动位置；其中，所述划割道总数用N表示。
[0082]本发明实施例的划割道的计算函数的函数代码举例如下。
[0083]
划割道计算函数 {
//T轴旋转到当前通道角度
//根据图象对准位置得到通道任意一刀痕位置
//根据刀痕位置，分度，划切方向推算第一刀的位置
while(Y[0] > m_dCutRangeBack)
{
Y[0]=Y[0] - Dstep;` }"每一次计算的结果和工作台的边缘的值(m—dCutRangeBack)比较，如果计算出的Y[0]值小于工作台的边缘，那么这个Υ[0]就是通道的第I刀，如果计算出的Υ[0]的值大于边缘的值(m_dCutRangeBack)则重复上面的计算再次和工作台边缘的值(m_dCutRangeBack)比较，直到Y[0]的值小于工作台边缘(m_dCutRangeBack )，循环结束。其中 m_dCutRangeBack = Ycenter-R,其中Ycenter是工作台中心在Y向的坐标,R是工作台半径,为T寻找通道每一刀位置
//从第一刀往前推当前通道下每一刀的位置 while(Y[n] < m_dCutRangeFront)
I
Y[n+l]=Y[n]+ Dstep; //当前通道下每一刀位置
[0084]
【权利要求】
1.一种划片机的划切控制方法，所述划片机具有第一轴划切刀与第二轴划切刀，其特征在于，所述方法包括:
在所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动对加工物进行划切时，确定所述第一轴划切刀划切的第一位置以及所述第二轴划切刀划切的第二位置； 在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀中任一轴划切刀运动到所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置；其中，位于所述第三位置的划切刀与另一划切刀之间的距离大于或者等于所述预设安全距离的一半； 运动到所述第三位置的划切刀在与该划切刀原运动方向相反的方向进行划切，同时未被运动至所述第三位置的划切刀继续对所述加工物进行划切。
2.根据权利要求1所述的划片机的划切控制方法，其特征在于，在所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动对加工物进行划切时，确定所述第一轴划切刀划切的第一位置以及所述第二轴划切刀划切的第二位置的步骤包括: 获取所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动、对所述加工物的第一通道内的划割道进行划切时，所述第一轴划切刀所处的划割道的第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的第二实时运动位置； 当所述第一实时运动位置与所述第二实时运动位置之间的距离等于所述预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀停止划切，并将所述第一轴划切刀停止划切时所处的划割道确定为所述第一位置，以及将所述第二轴划切刀停止划切时所处的划割道确定为所述第二位置。
3.根据权利要求1所述的划片机的划切控制方法，其特征在于，在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀中任一轴划切刀运动到所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置的步骤包括: 在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于所述预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀停止划切后，控制所述第一轴划切刀从所述第一位置运动到所述第一位置与所述第二位置之间的所述第三位置；或者 控制所述第二轴划切刀从所述第二位置运动到所述第一位置与所述第二位置之间的所述第三位置。
4.根据权利要求1所述的划片机的划切控制方法，其特征在于，运动到所述第三位置的划切刀在与该划切刀原运动方向相反的方向进行划切，同时未被运动至所述第三位置的划切刀继续对所述加工物进行划切的具体步骤包括: 在所述第一轴划切刀运动到所述第三位置时，所述第一轴划切刀从所述第三位置划切至所述第一位置，同时所述第二轴划切刀从所述第二位置划切至所述第三位置；或者 在所述第二轴划切刀运动到所述第三位置时，所述第二轴划切刀从所述第三位置划切至所述第二位置，同时所述第一轴划切刀从所述第一位置划切至所述第三位置。
5.根据权利要求2所述的划片机的划切控制方法，其特征在于，获取所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动、对所述加工物的第一通道内的划割道进行划切时，所述第一轴划切刀所处的划割道的第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的第二实时运动位置的具体步骤包括:获取所述加工物的所述第一通道内的划割道总数以及每个划割道在Y向电机坐标系下的划割道坐标； 根据所述划割道总数以及所述划割道坐标，获得所述第一轴划切刀所处的划割道的所述第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的所述第二实时运动位置。
6.根据权利要求5所述的划片机的划切控制方法，其特征在于，根据所述划割道总数以及所述划割道坐标，获得所述第一轴划切刀所处的划割道的所述第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的所述第二实时运动位置的具体步骤包括: 获取与图像对准的所述加工物的第一划割道坐标，和所述加工物的中心点Y向的第二坐标、划割道的间距以及所述加工物的半径，得到Y向电机坐标下的第一坐标； 根据所述第一坐标、所述第二坐标、所述划割道的间距以及所述加工物的半径，获取所述加工物的所述第一通道内的所述划割道总数以及每个划割道在Y向电机坐标系下的所述划割道坐标。
7.一种划片机的划切控制装置，应用于划片机，所述划片机具有第一轴划切刀与第二轴划切刀，其特征在于，所述装置包括: 处理模块，用于在所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动对加工物进行划切时，确定所述第一轴划切刀划切的第一位置以及所述第二轴划切刀划切的第二位置； 第一运动控制模块，用于在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀中任一轴划切刀运动到所述第一位置与所述第二位置之间的第三位置；其中，位于所述第三位置的划切刀与另一划切刀之间的距离大于或者等于所述预设安全距离的一半； 第二运动控制模块，用于控制运动到所述第三位置的划切刀在与该划切刀原运动方向相反的方向进行划切，同时 控制未被运动至所述第三位置的划切刀继续对所述加工物进行划切。
8.根据权利要求7所述的划片机的划切控制装置，其特征在于，所述处理模块包括: 获取单元，用于获取所述第一轴划切刀与所述第二轴划切刀相对运动、对所述加工物的第一通道内的划割道进行划切时，所述第一轴划切刀所处的划割道的第一实时运动位置以及所述第二轴划切刀所处的划割道的第二实时运动位置； 处理单元，用于当所述第一实时运动位置与所述第二实时运动位置之间的距离等于所述预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀停止划切，并将所述第一轴划切刀停止划切时所处的划割道确定为所述第一位置，以及将所述第二轴划切刀停止划切时所处的划割道确定为所述第二位置。
9.根据权利要求7所述的划片机的划切控制装置，其特征在于，所述第一运动控制模块包括: 第一运动控制单元，用于在所述第一位置和所述第二位置之间的距离等于所述预设安全距离时，控制所述第一轴划切刀和所述第二轴划切刀停止划切后，控制所述第一轴划切刀从所述第一位置运动到所述第一位置与所述第二位置之间的所述第三位置；或者 控制所述第二轴划切刀从所述第二位置运动到所述第一位置与所述第二位置之间的所述第三位置。
10.根据权利要求7所述的划片机的划切控制装置，其特征在于，所述第二运动控制模块包括: 第二运动控制单元，用于在所述第一轴划切刀运动到所述第三位置时，控制所述第一轴划切刀从所述第三位置划切至所述第一位置，同时控制所述第二轴划切刀从所述第二位置划切至所述第三位置；或者 在所述第二轴划切刀运动到所述第三位置时，控制所述第二轴划切刀从所述第三位置划切至所述第二位置，同时控制所述第一轴划切刀从所述第一位置划切至所述第三位置。
11.一种划片机，其特征在于，包括如权利要求7至10任一项所述的划片机的划切控制装置。
【文档编号】H01L21/304GK103823407SQ201410050835
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2014年2月14日 优先权日:2014年2月14日
【发明者】王春柱, 刘晓斌, 庞淑娟 申请人:北京中电科电子装备有限公司