一种过滤式阴极电弧沉积装置的制作方法

本实用新型涉及石墨靶材的技术领域，尤其涉一种过滤式阴极电弧沉积装置。

背景技术：

过滤式阴极电弧沉积的方法进行类金刚石薄膜的制备，首先是获得一个稳定工作的石墨发电过程，但由于石墨靶材在磁场约束下的真空电弧行为与金属靶材的电弧行为不同，目前在过滤式阴极电弧沉积过程中对石墨作为弧源的特性尚了解不足，为了得到一个稳定的电弧放电过程，从而控制电弧斑点的运动。

技术实现要素：

实用新型目的：本实用新型所要解决的石墨靶材由于电弧带来的不稳定的技术问题，本实用新型提供一种过滤式阴极电弧沉积装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种过滤式阴极电弧沉积装置，包括阴极、磁铁、引弧针过板、过板磁场圈、阳极、第一法兰、过滤磁场线圈、过滤弯管、第二法兰、探针，所述过滤弯管左侧与探针连接，所述探针位于第二法兰内侧，所述过滤弯管外侧设有过滤磁场线圈，所述过滤弯管右侧与第一法兰连接，所述第一法兰与阳极连接，所述阳极与过板连接，所述过板外侧与阴极连接，所述过板与引弧针过板连接，所述阴极外侧设有磁铁。

进一步，所述阴极与磁铁平行。

本实用新型结构简单，通过阴极、阳极、过滤弯管来调节电极，从而来保证石墨靶材的正常运转。

附图说明

图1为本实施例一种过滤式阴极电弧沉积装置的结构示意图。

图中：阴极-1、磁铁-2、引弧针过板-3、过板磁场圈-4、阳极-5、第一法兰-6、过滤磁场线圈-7、过滤弯管-8、第二法兰-9、探针-10。

具体实施方式

以下结合附图并通过具体实施例对本实用新型做进一步阐述，应当指出：对于本工艺领域的普通工艺人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

实施例1:

如图1所示一种过滤式阴极电弧沉积装置，包括阴极1、磁铁2、引弧针过板3、过板4、过板磁场圈5、阳极6、第一法兰7、过滤磁场线圈8、过滤弯管9、第二法兰10、探针11，所述过滤弯管9左侧与探针11连接，所述探针11位于第二法兰10内侧，所述过滤弯管9外侧设有过滤磁场线圈8，所述过滤弯管9右侧与第一法兰7连接，所述第一法兰7与阳极6连接，所述阳极6与过板4连接，所述过板4上下两侧设有过板磁场圈5，所述过板4外侧与阴极1连接，所述过板4与引弧针过板3连接，所述阴极1外侧设有磁铁2，所述阴极1与磁铁2平行对称，通过过滤磁场线圈来使阴极、阳极得到平衡，本实用新型结构简单，通过阴极、阳极、过滤弯管来调节电极，从而来保证石墨靶材的正常运转。