一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵的制作方法

本实用新型涉及低温泵技术领域，尤其涉及一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵。

背景技术：

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵，低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

申请号为：CN201720873664.8公开了一种低热辐射真空镀膜机，其包括镀膜箱等，加热器位于镀膜箱的顶端内壁上，镀膜箱与主阀的一侧之间通过百叶窗连接，主阀的底端与冷凝泵相连接，气缸与基板之间通过连杆连接，水冷挡板位于百叶窗的侧面上，排气口位于百叶窗的底端上，真空泵与吸盘连接，侧盖位于主阀的另一侧上，管道与冷凝泵的底端连接，管道位于框架上。本实用新型通过设置水冷挡板，有效屏蔽了对冷凝泵的热辐射，确保冷凝泵的正常运作，保障抽真空效率，然而该发明中的低温泵仅仅通过支架下方设置的脚轮进行移动，并不能对低温泵的高度作出调整，使得当低温泵使用在不同高度的真空镀膜机上时，不方便调整高度，影响低温泵的使用，为此我们提出一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，以此来解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，包括真空镀膜机、移动板和低温泵本体，所述低温泵本体的底部固定安装有固定板，移动板的顶部固定安装有支撑柱，两个支撑柱的顶部均开设有第一滑槽，两个第一滑槽的底部内壁上均固定安装有第一压缩弹簧，两个第一压缩弹簧的顶端均固定安装有移动柱，两个移动柱的顶端分别延伸至两个第一滑槽的外侧并固定安装在固定板上，所述第一滑槽的两侧内壁上均开设有第三滑槽，第三滑槽的一侧内壁上开设有多个固定槽，所述移动柱的两侧均固定安装有第一滑块，第一滑块滑动安装在第三滑槽内，第一滑块的一侧开设有限位槽，限位槽内滑动安装有限位杆，限位杆的一端延伸至限位槽的外侧并与固定槽相适配，限位杆的另一端固定安装有第二压缩弹簧的一端，第二压缩弹簧的另一端固定安装在限位槽的内壁上，所述固定槽的一侧内壁上开设有滑孔，滑孔内滑动安装有滑杆，滑杆的一端延伸至固定槽内并与限位杆相适配，滑杆的另一端延伸至支撑柱的外侧并固定安装有按压板。

优选的，所述固定板的一侧固定安装有拉杆，拉杆上固定安装有防滑垫。

优选的，所述移动板的底部安装有四个与地面接触的万向脚轮，移动板的一侧固定安装有推杆。

优选的，所述滑孔的两侧内壁上均开设有第二滑槽，滑杆的两侧均固定安装有第二滑块，第二滑块滑动安装在第二滑槽内。

优选的，所述第二滑槽的一侧内壁上固定安装有第三压缩弹簧的一端，第三压缩弹簧的另一端固定安装在第二滑块上。

优选的，所述第三滑槽的两侧内壁上均开设有滑动槽，第一滑块的两侧均固定安装有滑动块，滑动块滑动安装在滑动槽内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过真空镀膜机、移动板、低温泵本体、固定板、支撑柱、第一滑槽、第一压缩弹簧、移动柱、第一滑块、限位槽、限位杆、第二压缩弹簧、固定槽、滑孔、滑杆、按压板、第二滑槽、第二滑块、第三压缩弹簧、第三滑槽、推杆、万向脚轮、拉杆、防滑垫、滑动块和滑动槽的配合之下，压动按压板，使得按压板带动滑杆在滑孔内滑动，滑杆带动限位杆在固定槽内滑动，当限位杆脱离固定槽位置时，因为第一压缩弹簧的弹性作用，带动移动柱移动，使得移动柱带动固定板上的低温泵本体进行移动；

本实用新型结构简单，操作方便，通过压动按压板即可调整低温泵本体的高度，方便使用，大大满足了使用者的需求。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵的主视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵的A部分结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵的B部分结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵的支撑柱的部分侧视结构示意图。

图中：1真空镀膜机、2移动板、3低温泵本体、4固定板、5支撑柱、6第一滑槽、7第一压缩弹簧、8移动柱、9第一滑块、10限位槽、11限位杆、12第二压缩弹簧、13固定槽、14滑孔、15滑杆、16按压板、17第二滑槽、18第二滑块、19第三压缩弹簧、20第三滑槽、21推杆、22万向脚轮、23拉杆、24防滑垫、25滑动块、26滑动槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-4，一种用于玻璃板真空镀膜的低温泵，包括真空镀膜机1、移动板2和低温泵本体3，低温泵本体3的底部固定安装有固定板4，移动板2的顶部固定安装有支撑柱5，两个支撑柱5的顶部均开设有第一滑槽6，两个第一滑槽6的底部内壁上均固定安装有第一压缩弹簧7，两个第一压缩弹簧7的顶端均固定安装有移动柱8，两个移动柱8的顶端分别延伸至两个第一滑槽6的外侧并固定安装在固定板4上，第一滑槽6的两侧内壁上均开设有第三滑槽20，第三滑槽20的一侧内壁上开设有多个固定槽13，移动柱8的两侧均固定安装有第一滑块9，第一滑块9滑动安装在第三滑槽20内，第一滑块9的一侧开设有限位槽10，限位槽10内滑动安装有限位杆11，限位杆11的一端延伸至限位槽10的外侧并与固定槽13相适配，限位杆11的另一端固定安装有第二压缩弹簧12的一端，第二压缩弹簧12的另一端固定安装在限位槽10的内壁上，固定槽13的一侧内壁上开设有滑孔14，滑孔14内滑动安装有滑杆15，滑杆15的一端延伸至固定槽13内并与限位杆11相适配，滑杆15的另一端延伸至支撑柱5的外侧并固定安装有按压板16，通过真空镀膜机1、移动板2、低温泵本体3、固定板4、支撑柱5、第一滑槽6、第一压缩弹簧7、移动柱8、第一滑块9、限位槽10、限位杆11、第二压缩弹簧12、固定槽13、滑孔14、滑杆15、按压板16、第二滑槽17、第二滑块18、第三压缩弹簧19、第三滑槽20、推杆21、万向脚轮22、拉杆23、防滑垫24、滑动块25和滑动槽26的配合之下，压动按压板16，使得按压板16带动滑杆15在滑孔14内滑动，滑杆15带动限位杆11在固定槽13内滑动，当限位杆11脱离固定槽13位置时，因为第一压缩弹簧7的弹性作用，带动移动柱8移动，使得移动柱8带动固定板4上的低温泵本体3进行移动；本实用新型结构简单，操作方便，通过压动按压板16即可调整低温泵本体3的高度，方便使用，大大满足了使用者的需求。

本实用新型中，固定板4的一侧固定安装有拉杆23，拉杆23上固定安装有防滑垫24，移动板2的底部安装有四个与地面接触的万向脚轮22，移动板2的一侧固定安装有推杆21，滑孔14的两侧内壁上均开设有第二滑槽17，滑杆15的两侧均固定安装有第二滑块18，第二滑块18滑动安装在第二滑槽17内，第二滑槽17的一侧内壁上固定安装有第三压缩弹簧19的一端，第三压缩弹簧19的另一端固定安装在第二滑块18上，第三滑槽20的两侧内壁上均开设有滑动槽26，第一滑块9的两侧均固定安装有滑动块25，滑动块25滑动安装在滑动槽26内，通过真空镀膜机1、移动板2、低温泵本体3、固定板4、支撑柱5、第一滑槽6、第一压缩弹簧7、移动柱8、第一滑块9、限位槽10、限位杆11、第二压缩弹簧12、固定槽13、滑孔14、滑杆15、按压板16、第二滑槽17、第二滑块18、第三压缩弹簧19、第三滑槽20、推杆21、万向脚轮22、拉杆23、防滑垫24、滑动块25和滑动槽26的配合之下，压动按压板16，使得按压板16带动滑杆15在滑孔14内滑动，滑杆15带动限位杆11在固定槽13内滑动，当限位杆11脱离固定槽13位置时，因为第一压缩弹簧7的弹性作用，带动移动柱8移动，使得移动柱8带动固定板4上的低温泵本体3进行移动；本实用新型结构简单，操作方便，通过压动按压板16即可调整低温泵本体3的高度，方便使用，大大满足了使用者的需求。

工作原理：当需要调整低温泵本体3的高度时，首先，压动两个按压板16，使得按压板16带动滑杆15在滑孔14内滑动，滑杆15拉动第三压缩弹簧19，使得第三压缩弹簧19发生弹性形变，使得滑杆15带动限位杆11在固定槽13内滑动，限位杆11压动第二压缩弹簧12，使得第二压缩弹簧12发生弹性形变，当限位杆11脱离固定槽13位置时，松开按压板16，因为第三压缩弹簧19的弹性作用，使其按压板16恢复原位，因为第一压缩弹簧7的弹性作用，带动移动柱8移动，使得移动柱8带动固定板4上的低温泵本体3进行移动，当限位杆11滑动槽固定槽13的位置时，因为第二压缩弹簧12的弹性作用带动限位杆11滑入固定槽13内，即可固定移动柱8的位置，即可调整低温泵本体3的高度。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。