一种用于坩埚生产的辅助模具的制作方法

本实用新型属于化学气相沉积技术领域，具体涉及一种用于坩埚生产的辅助模具。

背景技术：

化学气相沉积炉是利用化学气相沉积的原理，将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。

现需要采用化学气相沉积法来生产一种热解氮化硼坩埚（如图1所示），目前生产该坩埚所用的原模具1（如图2所示），原模具的本体为圆柱体，圆柱体的上端面中部设置有螺纹孔2，圆柱体的下端设置有倒置的圆锥体，圆锥体下端设置有棒体，原模具材料为石墨；由于石墨模具和热解氮化硼材料的热膨胀系数不一样，当高温下沉积完毕后，因氮化硼冷缩，降温过程中收缩存在应力，应力过于集中在坩埚壁上，使坩埚壁存在应力，坩埚壁层间强度低；坩埚在使用的过程中，坩埚壁多次加热，升温降温会导致低强度的坩埚壁出现开裂、分层等问题，这是与热解氮化硼的类似石墨的层状结构特性决定的，使整体坩埚的使用寿命低。

因此，有必要设计一种用于坩埚生产的辅助模具来解决上述问题。

技术实现要素：

为克服上述现有技术中的不足，本实用新型目的在于提供一种用于坩埚生产的辅助模具。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供的技术方案是：一种用于坩埚生产的辅助模具，该辅助模具设置在原模具的上方，所述原模具的本体为圆柱体，所述圆柱体的上端面中部设置有螺纹孔，所述圆柱体的下端设置有倒置的圆锥体，所述圆锥体下端设置有棒体，所述辅助模具包括圆柱体形状的模具本体，所述模具本体的直径与所述原模具本体的直径相同，所述模具本体上端设置有扁圆柱形的凸台，所述辅助模具中部设置有竖直的螺纹通孔，所述螺纹通孔的直径与所述螺纹孔的直径相同。

优选的技术方案为：所述凸台下端面的周围设置有圆环边，所述圆环边的内侧面与所述凸台的下端面之间设置有圆倒角。

优选的技术方案为：所述圆环边的下端面高于所述模具本体的下端面设置。

优选的技术方案为：所述模具本体、凸台和圆环边为一体式设置。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

本实用新型采用辅助模具与生产坩埚的原模具配合，在辅助模具上设置凸台，可以有效的分散坩埚在冷缩过程中产生的应力，保证坩埚强度，延长使用寿命；又在辅助模具上设置圆环边，帮助反应气体导流，提高了生产效率；本实用新型辅助效果好，提高了生产效率以及产品质量，相比原模具生产的坩埚，使用次数更长，效果显著。

附图说明

图1为坩埚示意图。

图2为原模具示意图。

图3为本实用新型示意图。

以上附图中，原模具1，螺纹孔2，模具本体3，凸台4，螺纹通孔5，圆环边6，圆倒角7。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1~图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图3所示，一种用于坩埚生产的辅助模具，该辅助模具设置在原模具1的上方，原模具1的本体为圆柱体，圆柱体的上端面中部设置有螺纹孔2，圆柱体的下端设置有倒置的圆锥体，圆锥体下端设置有棒体，辅助模具包括圆柱体形状的模具本体3，模具本体3的直径与原模具1本体的直径相同，模具本体3上端设置有扁圆柱形的凸台4，辅助模具中部设置有竖直的螺纹通孔5，螺纹通孔5的直径与螺纹孔2的直径相同。

原理：将辅助模具放置在原模具1的上方，使得螺纹通孔5与螺纹孔2对齐并通过螺钉固定连接成组合模具，将组合模具悬挂于气相沉积炉内，使得反应气体（三氯化硼或三氟化硼以及氨气）从组合模具的下方进入炉内，高温低压下在化学气相沉积炉内进行化学气相沉积，反应生成的氮化硼沉积在模具表面，形成热解氮化硼坩埚；拧出螺钉，然后沿组合模具的组合位置将原模具1切割下来后脱模，即可制得坩埚。其中，辅助模具的凸台4作用，就是为了分散坩埚壁在冷却过程中产生的应力，提高坩埚强度，延长坩埚使用寿命。

优选的实施方式为：如图3所示，凸台4下端面的周围设置有圆环边6，圆环边6的内侧面与凸台4的下端面之间设置有圆倒角7。对反应气体能起到导流的作用，加快氮化硼在模具表面的沉积速度，提高生产效率。

优选的实施方式为：如图3所示，圆环边6的下端面高于模具本体3的下端面设置。防止圆环边6对切割器造成干涉，便于切割平整，提高产品质量。

优选的实施方式为：模具本体3、凸台4和圆环边6为一体式设置。保证了辅助模具的结构稳定性。

本实用新型采用辅助模具与生产坩埚的原模具配合，在辅助模具上设置凸台，可以有效的分散坩埚在冷缩过程中产生的应力，保证坩埚强度，延长使用寿命；又在辅助模具上设置圆环边，帮助反应气体导流，提高了生产效率；本实用新型辅助效果好，提高了生产效率以及产品质量，相比原模具生产的坩埚，使用次数更长，效果显著。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。