一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置的制作方法

本实用新型涉及一种除焦装置，具体涉及一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置。

背景技术：

化学气相沉积炉是利用化学气相沉积的原理，将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。气相沉积炉主要由炉本体（含炉底、下炉体、上炉体及隔热屏）、加热器、过滤系统、真空系统等组成。

气相沉积炉排气系统随着尾气在排气系统中流动，其温度逐渐降低；随着尾气的温度降低，除了尾气中难以液化的分子量很小的部分烃类以气体形式排出外，其余分子量较大的烃类尾气部分形成奶油状的焦油，容易附着在排气系统的管道内壁上，这样就会影响设备的正常使用，特别是用于收集焦油的装置，内壁附着的焦油量大，装置拆卸不方便，难以清洗；日积月累，管路孔径会越来越小从而影响抽排效果，一旦堵塞管路则会发生爆炸危险，拆卸管道清理又费时费力，增加了维护成本。

因此，有必要设计一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置来解决上述问题。

技术实现要素：

为克服上述现有技术中的不足，本实用新型目的在于提供一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供的技术方案是：一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置，包括装置本体，所述装置本体上端设置有尾气入口，所述尾气入口一侧设置有尾气出口，所述装置本体为倒置的水瓶状，所述装置本体的内壁圆滑，所述装置本体下端设置有排出口，所述排出口上方设置有开合式挡板，所述挡板一侧设置有阀门，所述装置本体内从左至右依次竖直设置有第一水管、第二水管和第三水管，所述第一水管、第二水管和第三水管上端均贯穿所述装置本体的上端与外界连通设置，所述第一水管、第二水管和第三水管的侧壁上均布设置有若干水平喷水口，所述第一水管、第二水管和第三水管的下端均设置有竖直喷水口。

优选的技术方案为：所述第二水管低于所述第一水管、第三水管设置，所述第二水管的水平喷水口与所述第一水管、第三水管的水平喷水口不设置在同一水平线上。

优选的技术方案为：所述装置本体内壁设置有涂层，所述涂层材料为聚四氟乙烯。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

本实用新型采用装置内喷水降温，使得气相沉积炉的尾气降温后产生的焦油能留在装置内，再通过焦油水洗法将装置内的焦油清洗干净，尾气除焦以及除焦装置清洗一步到位，避免了焦油堵塞管道以及管道拆卸的麻烦，焦油过滤后装置自清洗，操作方便，实用性强，适合推广。

附图说明

图1为本实用新型整体示意图。

以上附图中，装置本体1，尾气入口2，尾气出口3，排出口4，挡板5，阀门6，第一水管7，第二水管8，第三水管9，水平喷水口10，竖直喷水口11。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1。须知，本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图1所示，一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置，包括装置本体1，装置本体1上端设置有尾气入口2，尾气入口2一侧设置有尾气出口3，装置本体1为倒置的水瓶状，装置本体1的内壁圆滑，装置本体1下端设置有排出口4，排出口4上方设置有开合式挡板5，挡板5一侧设置有阀门6，装置本体1内从左至右依次竖直设置有第一水管7、第二水管8和第三水管9，第一水管7、第二水管8和第三水管9上端均贯穿装置本体1的上端与外界连通设置，第一水管7、第二水管8和第三水管9的侧壁上均布设置有若干水平喷水口10，第一水管7、第二水管8和第三水管9的下端均设置有竖直喷水口11。

原理：在气相沉积炉的尾气进入本装置前，先在第一水管7、第二水管8、第三水管9通入低温水进行喷洒，使得本装置内温度降低，将水从排放口排放干净并关闭阀门6；将气相沉积炉的尾气从尾气入口2通入（注：通入尾气时装置内并不喷水），尾气温度降低后会在装置本体1内产生焦油，焦油留在装置内壁以及装置内其他地方，过滤掉焦油的尾气从尾气出口3进入下一个尾气处理装置；焦油过滤完毕后，采用水洗法在第一水管7、第二水管8、第三水管9内通入水，在通入的水中加入一定量的碱，可以增强除焦油的效果，通过水管的喷洒，可将装置内的焦油处理掉，打开挡板5，使废水从排出口4排出进入相应的废水处理装置，该装置配合控制系统能实现高效率的过滤以及除焦，操作方便。

优选的实施方式为：如图1所示，第二水管8低于第一水管7、第三水管9设置，第二水管8的水平喷水口10与第一水管7、第三水管9的水平喷水口10不设置在同一水平线上。使得水平喷水口10之间交叉喷水，可以把水管上附着的部分焦油也清洗干净，增强清洗效果。

优选的实施方式为：（图中未示出）装置本体1内壁设置有涂层，涂层材料为聚四氟乙烯。使得装置本体1的内壁不易粘附焦油，易于清洗。

本实用新型采用装置内喷水降温，使得气相沉积炉的尾气降温后产生的焦油能留在装置内，再通过焦油水洗法将装置内的焦油清洗干净，尾气除焦以及除焦装置清洗一步到位，避免了焦油堵塞管道以及管道拆卸的麻烦，焦油过滤后装置自清洗，操作方便，实用性强，适合推广。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。