一种掩模的固定装置和清洗治具的制作方法

本实用新型涉及掩模板技术领域，尤其涉及一种掩模的固定装置和清洗治具。

背景技术：

在薄膜镀膜领域，目前常用的掩模方式是根据所需薄膜的表面图案或结构形式，在镀膜室内设置掩模架，根据所需图案将掩模丝缠绕固定于掩模架上。薄膜在镀膜室内进行镀膜时，由于掩模丝的阻挡，使其表面形成所需的图案。该方法原理简单，但由于掩模丝固定不动，经过长时间镀膜后，在掩模丝表面会沉积大量的镀膜材料，需要定时对其进行清洗。

当前，G2.5代的蒸镀线200*200的掩模(即mask)清洗治具，在清洗掩模的过程中，采用的是通过双条带有多个螺钉的封条10来固定掩模200，如图1所示，掩模的清洗治具中的固定掩模的边缘设置有孔洞，以便带有多个螺钉的封条通过孔洞固定掩模200。而这种设计，不仅会给清洗掩模等操作带来不便，而且，掩模在清洗的过程中容易发生形变，如果长时间使用可能会影响掩模(即mask)精度。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种掩模的固定装置和清洗治具，用以解决现有技术中掩模的清洗治具采用螺丝双条固定的模式，使得操作不便，易形变，长时间使用会影响掩模(即mask)精度的问题。

本实用新型提供一种掩模的固定装置，所述掩模的固定装置中包括固定底座，所述固定底座中包括至少一个用于放置掩模的目标区域，所述固定底座上设置有掩模的限位部件和卡扣部件，所述限位部件和所述卡扣部件合围形成所述目标区域；其中，所述卡扣部件与所述固定底座可相对运动设置，以控制所述掩模的安装与分离。

可选地，所述目标区域中形成有贯穿所述固定底座的开口，所述开口面积小于所述目标区域的面积。

可选地，所述卡扣部件包括本体部和用于控制所述掩模的安装与分离卡板，所述本体部相对于固定基板可移动设置，或者所述卡板相对于所述本体部可移动的设置。

可选地，所述卡板沿垂直于所述固定基板的方向可移动设置；或者

所述卡板沿平行于所述固定基板的方向可旋转设置。

可选地，所述目标区域为矩形区域，所述矩形区域中的三条边通过所述限位部件固定，剩余的一条边通过所述卡扣部件固定。

可选地，所述矩形区域通过所述限位部件固定的每一条边上设置有至少3个限位部件；和/或

所述矩形区域通过所述卡扣部件固定的一条边上设置有至少2个卡扣部件。

可选地，所述限位部件为螺钉。

本实用新型实施例提供一种掩模的清洁治具，所述掩模的清洁治具中包括上述实施例中提供的掩模的固定装置。

可选地，所述掩模的清洁治具还包括用于支撑所述掩模的加固部件，所述加固部件与所述固定装置中的卡扣部件位于固定底座的两侧。

可选地，所述加固部件为弯曲焊条。

本实用新型实施例提供一种掩模的固定装置和清洗治具，该掩模的固定装置包括固定底座，固定底座中包括至少一个用于放置掩模的目标区域，该固定底座上设置有掩模的限位部件和卡扣部件，该限位部件和该卡扣部件合围形成目标区域，其中，卡扣部件与固定底座可相对运动设置，以控制掩模的安装与分离，上述组成结构的掩模的固定装置通过在目标区域的边缘(或掩模的边缘)设置限位部件，以固定掩模，并在目标区域的边缘(或掩模的边缘)位置设置多个卡扣部件，通过卡扣部件既可以将掩模安装在固定底座上，还可以随时调整掩模的位置，操作过程简单，而且，在固定掩模和对掩模进行相应操作时，掩模不易发生形变，保证掩模精度不受影响。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为现有技术中掩模的清洗治具固定掩模掩模的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种掩模的固定装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的另一种掩模的固定装置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的又一种掩模的固定装置的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的一种卡扣部件的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的另一种卡扣部件的结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的一种加固部件的结构示意图。

图例说明：

10-双条带有多个螺钉的封条，100-固定底座，101-目标区域，102-限位部件，103-卡扣部件，1031-卡板，1032-本体部，1033-旋转柄，1034-连接杆，1035-轨道，104-固定基板，105-开口，200-掩模，301-加固部件。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

如图2所示，本实用新型实施例提供一种掩模的固定装置，该掩模的固定装置可以包括固定底座100，所述固定底座100中可以包括至少一个用于放置掩模的目标区域101，所述固定底座100上设置有掩模的限位部件102，以及卡扣部件103，所述限位部件102和所述卡扣部件103合围形成所述目标区域101。其中：

固定底座100可以是任意形式的底座，在实际应用中可以根据掩模200所使用的场景确定，例如，在清洗所述掩模200时，该固定底座100可以是掩模的清洗治具所在的底座，又例如，在制作掩模200时，该固定底座100可以是制备掩模的装置所在的底座。

目标区域101可以是在固定底座100上划定的任意区域，且目标区域101内可以容纳至少一个掩模200，即目标区域101可以是刚好完整容纳一个掩模200的区域，或者，目标区域101是其长度和宽度都分别大于掩模200的长度和宽度的区域等。

掩模的限位部件102可以用于对固定掩模200进行限位，即将掩模200限制在所述固定底座100的特定位置上。所述限位部件102可以是任意能够起到固定掩模200作用的部件，例如螺钉、螺栓或者具有一定弹性的塑料挡片、金属挡片等。

为了实现更加灵活的安装与分离掩模200的目的，可以设置卡扣部件103，且所述卡扣部件103与所述固定底座100可相对运动设置(或者可活动连接等)。在实际应用中，可能会遇到需要对掩模200当前的位置进行调整，或者向目标区域101中添加掩模200的处理，此时，可以调整卡扣部件103，使得掩模200能够被灵活调整或者可以从卡扣部件103所在的位置向目标区域101中添加掩模200。该卡扣部件103可以有多种实现方式，例如，固定底座100上设置有孔洞，卡扣部件103可以插入孔洞中，且通过卡扣部件103(具体如一个卡板1031等)固定掩模200，而当需要移除掩模200时，可以抽出孔洞中的卡扣部件103。

为了将掩模200安装在固定底座100上，需要通过相应的部件进行安装固定，为了使得本方案尽可能的简单易行，可以选用常用的限位部件102来限制掩模200的位置，例如螺钉或者螺栓等，并可以将限位部件102设置在掩模200所放置的位置的边缘，此外，还可以在掩模200所放置的位置的边缘设置卡扣部件103，而且，为了能够通过卡扣部件103灵活调整掩模200的位置，可以适当调整卡扣部件103和限位部件102的位置分布，例如掩模200的形状为矩形，可以在矩形掩模的其中三条边的边缘设置限位部件102，在另一条边的边缘设置卡扣部件103，或者，可以在矩形掩模的其中三条边的边缘设置卡扣部件103，在另一条边的边缘设置限位部件102，或者，可以在矩形掩模的其中两条边的边缘设置卡扣部件103，在另两条边的边缘设置限位部件102等。再例如掩模的形状为圆形，可以将圆形掩模沿直径划分为两个半圆，在其中的一个半圆形掩模的边缘设置限位部件102，在另一个半圆形掩模的边缘设置卡扣部件103等。这样，通过卡扣部件103和限位部件102既可以将掩模200安装在固定底座100上，还可以灵活调整掩模的位置或将掩模200从固定底座100上分离等。

如图2所示，掩模的固定装置中包括固定底座100，所述固定底座100上包括4个目标区域101，每个目标区域101的长度和宽度都分别基本等于掩模200的长度和宽度，使得掩模200能够固定在目标区域101中。在每个目标区域101内包括多个限位部件102和多个卡扣部件103。多个限位部件102和多个卡扣部件103分别设置于掩模200所在位置的边缘；若掩模200的形状为矩形，在矩形掩模的其中三条边的边缘设置限位部件102，在另一条边的边缘设置卡扣部件103，其中卡扣部件103所在的位置能够使得目标区域101内的掩模200固定或被分离。如图3所示(左上图与左下图)，如果将卡扣部件103从所述固定底座100的孔洞中抽出，则矩形掩模的一条边并没有将掩模200相应的一侧固定，用户可以从卡扣部件103所在的一侧将掩模200分离或者调整掩模200的位置等。另外，如图2或图3所示，每个目标区域101中还可以包括开口105，可以方便清洗掩模200等。

本实用新型实施例提供一种掩模的固定装置，包括固定底座，固定底座中包括至少一个用于放置掩模的目标区域，该固定底座上设置有掩模的限位部件和卡扣部件，该限位部件和该卡扣部件合围形成目标区域，其中，卡扣部件与所述固定底座可相对运动设置，以控制掩模的安装与分离，上述组成结构的掩模的固定装置通过在目标区域的边缘(或掩模的边缘)设置限位部件，以固定掩模，并在目标区域的边缘(或掩模的边缘)位置设置多个卡扣部件，通过卡扣部件既可以将掩模安装在固定底座上，还可以随时调整掩模的位置，操作过程简单，而且，在固定掩模和对掩模进行相应操作时，掩模不易发生形变，保证掩模精度不受影响。

实施例二

图4为本实用新型提供的又一种掩模的固定装置。该掩模的固定装置包含了图2～图3所示的移动终端的功能辅助设备的全部功能单元，并在其基础上，对其进行了改进，改进内容如下：

当前，目前G2.5代的蒸镀线200*200的掩模(即mask)清洗治具，在清洗掩模200的过程中，采用的是通过双条带有多个螺丝的封条10来固定掩模200，而这种设计，不仅会给清洗掩模200等操作带来不便，而且，掩模200在清洗的过程中容易发生形变，如果长时间使用可能会影响掩模200(即mask)精度。为此，本实用新型提供一种掩模的固定装置，以解决现有技术中通过双条带有多个螺丝的封条10来安装或固定掩模200，不仅给清洗掩模200等操作带来不便，而且，掩模200在清洗的过程中容易发生形变，如果长时间使用可能会影响掩模200(即mask)精度等问题。

基于上述图2或图3的结构，为了实现灵活调整掩模200的目的，可以对卡扣部件103进行设置，如卡扣部件103上可以设置有凸起的卡板1031，所述卡板1031沿垂直于所述固定基板104的方向可移动设置，即当所述卡板1031的位置在掩模200的正上方时，在所述卡板1031的限定下，掩模200将被安装在固定底座100上，当所述卡板1031的位置未在掩模200的正上方时，掩模200能够从固定底座100上分离或进行位置调整。

在实际应用中，还可以将卡扣部件103设计为可旋转形式，这样，可以通过旋转卡扣部件103即可将掩模200安装固定或者将掩模200从所述掩模的固定装置上分离等，具体地，所述卡扣部件103可以包括用于控制所述掩模200的安装与分离的卡板1031和本体部1032，其中，所述本体部1032相对于固定基板104可移动设置，所述本体部1032与卡板1031相对固定，即卡板1031移动时，本体部1302也会随着卡板1031一起移动，在实际应用中，本体部1032与卡板1031可以使用相应的材料一体成型，其中的可移动设置可以是可上下移动的设置，或者，也可以是可旋转的设置等。或者，所述卡板1031相对于所述本体部1032可移动的设置，此时，所述本体部1032可以固定在固定基板104上等。其中：所述固定基板104位于所述固定底座100内。基于上述结构，所述卡板1031沿平行于所述固定基板104的方向可旋转设置，具体地，本体部1032位于所述目标区域101内，并设置于所述掩模200所在位置的边缘，所述卡板1031设置于所述本体部1032内，所述本体部1032侧面设置有开口，所述卡板1031通过所述开口延伸到所述本体部1032外，且所述卡板1031能够在所述本体部1032内旋转。

如图5所示提供了一种卡扣部件103，在与所述卡扣部件103的卡板1031等高的位置处为掩模200所在的位置，所述本体部1032的侧面设置有开口，所述卡板1031从所述开口处延伸到所述本体部1032外预定长度。所述卡扣部件103包括旋转柄1033、连接杆1034、本体部1032和卡板1031，旋转柄1033和连接杆1034设置于所述本体部1032内，所述连接杆1034的一端连接于所述旋转柄1033中心，且所述连接杆1034位于所述旋转柄1033的正下方，所述连接杆1034的另一端或靠近所述另一端的位置处连接有卡板1031，当用户驱动旋转柄1033时，旋转柄1033带动连接杆1034转动，同时连接杆1034带动卡板1031移动，以此来改变卡板1031的位置。

此外，卡扣部件103除了可以为上述结构外，还可以是其它结构，以下再提供一种可选的结构，具体可以包括以下内容：所述卡扣部件103包括本体部1032和卡板1031，其中：所述本体部1032位于所述目标区域101内，并设置于所述掩模所在位置的边缘；所述卡板1031可伸缩的设置于所述本体部1032内。

如图6所示，卡扣部件103可以包括连接杆1034，所述连接杆1034上固定有卡板1031，所述本体部1032在垂直所述掩模200的方向设置有开口的轨道1035，所述轨道1035的边缘为锯齿状，而且，所述卡板1031与所述轨道1035接触的位置设置有与轨道1035的锯齿相吻合的锯齿结构，这样，卡板1031可以沿着所述轨道1035上下移动，当卡板1031到达掩模200位置时，通过卡板1031与轨道1035的锯齿间的相互作用，使得卡板1031将所述掩模200固定，当需要分离或调整掩模200时，可以推动卡板1031离开所述掩模200一定距离，此时，可以调整掩模200的位置或者将掩模200从所述掩模的固定装置上分离。

由于掩模200通常为矩形(包括方形)，因此，所述目标区域101的形状可以依据掩模200的形状设置，例如所述目标区域101为矩形或圆形等。此外，对于所述限位部件102和所述卡扣部件103的相对位置也可以根据掩模200的形状设置，例如，如图4所示，矩形掩模中的三条边通过所述限位部件102固定，剩余的一条边通过所述卡扣部件103固定，其中，对于通过限位部件102固定的三条边，由于限位部件102已将掩模200的三条边固定在相应的位置无法被移动，因此，无法从上述三个边中任意一个或多个边移动掩模200。

此外，基于上述图4的结构，为了使得掩模200被牢牢固定在固定底座100上，可以在限位部件102所在的三条边的每一条边上设置至少3个限位部件102，如图4所示，可以在每条边的中间位置设置1个限位部件102，并分别在每条边中靠近两端的位置各设置1个限位部件102。这样，通过三条边中的每条边的边缘上设置的至少3个限位部件102可以将掩模200安装在相应的目标区域101内。

此外，基于上述图4的结构，为了使得掩模200能够被稳定的安装在固定底座100上，可以在通过卡扣部件103固定的一条边上设置至少2个卡扣部件103，如图4所示，可以在通过卡扣部件103固定的一条边上，并靠近该边的两侧的位置各个设置一个卡扣部件103。这样，通过三条边中的每条边的边缘上设置的至少3个限位部件102，且在剩余的一条边上设置至少2个卡扣部件103，可以将掩模200安装在相应的目标区域101内。

另外，为了使本实用新型实施例简单易行，可以使用常用的部件作为限位部件102，例如，使用螺钉或者螺栓作为所述固定，而考虑到掩模200通常的尺寸通常都相对较小，因此，可以选用螺钉作为上述限位部件102。

需要说明的是，在上述所示的结构中，为便于从多个方向观察或检测掩模200的状态，以及方便清洗掩模200，如图2、图3或图4所示，可以在目标区域101中形成贯穿所述固定底座100的开口105，所述开口105面积小于所述目标区域101的面积。

本实用新型实施例提供一种掩模的固定装置，包括固定底座，固定底座中包括至少一个用于放置掩模的目标区域，该固定底座上设置有掩模的限位部件和卡扣部件，该限位部件和该卡扣部件合围形成目标区域，其中，卡扣部件与所述固定底座可相对运动设置，以控制掩模的安装与分离，上述组成结构的掩模的固定装置通过在目标区域的边缘(或掩模的边缘)设置限位部件，以固定掩模，并在目标区域的边缘(或掩模的边缘)位置设置多个卡扣部件，通过卡扣部件既可以将掩模安装在固定底座上，还可以随时调整掩模的位置，操作过程简单，而且，在固定掩模和对掩模进行相应操作时，掩模不易发生形变，保证掩模精度不受影响。

实施例三

以上为本实用新型实施例提供的一种掩模的固定装置，基于该掩模的固定装置及其组成结构，本实用新型实施例还提供一种掩模的清洁治具。如图4所示，该掩模的清洁治具具体可以包括如上述实施例一或实施例二提供的所述掩模的固定装置。

如图4所示，所述掩模的清洗治具中包括掩模的固定装置，其中，所述掩模的固定装置，包括固定底座100，所述固定底座100中包括至少一个用于放置掩模的目标区域101，所述固定底座100上设置有掩模的限位部件102和卡扣部件103，所述限位部件和所述卡扣部件合围形成所述目标区域；其中，所述卡扣部件103与所述固定底座100可相对运动设置，以控制所述掩模200的安装与分离。

此外，为了加固所述掩模的清洗治具，使得所述清洗治具更加牢固，可以在所述掩模的清洗治具中设置用于支撑所述掩模200的加固部件301，如图7所示，所述加固部件301与所述固定装置中的卡扣部件103位于固定底座100的两侧，即所述加固部件301可以设置于所述掩模的清洗治具中背向所述目标区域101所在的一侧。

进一步地，为了使得本实用新型实施例简单易行，上述加固部件301可以选用实际应用中常用的器件，例如弯曲焊条等。

另外，所述固定底座100中的所述目标区域101中形成有贯穿所述固定底座100的开口105，所述开口105面积小于所述目标区域的面积。

此外，所述掩模的固定装置中的所述卡扣部件103包括本体部1032和用于控制所述掩模200的安装与分离卡板1031，所述本体部1032相对于固定基板104可移动设置，或者所述卡板1031相对于所述本体部1032可移动的设置。

进一步地，所述卡板1031沿垂直于所述固定基板104的方向可移动设置；或者所述卡板1031沿平行于所述固定基板104的方向可旋转设置。

另外，所述目标区域101为矩形区域，所述矩形区域中的三条边通过所述限位部件固定，剩余的一条边通过所述卡扣部件固定。

进一步地，所述矩形区域通过所述限位部件102固定的每一条边上设置有至少3个限位部件102；和/或所述矩形区域通过所述卡扣部件103固定的一条边上设置有至少2个卡扣部件103。

此外，所述限位部件102为螺钉。

本实用新型实施例提供一种该掩模的清洗治具，上述实施例提供的掩模的固定装置，该掩模的固定装置包括固定底座，固定底座中包括至少一个用于放置掩模的目标区域，该固定底座上设置有掩模的限位部件和卡扣部件，该限位部件和该卡扣部件合围形成目标区域，其中，卡扣部件与所述固定底座可相对运动设置，以控制掩模的安装与分离，上述组成结构的掩模的固定装置通过在目标区域的边缘(或掩模的边缘)设置限位部件，以固定掩模，并在目标区域的边缘(或掩模的边缘)位置设置多个卡扣部件，通过卡扣部件既可以将掩模安装在固定底座上，还可以随时调整掩模的位置，操作过程简单，而且，在固定掩模和对掩模进行相应操作时，掩模不易发生形变，保证掩模精度不受影响。

需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、部件或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。