一种背封炉喷料机构用防尘保温装置的制作方法

本实用新型属于半导体材料生产技术领域，主要目的是提供一种背封炉喷料机构用防尘保温装置。

背景技术：

半导体硅抛光片生产过程中有一道重要的工艺就是背封工艺。一种重要的背封工艺就是采用常压化学气象淀积（APCVD）原理在硅片背面生长一层二氧化硅薄膜。执行该背封工艺主流设备有一种是常压式背封炉即APCVD背封炉，工作原理即将硅片放到履带上，匀速通过喷头下方，喷头喷出硅烷与氧气在硅片表面发生反应，并通过氮气使之与大气进行隔离。适当的气体配合500度左右的高温在常压环境下进行反应，在硅片背面生成一层二氧化硅薄膜。

在生产过程中为保证工艺质量，每隔一段时间要将喷头取下，进行清洁维护。喷头取下之后，腔体会暴露在环境当中。由于喷头维护频率较高，且每次清理用时较长。在清理喷头过程中，灰尘等杂质容易进入腔体，造成沾污，且腔体内温度散失严重。

技术实现要素：

针对现有技术所存在的问题，本实用新型提出了一种背封炉喷料机构用防尘保温装置，可以在喷头取下之后喷料腔中的空隙盖住，避免灰尘进入，减少沾污。同时也能阻挡热量散失，节省能量。大大提高了工艺的稳定性和产品质量。

本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案是：一种背封炉喷料机构用防尘保温装置，所述喷料机构包括喷料腔及设置在所述喷料腔出料端且与所述喷料腔相连通的喷头，该防尘保温装置用于喷头取下后对喷料腔进行防尘保温，该防尘保温装置设置在喷料腔正下方，所述防尘保温装置包括底座、支撑杆、调节杆、防尘板及保温板，所述底座、所述支撑杆、所述调节杆、所述防尘板及所述保温板从下到上依次设置；所述支撑杆设置在所述底座的上方且与所述底座相连，所述支撑杆为中空结构，所述支撑杆顶端的侧面上开设有安装孔Ⅰ和安装孔Ⅱ，所述安装孔Ⅰ和所述安装孔Ⅱ关于所述支撑杆的中心轴线对称设置；

所述调节杆在竖直方向上间隔设置有若干个安装孔Ⅲ，所述支撑杆通过固定销与所述调节杆相连，所述固定销依次穿过安装孔Ⅰ、安装孔Ⅲ、安装孔Ⅱ后将调节杆固定在所述支撑杆上，所述调节杆的一端从所述支撑杆的顶端穿设到所述支撑杆的中空结构内，所述调节杆的另一端依次穿过所述防尘板和所述保温板后位于所述喷料腔内，所述防尘板的下方设置有弹性组件，所述弹性组件包括弹簧和限位块，所述限位块套设在所述调节杆的外周壁上，所述弹簧套设在所述调节杆的外周壁上且所述弹簧的一端与限位块固定相连，所述弹簧的另一端与防尘板的底面固定连接，所述保温板和防尘板均垂直于所述调节杆设置，所述保温板设置在所述喷料腔的内部，所述防尘板设置在所述喷料腔出料端的正下方。

进一步的，所述保温板的宽度小于等于所述喷料腔内部的宽度。

进一步的，所述防尘板的宽度大于所述喷料腔出料端的宽度。

进一步的，所述防尘板的宽度大于所述保温板的宽度。

进一步的，所述保温板和所述防尘板均为圆形板，所述防尘板的直径大于所述保温板的直径。

进一步的，所述保温板和所述防尘板均为316不锈钢板。

本实用新型的有益效果主要表现在以下几个方面：通过设置防尘保温装置，当清理喷头的过程中，可通过调节调节杆穿入支撑杆中的长度来调节调节杆和支撑杆间的相对高度，然后通过固定销将调节杆固定在支撑杆中，将保温板直接深入喷料腔的内部空隙中，防尘板把喷料腔的空隙完全覆盖，通过设置弹性组件可使防尘板紧贴在喷料腔的出料端，将喷料腔的空隙完全覆盖住，形成较好的密封效果，这样可以形成双层保护，保温板和防尘板均为316不锈钢板，耐高温，且不会造成金属沾污，双层隔热，很好地解决了，灰尘进入腔体，和热量散失的问题。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的底座、支撑杆和调节杆间关系的结构示意图；

图中标记：1、底座，2、支撑杆，201、安装孔Ⅰ，202、安装孔Ⅱ，3、调节杆，301、安装孔Ⅲ，4、固定销，5、限位块，6、弹簧，7、防尘板，8、保温板。

具体实施方式

结合附图对本实用新型实施例加以详细说明，本实施例以本实用新型技术方案为前提，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。

如附图所示，一种背封炉喷料机构用防尘保温装置，所述喷料机构包括喷料腔及设置在所述喷料腔出料端且与所述喷料腔相连通的喷头，该防尘保温装置用于喷头取下后对喷料腔进行防尘保温，该防尘保温装置设置在喷料腔正下方，所述防尘保温装置包括底座1、支撑杆2、调节杆3、防尘板7及保温板8，所述底座1、所述支撑杆2、所述调节杆3、所述防尘板7及所述保温板8从下到上依次设置；所述支撑杆2设置在所述底座1的上方且与所述底座1相连，所述支撑杆2为中空结构，所述支撑杆2顶端的侧面上开设有安装孔Ⅰ201和安装孔Ⅱ202，所述安装孔Ⅰ201和所述安装孔Ⅱ202关于所述支撑杆2的中心轴线对称设置；

所述调节杆3在竖直方向上间隔设置有若干个安装孔Ⅲ301，所述支撑杆2通过固定销4与所述调节杆3相连，所述固定销4依次穿过安装孔Ⅰ201、安装孔Ⅲ301、安装孔Ⅱ202后将调节杆3固定在所述支撑杆2上，所述调节杆3的一端从所述支撑杆2的顶端穿设到所述支撑杆2的中空结构内，所述调节杆3的另一端依次穿过所述防尘板7和所述保温板8后位于所述喷料腔内，所述防尘板7的下方设置有弹性组件，所述弹性组件包括弹簧6和限位块5，所述限位块5套设在所述调节杆3的外周壁上，所述弹簧6套设在所述调节杆3的外周壁上且所述弹簧6的一端与限位块5固定相连，所述弹簧6的另一端与防尘板7的底面固定连接，所述保温板8和防尘板7均垂直于所述调节杆3设置，所述保温板8设置在所述喷料腔的内部，保温板8等于喷料腔的宽度，长385mm，宽123mm，能深入喷料腔内部，防尘板7的宽度略大于喷料腔出料端的宽度，长为430mm，宽为175mm，可以将喷料腔出料端覆盖，所述防尘板7设置在所述喷料腔出料端的正下方，所述防尘板7的宽度大于所述喷料腔出料端的宽度，所述保温板8和所述防尘板7均为圆形板，所述保温板8和所述防尘板7均为316不锈钢板，所述防尘板7的直径大于所述保温板8的直径；

在清理喷头过程中，将防尘保温装置放置在喷料腔的正下方，通过调节调节杆3与支撑杆2的相对高度，该过程可通过调节调节杆3穿入支撑杆中的长度来调节，然后通过固定销4将调节杆3固定在支撑杆中，将保温板8直接深入喷料腔的内部空隙中，防尘板7把喷料腔的空隙完全覆盖，通过设置弹性组件可使防尘板7紧贴在喷料腔的出料端，将喷料腔的空隙完全覆盖住，形成较好的密封效果，这样可以形成双层保护，保温板8和防尘板7均为316不锈钢板，耐高温，且不会造成金属沾污，双层隔热，很好地解决了，灰尘进入腔体，和热量散失的问题。既提高了工艺质量又节省了能量，本实用新型耐高温且不会造成金属沾污，加工简单，使用方便。

本实用新型所列举的技术方案和实施方式并非是限制，与本实用新型所列举的技术方案和实施方式等同或者效果相同方案都在本实用新型所保护的范围内。还需要说明的是，在本文中，诸如Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。